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진공 분위기를 유지하는 진공챔버;상기 진공챔버에 구비되어 전자빔을 조사하는 전자빔조사부;입자형태의 실리콘원료가 투입되며, 상기 전자빔조사부로부터 전자빔이 조사되는 영역 내에 배치되어 전자빔에 의해 실리콘원료가 용융되어 실리콘용탕이 만들어지는 실리콘용융부;하부에 냉각채널이 형성되어 상기 실리콘용융부로부터 공급되는 실리콘용탕을 응고시키는 일방향응고부; 및별도로 제조되어 오염되지 않고 순도가 높으며 상기 일방향응고부 내부에서 상기 실리콘용융부로부터 공급되는 실리콘용탕을 상기 일방향응고부 하부로 이송시키는 단결정 실리콘버튼 및 상기 단결정 실리콘버튼의 하면이 용융되어 접합되며 상기 단결정 실리콘버튼이 이동되도록 하는 흑연더미바를 을 포함하는 스타트블럭;을 포함하여 구성되는 단결정 실리콘버튼을 이용한 폴리실리콘 제조장치
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제 1항에 있어서,상기 단결정 실리콘버튼은 하면에 일정한 패턴을 가지도록 형성되며, 상기 흑연더미바는 상면이 상기 단결정 실리콘버튼의 하면에 대응되는 패턴을 가지도록 형성되어 서로 주합되도록 접합되는 것을 특징으로 하는 단결정 실리콘버튼을 이용한 폴리실리콘 제조장치
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제 2항에 있어서,상기 패턴은,상기 단결정 실리콘버튼 및 상기 흑연더미바의 접촉면적이 상기 흑연더미바 또는 상기 단결정 실리콘버튼의 횡단면보다 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 단결정 실리콘버튼을 이용한 폴리실리콘 제조장치
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제 3항에 있어서,상기 단결정 실리콘버튼은 하면이 피라미드형태로 형성되고 상기 흑연더미바는 상면이 상기 단결정 실리콘버튼에 대응되는 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 단결정 실리콘버튼을 이용한 폴리실리콘 제조장치
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제 3항에 있어서,상기 단결정 실리콘버튼은 하면에 복수 개의 홀 또는 복수 개의 돌출부가 형성되고, 상기 흑연더미바는 상면이 상기 단결정 실리콘버튼에 대응되는 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 단결정 실리콘버튼을 이용한 폴리실리콘 제조장치
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제 1항에 있어서,상기 스타트블럭은,유도가열 또는 저항가열을 통해서 상기 단결정 실리콘버튼 및 상기 흑연더미바가 접합되는 것을 특징으로 하는 단결정 실리콘버튼을 이용한 폴리실리콘 제조장치
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제 1항에 있어서,상기 실리콘용융부는,복수 개로 구성되는 단결정 실리콘버튼을 이용한 폴리실리콘 제조장치
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제 1항에 있어서,상기 전자빔조사부는,상기 일방향응고부의 상부에 전자빔을 조사하는 것을 특징으로 하는 단결정 실리콘버튼을 이용한 폴리실리콘 제조장치
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제 1항에 있어서,상기 전자빔조사부는,복수 개로 구성되어 상기 실리콘용융부 및 상기 일방향응고부에 전자빔을 조사하는 것을 특징으로 하는 단결정 실리콘버튼을 이용한 폴리실리콘 제조장치
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제 1항에 있어서,상기 실리콘용융부는,하부에 냉각 채널이 형성된 구리 재질의 주조 용기를 구비하는 것을 특징으로 단결정 실리콘버튼을 이용한 폴리실리콘 제조 장치
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제 1항에 있어서,상기 일방향응고부는하부에 냉각 채널이 형성된 구리 재질의 주조 용기를 구비하는 것을 특징으로 하는 단결정 실리콘버튼을 이용한 폴리실리콘 제조 장치
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제 1항 내지 제 11항 중 어느 한 항에 있어서,상기 단결정 실리콘버튼은,상면이 단결정 실리콘으로 형성되는 것을 특징으로 하는 단결정 실리콘버튼을 이용한 폴리실리콘 제조장치
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