맞춤기술찾기

이전대상기술

태양전지 박막 증착장치, 방법, 시스템

  • 기술번호 : KST2015153039
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 태양전지 박막 증착장치, 방법, 시스템이 제공된다. 본 발명에 따른 태양전지 박막 증착장치는 기판을 경계로 구분되는 복수 개의 단위 챔버; 복수 개의 단위 챔버에 증착가스를 독립적으로 주입시키기 위한 증착가스 주입부; 및 상기 단위 챔버 내에 각각 구비되며, 상기 주입된 증착가스를 분해하기 위한 분해 수단을 포함하며, 상기 기판의 양면 각각은 상기 복수 개의 단위 챔버로 노출되며, 본 발명에 따른 태양전지 박막 증착장치 및 이를 이용한 제조방법은 기판의 회전 없이 고정된 상태에서 기판의 양면 증착이 가능하게 한다. 따라서, 일면에 대해서 하나의 층만이 적층되는 종래 기술에 비하여, 요구되는 설비의 수가 획기적으로 줄 수 있으며, 그 결과 본 발명에 따른 증착장치는 종래 기술에 비하여 경제성이 우수하다. 더 나아가, 증착공정의 수가 감소됨에 따라, 기판의 외부노출 시간을 또한 줄며, 그 결과 기판표면의 오염을 최소화할 수 있으며, 우수한 신뢰성을 갖는 태양전지의 제조가 가능하다.
Int. CL H01L 31/18 (2014.01) H01L 31/0445 (2014.01) H01L 21/205 (2014.01)
CPC
출원번호/일자 1020100105758 (2010.10.28)
출원인 한국에너지기술연구원
등록번호/일자 10-1199210-0000 (2012.11.01)
공개번호/일자 10-2012-0044473 (2012.05.08) 문서열기
공고번호/일자 (20121107) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.10.28)
심사청구항수 6

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이정철 대한민국 대전광역시 유성구
2 송진수 대한민국 대전광역시 유성구
3 조준식 대한민국 대전광역시 유성구
4 박상현 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인 다해 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로***, *층(삼성동,고운빌딩)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.10.28 수리 (Accepted) 1-1-2010-0699480-23
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.10.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.11.18 수리 (Accepted) 9-1-2011-0091162-14
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.12.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0759192-56
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.01.04 수리 (Accepted) 4-1-2012-5001923-88
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.02.22 수리 (Accepted) 1-1-2012-0144394-13
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.03.22 수리 (Accepted) 1-1-2012-0231229-17
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.04.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0273288-63
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.04.05 수리 (Accepted) 1-1-2012-0273287-17
10 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2012.09.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0539454-54
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.09.17 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2012-0749288-49
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.09.17 수리 (Accepted) 1-1-2012-0749287-04
13 등록결정서
Decision to grant
2012.10.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0657164-53
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.07 수리 (Accepted) 4-1-2014-5003356-15
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.10 수리 (Accepted) 4-1-2015-0013224-83
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.19 수리 (Accepted) 4-1-2017-5010650-13
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.01.08 수리 (Accepted) 4-1-2019-5004978-55
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166803-39
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166801-48
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.09.01 수리 (Accepted) 4-1-2020-5197654-62
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
태양전지 박막 증착장치로서, 기판을 경계로 구분되는 두 개의 단위 챔버;두 개의 상기 단위 챔버에 증착가스를 독립적으로 주입시키기 위한 증착가스 주입부; 및 상기 단위 챔버 내에 각각 구비되며, 상기 주입된 증착가스를 분해하기 위한 분해 수단을 포함하며, 상기 기판의 양면 각각은 상기 두 개의 단위 챔버로 노출되며, 상기 두 개의 단위 챔버는 상기 기판 및 상기 기판을 지지하는 지지부에 의하여 서로 독립된 챔버를 이루는 것을 특징으로 하는 태양전지 박막 증착장치
2 2
삭제
3 3
제 1항에 있어서, 상기 분해 수단은 상기 기판의 일 측으로부터 소정 간격으로 이격되는 것을 특징으로 하는 태양전지 박막 증착장치
4 4
제 3항에 있어서,상기 분해 수단은 열선 또는 플라즈마 발생부인 것을 특징으로 하는 태양전지 박막 증착장치
5 5
제 1항에 있어서, 상기 증착가스는 실란, 수소를 포함하며, 증착되는 박막에 따라 도핑가스를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지 박막 증착장치
6 6
제 1항, 제3항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 따른 태양전지 박막 증착장치를 복수 개 구비하며, 상기 복수 개의 증착장치에 의하여 동일 기판에 대한 순차적인 박막 증착 공정이 진행되는 것을 특징으로 하는 태양전지 박막 증착 시스템
7 7
제 6항에 있어서, 상기 박막 증착 시스템은 소정 간격으로 이격된, 상기 태양전지 박막 증착장치
8 8
삭제
9 9
삭제
10 10
삭제
11 11
삭제
12 12
삭제
13 13
삭제
14 14
삭제
지정국 정보가 없습니다
순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - 패밀리정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP24094861 JP 일본 FAMILY
2 US20120108002 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP2012094861 JP 일본 DOCDBFAMILY
2 US2012108002 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.