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실리콘의 정련 장치
- 기술번호 : KST2015153252
- 담당센터 : 대전기술혁신센터
- 전화번호 : 042-610-2279
| 요약 | 실리콘의 정련 장치가 개시된다.본 발명의 일 실시예에 따른 실리콘의 정련 장치는 진공 분위기를 유지하는 진공 챔버, 상기 진공 챔버에 구비되어 전자빔을 조사하는 적어도 하나 이상의 전자총(Electron-gun), 상기 전자빔이 조사되는 영역 내에 배치되며, 실리콘 원료물질이 장입되어 상기 전자빔에 의해 상기 실리콘 원료물질이 용융되어 실리콘 용탕이 형성되는 실리콘 용융부, 상기 실리콘 용융부로부터 공급되는 실리콘 용탕을 응고시키는 일방향 응고부 및 상기 실리콘 용융부의 제 1 채널부와 상기 일방향 응고부의 제 2 채널부가 서로 접하여 이루어진 연결탕로부를 포함하고, 상기 연결탕로부는 하면부와 상기 하면부의 양 끝단에서 실질적으로 수직방향으로 연장된 한쌍의 측면부를 포함하고, 상기 실리콘 용탕이 이송되는 방향에 따라 상기 하면부의 단면적이 작아질 수 있다. |
|---|---|
| Int. CL | H01L 31/04 (2014.01) C01B 33/037 (2006.01) |
| CPC | C01B 33/037(2013.01) C01B 33/037(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020120075043 (2012.07.10) |
| 출원인 | 한국에너지기술연구원 |
| 등록번호/일자 | 10-1397979-0000 (2014.05.15) |
| 공개번호/일자 | 10-2014-0008485 (2014.01.21) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20140530) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2012.07.10) |
| 심사청구항수 | 17 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국에너지기술연구원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 이진석 | 대한민국 | 대전 유성구 |
| 2 | 안영수 | 대한민국 | 대전 유성구 |
| 3 | 장보윤 | 대한민국 | 대전 유성구 |
| 4 | 김준수 | 대한민국 | 대전 유성구 |
| 5 | 이준규 | 대한민국 | 대전 서구 |
| 6 | 노종진 | 대한민국 | 충북 청주시 흥덕구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 임상엽 | 대한민국 | 서울특별시 성동구 광나루로 ***, *층 ***호 (성수동*가, 서울숲IT캐슬)(지반특허법률사무소) |
| 2 | 고영갑 | 대한민국 | 경기도 성남시 분당구 정자일로 ***, 파크뷰 타워 ***호 (정자동)(가람특허법률사무소) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국에너지기술연구원 | 대전광역시 유성구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2012.07.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0550819-83 |
| 2 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2013.05.01 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 3 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2013.05.10 | 수리 (Accepted) | 9-1-2013-0038599-44 |
| 4 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2013.11.15 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0785592-39 |
| 5 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.01.07 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5003356-15 |
| 6 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2014.01.15 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0042705-29 |
| 7 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2014.01.15 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2014-0042731-17 |
| 8 | 등록결정서 Decision to grant |
2014.04.14 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0255262-81 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.03.10 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-0013224-83 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2017.01.19 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5010650-13 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.01.08 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5004978-55 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.08.21 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5166801-48 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.08.21 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5166803-39 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.09.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5197654-62 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 진공 분위기를 유지하는 진공 챔버;상기 진공 챔버에 구비되어 전자빔을 조사하는 적어도 하나 이상의 전자총(Electron-gun);상기 전자빔이 조사되는 영역 내에 배치되며, 실리콘 원료물질이 장입되어 상기 전자빔에 의해 상기 실리콘 원료물질이 용융되어 실리콘 용탕이 형성되는 실리콘 용융부;상기 실리콘 용융부로부터 공급되는 실리콘 용탕을 응고시키는 일방향 응고부; 및상기 실리콘 용융부의 제 1 채널부와 상기 일방향 응고부의 제 2 채널부가 서로 접하여 이루어진 연결탕로부를 포함하고,상기 연결탕로부는 하면부와 상기 하면부의 양 끝단에서 상 방향으로 연장된 한쌍의 측면부를 포함하고, 상기 실리콘 용탕이 이송되는 방향에 따라 상기 하면부의 단면적이 작아지는 실리콘의 정련 장치 |
| 2 |
2 제 1항에 있어서,상기 연결탕로부는 상기 실리콘 용탕이 이송되는 방향에 따라 각각 마주보는 상기 측면부 간의 거리는 좁아지는 것을 특징으로 하는 실리콘의 정련 장치 |
| 3 |
3 제 1항에 있어서,상기 연결탕로부는상기 하면부에서부터 상부 방향으로 각각 마주보는 상기 측면부 간의 거리가 넓어지는 것을 특징으로 하는 실리콘의 정련 장치 |
| 4 |
4 제 1항에 있어서,상기 연결탕로부의 하면부는 소정의 곡률을 갖는 곡면을 갖는 끝단부를 갖는 것을 특징으로 하는 실리콘의 정련 장치 |
| 5 |
5 제 1항에 있어서,상기 실리콘 용융부 또는 상기 일방향 응고부는구리 재질을 가지는 것을 특징으로 하는 실리콘의 정련 장치 |
| 6 |
6 제 1항에 있어서,상기 실리콘 용융부는 외측에 배치되며, 유체가 흐르는 유로부를 포함하고,상기 유로부는 복수 개의 슬릿에 의해 형성된 복수의 유로를 포함하는 제 1 유로부와 상기 제 1 유로부에 연장되고, 상기 복수의 유로가 서로 연결되어 하나의 유로를 형성하는 제 2 유로부를 포함하는 실리콘의 정련 장치 |
| 7 |
7 제 1항에 있어서,상기 실리콘 용융부는 각 외측에 배치된 각각의 유로부를 포함하고,인접한 상기 유로부들은 상기 실리콘 용융부의 내부를 관통하여 서로 공간적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 실리콘의 정련 장치 |
| 8 |
8 제 1항에 있어서,상기 일방향 응고부는 외측에 배치된 복수의 냉각유로부를 갖고,상기 복수의 냉각유로부 중 적어도 어느 하나의 냉각유로부의 유로 폭은 나머지 유로 폭보다 큰 것을 특징으로 하는 실리콘의 정련 장치 |
| 9 |
9 제 1항에 있어서,상기 실리콘 용융부는 제 1 실리콘 용융부와 제 2 실리콘 용융부를 포함하고,상기 제 1 실리콘 용융부의 제 1 채널부와 상기 제 2 실리콘 용융부의 제 2 채널부가 서로 접하여 이루어진 제 1 연결탕로부 및상기 제 2 실리콘 용융부의 제 3 채널부와 상기 일방향 응고부의 제 4 채널부가 서로 접하여 이루어진 제 2 연결탕로부를 포함하고,상기 제 1 연결탕로부와 상기 제 2 연결탕로부는 각각 하면부와 상기 하면부의 양 끝단에서 실질적으로 수직방향으로 연장된 한 쌍의 측면부를 포함하고,상기 제 1 연결탕로부와 상기 제 2 연결탕로부 중 적어도 하나는 상기 실리콘 용탕이 이송되는 방향에 따라 상기 하면부의 단면적이 작아지는 것을 특징으로 하는 실리콘의 정련 장치 |
| 10 |
10 실리콘 원료물질이 용융되어 저장된 실리콘 용융부;상기 실리콘 용융부로부터 공급되는 실리콘 용탕을 응고시키는 일방향 응고부; 및상기 실리콘 용융부의 제 1 채널부와 상기 일방향 응고부의 제 2 채널부가 서로 접하여 이루어진 연결탕로부를 포함하고,상기 연결탕로부의 채널의 폭은 상기 실리콘 용탕이 이송되는 방향에 따라 좁아지는 실리콘의 정련 장치 |
| 11 |
11 제 10항에 있어서,상기 연결탕로부는 상기 제 1 채널부와 상기 제 2 채널부로 이루어진 채널의 폭이 상측으로 넓어지는 것을 특징으로 하는 실리콘의 정련 장치 |
| 12 |
12 제 10항에 있어서,상기 실리콘 용융부 또는 상기 일방향 응고부는구리 재질을 가지는 것을 특징으로 하는 실리콘의 정련장치 |
| 13 |
13 제 10항에 있어서,상기 실리콘 용융부에 실리콘 원료물질을 공급하는 원료 공급부를 포함하고,상기 연결탕로부의 중심축은 상기 원료 공급부의 투입구의 중심축과 다른 위치에 있는 것을 특징으로 하는 실리콘의 정련 장치 |
| 14 |
14 제 10항에 있어서,상기 실리콘 용융부는 제 1 실리콘 용융부와 제 2 실리콘 용융부를 포함하고,상기 제 1 실리콘 용융부의 제 1 채널부와 상기 제 2 실리콘 용융부의 제 2 채널부가 서로 접하여 이루어진 제 1 연결탕로부 및상기 제 2 실리콘 용융부의 제 3 채널부와 상기 일방향 응고부의 제 4 채널부가 서로 접하여 이루어진 제 2 연결탕로부를 포함하고,상기 제 1 연결탕로부는 상기 제 1 채널부와 상기 제 2 채널부로 이루어진 채널 또는 상기 제 2 연결탕로부는 상기 제 3 채널부와 상기 일방향 응고부의 제 4채널부로 이루어진 채널의 폭이 상기 실리콘 용탕이 이송되는 방향에 따라 좁아지는 것을 특징으로 하는 실리콘의 정련 장치 |
| 15 |
15 삭제 |
| 16 |
16 삭제 |
| 17 |
17 삭제 |
| 18 |
18 삭제 |
| 19 |
19 실리콘 용탕이 형성되는 실리콘 용융부; 및상기 실리콘 용융부로부터 공급되는 실리콘 용탕을 응고시키는 일방향 응고부를 포함하고,상기 실리콘 용융부의 제 1 채널부와 상기 일방향 응고부의 제 2 채널부가 서로 접하여 이루어진 연결탕로부를 포함하고,상기 연결탕로부는 하면부와 상기 하면부의 양 끝단에서 상 방향으로 연장된 한쌍의 측면부를 포함하고, 상기 실리콘 용탕이 이송되는 방향에 따라 상기 하면부 일면의 기울기가 수평방향을 기준으로 증가하는 실리콘의 정련 장치 |
| 20 |
20 제 19항에 있어서,상기 연결탕로부는 상기 실리콘 용탕이 이송되는 방향에 따라 각각 마주보는 상기 측면부 간의 거리는 좁아지는 것을 특징으로 하는 실리콘의 정련 장치 |
| 21 |
21 제 19항에 있어서,상기 연결탕로부는상기 하면부에서부터 상부 방향으로 각각 마주보는 상기 측면부 간의 거리가 넓어지는 것을 특징으로 하는 실리콘의 정련 장치 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1397979-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20120710 출원 번호 : 1020120075043 공고 연월일 : 20140530 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20140414 청구범위의 항수 : 17 유별 : C01B 33/037 발명의 명칭 : 실리콘의 정련 장치 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 한국에너지기술연구원 대전광역시 유성구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 354,000 원 | 2014년 05월 16일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 289,800 원 | 2017년 03월 08일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 207,000 원 | 2018년 04월 16일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 207,000 원 | 2019년 03월 26일 | 납입 |
| 제 7 년분 | 금 액 | 373,000 원 | 2020년 03월 09일 | 납입 |
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2012.07.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0550819-83 |
| 2 | 선행기술조사의뢰서 | 2013.05.01 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 3 | 선행기술조사보고서 | 2013.05.10 | 수리 (Accepted) | 9-1-2013-0038599-44 |
| 4 | 의견제출통지서 | 2013.11.15 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0785592-39 |
| 5 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.01.07 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5003356-15 |
| 6 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2014.01.15 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0042705-29 |
| 7 | [명세서등 보정]보정서 | 2014.01.15 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2014-0042731-17 |
| 8 | 등록결정서 | 2014.04.14 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0255262-81 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.03.10 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-0013224-83 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2017.01.19 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5010650-13 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.01.08 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5004978-55 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.08.21 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5166801-48 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.08.21 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5166803-39 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.09.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5197654-62 |
| 기술정보가 없습니다 |
|---|
| 과제고유번호 | 1415127617 |
|---|---|
| 세부과제번호 | KIER-B22403 |
| 연구과제명 | 저가형리본태양전지 기술개발 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 지식경제부 |
| 연구관리전문기관명 | 산업기술연구회 |
| 연구주관기관명 | 한국에너지기술연구원 |
| 성과제출연도 | 2012 |
| 연구기간 | 200801~201212 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 개발연구 |
| 6T분류명 | ET(환경기술) |
특허성과
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