요약 | 실리콘 기판 제조의 생산성 및 품질 향상에 기여할 수 있는 연속주조법을 이용한 실리콘 기판 제조 장치 및 그 제조 방법에 대하여 개시한다.본 발명에 따른 연속주조법을 이용한 실리콘 기판 제조 장치는 실리콘 원료가 공급되는 실리콘 원료 투입부; 상기 실리콘 원료 투입부의 하부에 장착되며, 상기 공급된 실리콘 원료를 용융시켜 실리콘 용탕을 형성하는 실리콘 용융부; 상기 실리콘 용융부로부터 실리콘 용탕을 공급받아 저장한 후, 상기 실리콘 용탕을 일정한 두께의 용융물로 토출하는 실리콘 용탕 저장부; 상기 실리콘 용탕 저장부의 일측에 배치되며, 상기 토출되는 실리콘 용융물을 이송하는 이송기판; 및 상기 이송되는 실리콘 용융물을 냉각하여 실리콘 기판을 형성하는 실리콘 기판 형성부;를 포함하며, 상기 실리콘 용탕 저장부에 저장되는 실리콘 용탕의 표면 온도는 1300 ~ 1500℃이고, 상기 이송기판의 예열온도는 700 ~ 1400℃이며, 상기 실리콘 용탕 저장부로부터 출탕 후 기판 이송 시간은 0.5 ~ 3.5초인 것을 특징으로 한다. |
---|---|
Int. CL | H01L 31/18 (2014.01) C01B 33/02 (2014.01) B22D 25/04 (2014.01) H01L 31/04 (2014.01) |
CPC | B22D 11/01(2013.01) B22D 11/01(2013.01) B22D 11/01(2013.01) B22D 11/01(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020110056066 (2011.06.10) |
출원인 | 한국에너지기술연구원 |
등록번호/일자 | 10-1234119-0000 (2013.02.12) |
공개번호/일자 | 10-2012-0136875 (2012.12.20) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20130219) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 등록 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2011.06.10) |
심사청구항수 | 14 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한국에너지기술연구원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 장보윤 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
2 | 이진석 | 대한민국 | 대전광역시 중구 |
3 | 안영수 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 특허법인(유한) 대아 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 역삼로 ***, 한양빌딩*층(역삼동) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한국에너지기술연구원 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2011.06.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0436948-88 |
2 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2012.01.04 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5001923-88 |
3 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2012.10.04 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0593253-39 |
4 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2012.12.04 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-1005788-40 |
5 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2012.12.04 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2012-1005789-96 |
6 | 등록결정서 Decision to grant |
2013.02.08 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0092166-37 |
7 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.01.07 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5003356-15 |
8 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.03.10 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-0013224-83 |
9 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2017.01.19 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5010650-13 |
10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.01.08 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5004978-55 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.08.21 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5166803-39 |
12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.08.21 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5166801-48 |
13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.09.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5197654-62 |
번호 | 청구항 |
---|---|
1 |
1 실리콘 원료가 공급되는 실리콘 원료 투입부; 상기 실리콘 원료 투입부의 하부에 장착되며, 상기 공급된 실리콘 원료를 용융시켜 실리콘 용탕을 형성하는 실리콘 용융부; 상기 실리콘 용융부로부터 실리콘 용탕을 공급받아 저장한 후, 상기 실리콘 용탕을 일정한 두께의 용융물로 토출하는 실리콘 용탕 저장부; 상기 실리콘 용탕 저장부의 일측에 배치되며, 상기 토출되는 실리콘 용융물을 이송하는 이송기판; 및 상기 이송되는 실리콘 용융물을 냉각하여 실리콘 기판을 형성하는 실리콘 기판 형성부;를 포함하며, 상기 실리콘 용탕 저장부에 저장되는 실리콘 용탕의 표면 온도는 1300 ~ 1500℃이고, 상기 이송기판의 예열온도는 700 ~ 1400℃이며, 상기 실리콘 용탕 저장부로부터 출탕 후 기판 이송 시간은 0 |
2 |
2 삭제 |
3 |
3 제1항에 있어서, 상기 실리콘 용융부는 상기 실리콘 원료가 장입되며, 하부에 출탕구가 형성되어 있는 도가니와, 상기 도가니의 외 측벽을 둘러싸는 코일과, 상기 출탕구를 개폐하는 게이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 연속주조법을 이용한 실리콘 기판 제조 장치 |
4 |
4 제3항에 있어서, 상기 도가니는 벽면의 일부가 종 방향으로 절개된 복수의 제1 슬릿과, 바닥면의 일부가 종 방향으로 절개된 복수의 제2 슬릿을 구비하는 흑연 도가니인 것을 특징으로 하는 연속주조법을 이용한 실리콘 기판 제조 장치 |
5 |
5 제1항에 있어서, 상기 실리콘 용탕 저장부는 일측에 실리콘 용탕이 토출되는 토출구가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 연속주조법을 이용한 실리콘 기판 제조 장치 |
6 |
6 제5항에 있어서, 상기 토출구의 두께는 0 |
7 |
7 제1항에 있어서, 상기 이송기판은 C, SiC, Si3N4, 그라파이트(Graphite), Al2O3 및 Mo 중에 하나 이상의 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 연속주조법을 이용한 실리콘 기판 제조 장치 |
8 |
8 제1항에 있어서, 상기 실리콘 기판 형성부는 불활성 가스 블로윙(blowing) 방식으로 실리콘 용융물을 냉각하는 것을 특징으로 하는 연속주조법을 이용한 실리콘 기판 제조 장치 |
9 |
9 제1항에 기재된 장치를 이용하여 실리콘 기판을 제조하는 방법에 있어서, (a) 실리콘 용융부의 내부로 실리콘 원료를 장입하는 단계; (b) 상기 실리콘 용융부의 내부에 장입된 실리콘 원료를 용융시켜 실리콘 용탕을 형성하는 단계; (c) 상기 실리콘 용융부의 게이트를 개방하여 상기 실리콘 용탕을 출탕하는 단계; (d) 상기 출탕되는 실리콘 용탕을 실리콘 용탕 저장부에 저장하는 단계; (e) 상기 이송기판을 구동하여 상기 실리콘 용탕을 토출하는 단계; 및 (f) 상기 이송기판에 의하여 이송되는 실리콘 용융물을 냉각하여 실리콘 기판을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 연속주조법을 이용한 실리콘 기판 제조 방법 |
10 |
10 제9항에 있어서,상기 (a) 단계 이전에, 상기 이송기판을 700 ~ 1400℃로 예열하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 연속주조법을 이용한 실리콘 기판 제조 방법 |
11 |
11 제9항에 있어서,상기 (d) 단계에서, 상기 실리콘 용탕 저장부 내에 저장되는 실리콘 용탕의 표면온도는 1300 ~ 1500℃로 유지하는 것을 특징으로 하는 연속주조법을 이용한 실리콘 기판 제조 방법 |
12 |
12 제9항에 있어서,상기 (e) 단계에서, 상기 이송기판의 이동속도는 400 ~ 1400cm/min이고, 출탕 후 기판 이송 시간은 0 |
13 |
13 제9항에 있어서,상기 이송기판은 C, SiC, Si3N4, 그라파이트(Graphite), Al2O3 및 Mo 중에 하나 이상의 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 연속주조법을 이용한 실리콘 기판 제조 방법 |
14 |
14 제9항에 있어서, 상기 (f) 단계시, 상기 이송기판에 의하여 이송되는 실리콘 용융물에 불활성 가스를 블로윙 방식으로 분사하여 냉각하는 것을 특징으로 하는 연속주조법을 이용한 실리콘 기판 제조 방법 |
15 |
15 제9항 내지 제14항 중 어느 하나에 기재된 방법으로 제조되며, 100 ~ 400㎛ 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 태양전지용 실리콘 기판 |
지정국 정보가 없습니다 |
---|
순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
---|---|---|---|---|
1 | EP02395132 | EP | 유럽특허청(EPO) | FAMILY |
2 | EP02395132 | EP | 유럽특허청(EPO) | FAMILY |
3 | KR101194846 | KR | 대한민국 | FAMILY |
4 | US20110305891 | US | 미국 | FAMILY |
순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
---|---|---|---|---|
DOCDB 패밀리 정보가 없습니다 |
국가 R&D 정보가 없습니다. |
---|
특허 등록번호 | 10-1234119-0000 |
---|
표시번호 | 사항 |
---|---|
1 |
출원 연월일 : 20110610 출원 번호 : 1020110056066 공고 연월일 : 20130219 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20130208 청구범위의 항수 : 14 유별 : B22D 25/04 발명의 명칭 : 생산성 및 표면 품질이 우수한 연속주조법을 이용한 실리콘 기판 제조 장치 및 그 제조 방법 존속기간(예정)만료일 : |
순위번호 | 사항 |
---|---|
1 |
(권리자) 한국에너지기술연구원 대전광역시 유성구... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 295,500 원 | 2013년 02월 12일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 243,600 원 | 2016년 02월 11일 | 납입 |
제 5 년분 | 금 액 | 243,600 원 | 2017년 01월 02일 | 납입 |
제 6 년분 | 금 액 | 243,600 원 | 2018년 02월 09일 | 납입 |
제 7 년분 | 금 액 | 316,000 원 | 2018년 12월 11일 | 납입 |
제 8 년분 | 금 액 | 316,000 원 | 2019년 12월 10일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 | 2011.06.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0436948-88 |
2 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2012.01.04 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5001923-88 |
3 | 의견제출통지서 | 2012.10.04 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0593253-39 |
4 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2012.12.04 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-1005788-40 |
5 | [명세서등 보정]보정서 | 2012.12.04 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2012-1005789-96 |
6 | 등록결정서 | 2013.02.08 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0092166-37 |
7 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.01.07 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5003356-15 |
8 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.03.10 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-0013224-83 |
9 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2017.01.19 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5010650-13 |
10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.01.08 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5004978-55 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.08.21 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5166803-39 |
12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.08.21 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5166801-48 |
13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.09.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5197654-62 |
기술정보가 없습니다 |
---|
과제고유번호 | 1711007721 |
---|---|
세부과제번호 | KIER-B32436 |
연구과제명 | 태양열을 이용한 AMTEC 용 요소기술 및 시스템 기술개발 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 미래창조과학부 |
연구관리전문기관명 | |
연구주관기관명 | |
성과제출연도 | 2013 |
연구기간 | 201201~201312 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | ET(환경기술) |
과제고유번호 | 1415121133 |
---|---|
세부과제번호 | KIER-B12403 |
연구과제명 | 저가형 리본태양전지 기술개발 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 지식경제부 |
연구관리전문기관명 | 산업기술연구회 |
연구주관기관명 | 한국에너지기술연구원 |
성과제출연도 | 2011 |
연구기간 | 200801~201212 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 개발연구 |
6T분류명 | ET(환경기술) |
[1020130147497] | 고체 산화물 연료전지의 제조방법 | 새창보기 |
---|---|---|
[1020130147487] | 고체 산화물 연료전지 | 새창보기 |
[1020130122710] | 일체형 내부구성을 가지는 AMTEC 장치 | 새창보기 |
[1020130122703] | AMTEC 장치용 윅부재 제조방법 | 새창보기 |
[1020130059821] | 고정층 가스화기를 이용한 석탄가스화 발전설비 | 새창보기 |
[1020130011679] | 라인 빔 레이저를 이용한 나노입자 합성장치 | 새창보기 |
[1020130005768] | 수소분리막 보호층 및 이의 코팅방법 | 새창보기 |
[1020120076570] | 후면전극 및 이를 포함하는 CIS계 태양전지 | 새창보기 |
[1020120066111] | 이중의 밴드갭 기울기가 형성된 CZTS계 박막의 제조방법, 이중의 밴드갭 기울기가 형성된 CZTS계 태양전지의 제조방법 및 그 CZTS계 태양전지 | 새창보기 |
[1020120014806] | 압축 공기를 이용하는 태양열 흡수기 | 새창보기 |
[1020120006667] | 태양열 지중축열방식의 태양열겸용 히트펌프장치의 급탕 및 난방시스템 | 새창보기 |
[1020120006666] | 냉,난방과 급탕에 필요한 열을 공급하는 일체형 컴팩트화된 공급장치 | 새창보기 |
[1020110133102] | 다종의 고체입자를 이용하는 건식 이산화탄소 포집장치 | 새창보기 |
[1020110130677] | 집전체 및 매니폴드 일체형, 고체산화물 연료전지용 또는 고체산화물 수전해기용 장치 | 새창보기 |
[1020110127510] | 재사용이 가능한 실리콘 용융용 이중 도가니 및 이를 포함하는 실리콘 박판 제조 장치 | 새창보기 |
[1020110126849] | 전해정련법에 의한 고순도 실리콘 나노섬유의 제조방법 | 새창보기 |
[1020110123717] | 다단 공급형 건식 이산화탄소 포집장치 | 새창보기 |
[1020110112526] | 초임계수를 이용한 석탄의 연소-가스화 장치 및 그 방법 | 새창보기 |
[1020110112523] | 암모니아수 흡수용액을 사용하는 개선된 이산화탄소 포집 방법 및 이를 구현하는 장치 | 새창보기 |
[1020110110897] | 대면적 매그넬리상 타이타늄 산화물 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[1020110109884] | 피셔―트롭쉬 공정용 촉매 및 이의 제조방법 | 새창보기 |
[1020110086914] | 이산화탄소 고정능이 우수한 클로렐라 속 N113 균주 및 이의 용도 | 새창보기 |
[1020110086171] | 고온에서 이산화탄소 고정능이 우수한 클로렐라 속 M082 균주 및 이의 용도 | 새창보기 |
[1020110084881] | 다면체로 이루어진 광생물반응기 | 새창보기 |
[1020110084879] | 이산화탄소 혼합 유도장치가 설치된 광생물반응기 및 이를 이용한 미세조류 배양방법 | 새창보기 |
[1020110077779] | 청정연료의 제조방법, 이를 위한 유기성분 추출 분리 반응기 | 새창보기 |
[1020110075008] | 고체입자를 이용한 타르 정제 및 회수장치 | 새창보기 |
[1020110070774] | 연료전지용 촉매 및 이의 제조방법 | 새창보기 |
[1020110056067] | 불활성 가스 블로윙을 이용한 표면 품질이 우수한 실리콘 기판 제조 장치 및 그 제조 방법 | 새창보기 |
[1020110056066] | 생산성 및 표면 품질이 우수한 연속주조법을 이용한 실리콘 기판 제조 장치 및 그 제조 방법 | 새창보기 |
[1020110056065] | 불순물 유입 방지 효과가 우수한 실리콘 용융 반응기 및 이를 포함하는 실리콘 기판 제조 장치 | 새창보기 |
[1020110050251] | 폐감귤을 이용하여 건조 유동층 방식으로 열분해 가스화한 합성가스 생산장치 및 생성방법 | 새창보기 |
[1020110044753] | 재사용이 가능한 실리콘 용융용 이중 도가니를 구비하는 단결정 실리콘 잉곳 성장 장치 | 새창보기 |
[1020110034763] | 복수개의 연료전지 성능 평가 장치 | 새창보기 |
[1020110034736] | 연료전지 성능 평가 장치 | 새창보기 |
[1020110020982] | 스핀 캐스팅법을 이용한 실리콘 기판 제조 장치 및 이를 이용한 실리콘 기판 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2015020707][한국에너지기술연구원] | 이미다졸륨염이 화학적으로 결합된 나노입자, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 염료감응 태양전지용 나노젤형 전해질 | 새창보기 |
---|---|---|
[KST2015154448][한국에너지기술연구원] | 액적을 이용한 박막 태양전지 텍스쳐링 방법, 장치 및 이에 의하여 텍스쳐링된 박막 태양전지 | 새창보기 |
[KST2015153134][한국에너지기술연구원] | 태양전지용 CZTSe계 박막의 제조방법 및 그 방법에 의해 제조된 CZTSe계 박막 | 새창보기 |
[KST2015152590][한국에너지기술연구원] | 염료감응 태양전지의 밀봉방법 및 밀봉단계를 포함하는 염료감응 태양전지의 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015152769][한국에너지기술연구원] | 고밀도를 갖는 태양전지용 CIS계 화합물 박막의 제조방법 및 상기 CIS계 화합물 박막을 이용한 박막 태양전지의 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015152680][한국에너지기술연구원] | 그린 발광 스펙트럼 컨버터 및 이 그린 발광 스펙트럼 컨버터가 코팅된 다결정 실리콘 태양전지 소자 | 새창보기 |
[KST2015154263][한국에너지기술연구원] | 이중구조의 투명전도막 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015152945][한국에너지기술연구원] | 후면전극형 염료감응 태양전지 및 이의 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015153160][한국에너지기술연구원] | 스핀 캐스팅법을 이용한 실리콘 기판 제조 장치 및 이를 이용한 실리콘 기판 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2015154258][한국에너지기술연구원] | 산란층을 포함하는 염료감응 태양전지용 겔형 고분자 전해질, 이를 포함하는 염료감응 태양전지 및 염료감응 태양전지의 제조방법 | 새창보기 |
[KST2014054188][한국에너지기술연구원] | 사막지역 태양광패널 평가 시스템 구축 및 솔라시뮬레이터 선정 및 제작을 위한 노하우 전수 | 새창보기 |
[KST2015152770][한국에너지기술연구원] | 급속열처리 공정을 사용한 CIS계 화합물 박막의 제조방법 및 상기 CIS계 화합물 박막을 이용한 박막 태양전지의 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015153857][한국에너지기술연구원] | 용액상 볼밀법을 이용한 CIS계 또는 CZTS계 콜로이드 용액 및 이를 이용한 태양전지 광흡수층 CIS계 또는 CZTS계 화합물 박막의 제조방법 | 새창보기 |
[KST2014048945][한국에너지기술연구원] | 형광체를 사용한 고효율 태양전지 | 새창보기 |
[KST2014067175][한국에너지기술연구원] | [염료감응형 태양전지]전자 재결합 방지 공흡착제 기술 | 새창보기 |
[KST2015154433][한국에너지기술연구원] | 실리콘 태양전지용 실리콘 기판 표면의 처리 방법 | 새창보기 |
[KST2015153081][한국에너지기술연구원] | 하이브리드 태양전지 | 새창보기 |
[KST2015153766][한국에너지기술연구원] | 다방향성 에너지 흡수형 태양광발전모듈 | 새창보기 |
[KST2015154203][한국에너지기술연구원] | 태양광 모듈의 결함 측정장치 | 새창보기 |
[KST2015152724][한국에너지기술연구원] | 공동주택용으로 태양광과 태양열을 동시적용하는 태양에너지장치의 과열방지구조 | 새창보기 |
[KST2015020708][한국에너지기술연구원] | 태양전지 카본블랙을 포함하는 전극 페이스트의 제조방법, 그 페이스트, 그 페이스트를 이용한 전극의 제조방법, 그 전극 및 그 전극을 포함하는 태양전지 | 새창보기 |
[KST2015152938][한국에너지기술연구원] | 실리콘계 나노입자 박막 증착방법, 실리콘계 나노입자 박막 및 이를 위한 실리콘계 나노입자 박막 증착장치 | 새창보기 |
[KST2015152749][한국에너지기술연구원] | 실릴프로피오나이트릴이 결합된 나노실리카를 포함하는 염료감응 태양전지용 나노젤형 전해질, 이의 제조방법 및 이를 이용한 염료감응 태양전지 | 새창보기 |
[KST2015152579][한국에너지기술연구원] | CIS계 박막 태양전지용 버퍼층 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015152663][한국에너지기술연구원] | 태양전지용 Cu-In-Zn-Sn-(Se,S)계 박막 및 이의 제조방법 | 새창보기 |
[KST2014021845][한국에너지기술연구원] | 고효율 다결정 실리콘 태양전지 소자 | 새창보기 |
[KST2015153853][한국에너지기술연구원] | 실리콘 구립체 기반 태양전지 제조방법 및 이에 의하여 제조된 태양전지 | 새창보기 |
[KST2015152697][한국에너지기술연구원] | 염료감응 태양전지용 나노젤형 전해질, 이의 제조방법 및 이를 이용한 염료감응 태양전지 | 새창보기 |
[KST2015152743][한국에너지기술연구원] | 자체 전력으로 후면을 가열하는 저열화 실리콘 박막 태양 전지 | 새창보기 |
[KST2015152887][한국에너지기술연구원] | 발열체를 이용한 저열화 실리콘 박막 태양 전지 | 새창보기 |
심판사항 정보가 없습니다 |
---|