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원통형의 내부 공간을 제공하는 외부 용기와, 상기 외부 용기의 내부 공간에 거치되는 도가니 및 상기 외부 용기와 상기 도가니 사이에 배치되어 상기 도가니를 가열하는 히터를 포함하는 진공 증발원 본체; 및상기 진공 증발원 본체의 출구 측에 배치되어 상기 도가니의 출구를 개폐하는 셔터;를 포함하며,상기 셔터의 안쪽 면에는, 상기 안쪽 면이 상기 도가니 출구에 대응되는 영역으로부터 상기 외부 용기 바깥쪽 영역까지 돌출하여 연장된 다수의 흐름 가이드가 부착되어,상기 흐름 가이드에 의해서 상기 도가니의 출구와 마주보는 상기 셔터의 안쪽 면에 응축된 소스 잔류물이 상기 외부 용기보다 바깥쪽으로 흘러 배출되는 것을 특징으로 하는, 소스 잔류물 배출형 셔터를 구비한 진공 증발원
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2
제 1항에 있어서,상기 다수의 흐름 가이드는, 상기 셔터의 안쪽 면으로부터 상기 도가니 출구 방향으로 볼록하게 돌출되고, 상기 셔터의 안쪽 면에 평행한 방향으로 길게 연장된 형상을 가지는 것을 특징으로 하는, 소스 잔류물 배출형 셔터를 구비한 진공 증발원
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제 2항에 있어서,상기 다수의 흐름 가이드는, 상기 도가니 출구에 대응되는 영역의 돌출된 높이보다 상기 외부 용기 바깥 영역에 대응되는 부분의 돌출된 높이가 더 높은 것을 특징으로 하는, 소스 잔류물 배출형 셔터를 구비한 진공 증발원
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4
제 1항에 있어서,상기 다수의 흐름 가이드는, 상기 셔터의 안쪽 면으로부터 오목하게 형성되고, 상기 셔터의 안쪽 면에 평행한 방향으로 길게 연장된 형상을 가지는 것을 특징으로 하는,소스 잔류물 배출형 셔터를 구비한 진공 증발원
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제 4항에 있어서,상기 셔터는 하나의 셔터 축을 중심으로 한 회전 동작에 의해 상기 도가니 출구를 개폐하는 것으로서, 상기 도가니의 출구를 덮는 커버부; 및 상기 커버부의 일측과 상기 셔터 축을 연결하는 셔터 축 연결부를 포함하고,상기 커버부는 상기 셔터 축에서 멀어지는 쪽 방향으로 확장되어 상기 외부 용기의 바깥쪽에 대응되는 영역까지 도달하도록 형성된 것을 특징으로 하는,소스 잔류물 배출형 셔터를 구비한 진공 증발원
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제 1항에 있어서,상기 셔터는 하나의 셔터 축을 중심으로 한 회전 동작에 의해 상기 도가니 출구를 개폐하는 것으로서, 상기 도가니의 출구를 덮는 커버부; 및 상기 커버부의 일측과 상기 셔터 축을 연결하는 셔터 축 연결부를 포함하고,상기 다수의 흐름 가이드는, 상기 셔터가 닫힌 상태에서 상기 셔터 축에 가까운 쪽에서 먼 쪽으로 상기 소스 잔류물의 흐름을 안내하도록 형성된 것을 특징으로 하는,소스 잔류물 배출형 셔터를 구비한 진공 증발원
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제 6항에 있어서, 상기 다수의 흐름 가이드는, 적어도 일 부분이 상기 셔터 축과 상기 커버부의 중심을 연결하는 가상의 선에 평행한 방향으로 연장된 것을 특징으로 하는, 소스 잔류물 배출형 셔터를 구비한 진공 증발원
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8
제 6항에 있어서,상기 다수의 흐름 가이드는, 상기 셔터가 닫힌 상태에서 상기 셔터 축에 가까운 쪽에서 먼 쪽으로 상기 소스 잔류물의 흐름을 안내하도록 형성된 제 1 흐름 가이드; 및 상기 셔터가 열린 상태에서 상기 커버부로부터 상기 셔터 축 방향으로의 소스 잔류물의 흐름을 상기 셔터 축 연결부의 바깥쪽으로 안내하도록 형성된 제 2 흐름 가이드를 포함하는 것을 특징으로 하는,소스 잔류물 배출형 셔터를 구비한 진공 증발원
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바닥부와 원통형 또는 원추형의 측벽을 갖는 도가니;상기 도가니의 측벽 외주면과 소정의 간격을 두고 상기 도가니의 측벽을 둘러싸는 외부 용기;상기 도가니의 출구 측에 설치되는 구조물로서, 그 안쪽 부분은 상기 도가니의 일부분을 거치하여 지지하고, 그 바깥쪽 부분은 상기 외부 용기에 의해 지지 되는 도가니 거치대;상기 도가니의 측벽과 상기 외부 용기 사이에 배치된 히터; 및상기 도가니의 출구 측에 배치되어 상기 도가니의 출구를 개폐하는 셔터;를 포함하며,상기 셔터의 안쪽 면에는, 상기 안쪽 면이 상기 도가니 출구에 대응되는 영역으로부터 상기 외부 용기 바깥쪽 영역까지 돌출하여 연장된 다수의 흐름 가이드가 부착되어,상기 흐름 가이드에 의해서 상기 도가니의 출구와 마주보는 상기 셔터의 안쪽 면에 응축된 소스 잔류물이 상기 외부 용기보다 바깥쪽으로 흘러 배출되는 것을 특징으로 하는, 소스 잔류물 배출형 셔터를 구비한 진공 증발원
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10
제 9항에 있어서,상기 셔터는 하나의 셔터 축을 중심으로 한 회전 동작에 의해 상기 도가니 출구를 개폐하는 것으로서, 상기 도가니의 출구를 덮는 커버부; 및 상기 커버부의 일측과 상기 셔터 축을 연결하는 셔터 축 연결부를 포함하고,상기 다수의 흐름 가이드는, 상기 셔터 축에 가까운 쪽에서 먼 쪽으로 상기 소스 잔류물의 흐름을 안내하도록 형성된 것을 특징으로 하는,소스 잔류물 배출형 셔터를 구비한 진공 증발원
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11
제 10항에 있어서,상기 다수의 흐름 가이드는, 적어도 일 부분이 상기 셔터 축과 상기 커버부의 중심을 연결하는 가상의 선에 평행한 방향으로 연장되고, 상기 커버부의 안쪽 면으로부터 상기 도가니 출구 방향으로 볼록하게 돌출된 형태를 가지는 것을 특징으로 하는, 소스 잔류물 배출형 셔터를 구비한 진공 증발원
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12
제 10항에 있어서,상기 셔터가 닫힌 상태에서 상기 셔터 축에 가까운 쪽에서 먼 쪽으로 상기 소스 잔류물의 흐름을 안내하도록 형성된 제 1 흐름 가이드; 및 상기 셔터가 열린 상태에서 상기 커버부로부터 상기 셔터 축 방향으로의 소스 잔류물의 흐름을 상기 셔터 축 연결부의 바깥쪽으로 안내하도록 형성된 제 2 흐름 가이드를 포함하는 것을 특징으로 하는,소스 잔류물 배출형 셔터를 구비한 진공 증발원
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13
진공 챔버 내에 배치되는 기판; 및진공 챔버 내에 배치된 것으로, 그 출구 부분이 상기 기판의 중심을 향해 기울어지도록 배치된 다수의 진공 증발원;을 포함하고,상기 진공 증발원은,원통형의 내부 공간을 제공하는 외부 용기와, 상기 외부 용기의 내부 공간에 거치되는 도가니 및 상기 외부 용기와 상기 도가니 사이에 배치되어 상기 도가니를 가열하는 히터를 포함하는 진공 증발원 본체; 및상기 진공 증발원 본체의 출구 측에 배치되어 상기 도가니의 출구를 개폐하는 셔터;를 포함하며,상기 셔터의 안쪽 면에는, 상기 안쪽 면이 상기 도가니 출구에 대응되는 영역으로부터 상기 외부 용기 바깥쪽 영역까지 경사 방향을 따라 돌출하여 연장된 다수의 흐름 가이드가 부착되어,상기 흐름 가이드에 의해서 상기 도가니의 출구와 마주보는 상기 셔터의 안쪽 면에 응축된 소스 잔류물이 상기 외부 용기보다 바깥쪽으로 흘러 배출되는 것을 특징으로 하는, 증착 장비
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14
제 13항에 있어서,상기 다수의 흐름 가이드는, 상기 셔터의 안쪽 면으로부터 상기 도가니 출구 방향으로 볼록하게 돌출되어 길게 연장된 형상을 가지는 것을 특징으로 하는, 증착 장비
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15
제 14항에 있어서,상기 다수의 흐름 가이드는, 상기 도가니 출구에 대응되는 영역의 돌출된 높이보다 상기 외부 용기 바깥 영역에 대응되는 부분의 돌출된 높이가 더 높은 것을 특징으로 하는, 증착 장비
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16
제 13항에 있어서,상기 셔터는 하나의 셔터 축을 중심으로 한 회전 동작에 의해 상기 도가니 출구를 개폐하는 것으로서, 상기 도가니의 출구를 덮는 커버부; 및 상기 커버부의 일측과 상기 셔터 축을 연결하는 셔터 축 연결부를 포함하고,상기 진공 증발원은 상기 셔터 축이 기울어진 진공 증발원에서 가장 높은 쪽을 향하도록 배치된 것을 특징으로 하는,증착 장비
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제 16항에 있어서, 상기 다수의 흐름 가이드는, 적어도 일 부분이 상기 셔터 축과 상기 커버부의 중심을 연결하는 가상의 선에 평행한 방향으로 연장된 것을 특징으로 하는, 증착 장비
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18
제 16항에 있어서,상기 다수의 흐름 가이드는,상기 셔터가 닫힌 상태에서 상기 셔터 축에 가까운 쪽에서 먼 쪽으로 상기 소스 잔류물의 흐름을 안내하도록 형성된 제 1 흐름 가이드; 및 상기 셔터가 열린 상태에서 상기 커버부로부터 상기 셔터 축 방향으로의 소스 잔류물의 흐름을 상기 셔터 축 연결부의 바깥쪽으로 안내하도록 형성된 제 2 흐름 가이드를 포함하는 것을 특징으로 하는,증착 장비
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진공 챔버 내에 배치되는 기판; 및진공 챔버 내에 배치된 것으로, 그 출구 부분이 상기 기판의 중심을 향해 기울어지도록 배치된 다수의 진공 증발원;을 포함하고,상기 진공 증발원은,바닥부와 원통형 또는 원추형의 측벽을 갖는 도가니;상기 도가니의 측벽 외주면과 소정의 간격을 두고 상기 도가니의 측벽을 둘러싸는 외부 용기;상기 도가니의 출구 측에 설치되는 구조물로서, 그 안쪽 부분은 상기 도가니의 일부분을 거치하여 지지하고, 그 바깥쪽 부분은 상기 외부 용기에 의해 지지 되는 도가니 거치대;상기 도가니의 측벽과 상기 외부 용기 사이에 배치된 히터; 및상기 도가니의 출구 측에 배치되어 상기 도가니의 출구를 개폐하는 셔터;를 포함하며,상기 셔터의 안쪽 면에는, 상기 안쪽 면이 상기 도가니 출구에 대응되는 영역으로부터 상기 외부 용기 바깥쪽 영역까지 경사 방향을 따라 돌출하여 연장된 다수의 흐름 가이드가 부착되어,상기 흐름 가이드에 의해서 상기 도가니의 출구와 마주보는 상기 셔터의 안쪽 면에 응축된 소스 잔류물이 상기 외부 용기보다 바깥쪽으로 흘러 배출되는 것을 특징으로 하는, 증착 장비
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제 19항에 있어서,상기 셔터는 하나의 셔터 축을 중심으로 한 회전 동작에 의해 상기 도가니 출구를 개폐하는 것으로서, 상기 도가니의 출구를 덮는 커버부; 및 상기 커버부의 일측과 상기 셔터 축을 연결하는 셔터 축 연결부를 포함하고,상기 진공 증발원은 상기 셔터 축이 기울어진 진공 증발원에서 가장 높은 쪽을 향하도록 배치된 것을 특징으로 하는,증착 장비
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제 20항에 있어서,상기 다수의 흐름 가이드는, 적어도 일 부분이 상기 셔터 축과 상기 커버부의 중심을 연결하는 가상의 선에 평행한 방향으로 연장되고, 상기 커버부의 안쪽 면으로부터 상기 도가니 출구 방향으로 볼록하게 돌출된 형태를 가지는 것을 특징으로 하는, 증착 장비
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22
제 20항에 있어서,상기 다수의 흐름 가이드는,상기 셔터가 닫힌 상태에서 상기 셔터 축에 가까운 쪽에서 먼 쪽으로 상기 소스 잔류물의 흐름을 안내하도록 형성된 제 1 흐름 가이드; 및 상기 셔터가 열린 상태에서 상기 커버부로부터 상기 셔터 축 방향으로의 소스 잔류물의 흐름을 상기 셔터 축 연결부의 바깥쪽으로 안내하도록 형성된 제 2 흐름 가이드를 포함하는 것을 특징으로 하는,증착 장비
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