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회전체를 이용한 기판의 코팅장치 및 코팅방법

  • 기술번호 : KST2015153329
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 본 발명은 내주면에 기판(B,B1)을 수용하여 회전하는 회전체(100); 및 상기 회전체(100)의 내부에 배치되고 상기 회전체(100)의 회전시 상기 기판을 향해서 코팅용 용액(S)을 분사하는 용액 분사수단;을 포함하고, 상기 용액(S)은 중력과 원심력에 의해 상기 기판의 표면에 고르게 코팅되는 것을 특징으로 하는 회전체를 이용한 기판의 코팅장치를 제공한다. 본 발명은 상기 구성에 의해서, 회전체의 회전 원심력과 중력을 이용하여 기판의 표면에 용액을 균일한 두께로 코팅할 수 있고, 용액(S)의 밀도 및 점성에 따라 회전체의 회전 속도를 가변 조절할 수 있는 유리한 이점을 갖고, 또한 중력과 원심력이 용액을 눌러 고르게 펴주기 때문에 텍스처가 있는 기판에도 적용할 수 있는 점이 또 하나의 장점이다.
Int. CL H01L 51/48 (2006.01)
CPC H01L 51/0003(2013.01) H01L 51/0003(2013.01) H01L 51/0003(2013.01) H01L 51/0003(2013.01) H01L 51/0003(2013.01) H01L 51/0003(2013.01)
출원번호/일자 1020120092119 (2012.08.23)
출원인 한국에너지기술연구원
등록번호/일자 10-1412948-0000 (2014.06.20)
공개번호/일자 10-2014-0026714 (2014.03.06) 문서열기
공고번호/일자 (20140626) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.08.23)
심사청구항수 15

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김성범 대한민국 서울 송파구
2 이정철 대한민국 울산 울주군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 다해 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로***, *층(삼성동,고운빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.08.23 수리 (Accepted) 1-1-2012-0676731-85
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.08.01 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.08.30 수리 (Accepted) 9-1-2013-0073428-11
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.12.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0838411-16
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.12.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-1187315-26
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.07 수리 (Accepted) 4-1-2014-5003356-15
7 등록결정서
Decision to grant
2014.05.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0341544-02
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.10 수리 (Accepted) 4-1-2015-0013224-83
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.19 수리 (Accepted) 4-1-2017-5010650-13
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.01.08 수리 (Accepted) 4-1-2019-5004978-55
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166801-48
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166803-39
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.09.01 수리 (Accepted) 4-1-2020-5197654-62
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
내주면에 기판(B,B1)을 수용하여 회전하는 회전체(100); 및상기 회전체(100)의 내부에 배치되고 상기 회전체(100)의 회전시 상기 기판을 향해서 코팅용 용액(S)을 분사하는 용액 분사수단;을 포함하고,상기 용액(S)은 중력과 원심력에 의해 상기 기판의 표면에 고르게 코팅되는 것을 특징으로 하는 회전체를 이용한 기판의 코팅장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 용액 분사수단은,하단부가 회전체의 내부 바닥으로부터 이격된 높이에 배치되는 공급관(150)과, 공급관(150)의 외주면을 따라 배치되고 상기 기판을 향해서 용액을 분사하는 복수의 분사노즐(155)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 회전체를 이용한 기판의 코팅장치
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 용액 분사수단은,상기 회전체의 내부에 배치되어 상기 기판을 향해서 용액을 분사하는 노즐인 것을 특징으로 하는 회전체를 이용한 기판의 코팅장치
4 4
제 1 항에 있어서,상기 회전체(100)의 내주면에는 상기 기판을 수용하여 고정하는 고정수단이 형성된 것을 특징으로 하는 회전체를 이용한 기판의 코팅장치
5 5
제 4 항에 있어서,상기 고정수단은 상기 회전체의 내주면에 오목하게 형성된 고정홈(105)인 것을 특징으로 하는 회전체를 이용한 기판의 코팅장치
6 6
제 5 항에 있어서,상기 고정홈(105)의 테두리에는 기판의 이탈을 방지하는 걸림턱(105a)이 형성되는 것을 특징으로 하는 회전체를 이용한 기판의 코팅장치
7 7
제 1 항에 있어서,상기 회전체는 횡단면이 원 형상 또는 사각형 형상인 것을 특징으로 하는 회전체를 이용한 기판의 코팅장치
8 8
제 1 항에 있어서,상기 회전체의 내주면은 회전체의 회전 중심축에 대해 평행한 것을 특징으로 하는 회전체를 이용한 기판의 코팅장치
9 9
제 1 항에 있어서,상기 회전체의 내주면은 회전체의 회전 중심축에 대해 경사진 것을 특징으로 하는 회전체를 이용한 기판의 코팅장치
10 10
내부가 비어있는 원통형상 회전체(100); 및상기 회전체(100)의 내부 중앙에 배치되고, 코팅용 용액(S)을 분사하는 용액 분사수단; 및상기 용액분사수단에 구비된 분사노즐;을 포함하고,상기 노즐에서 분사된 용액(S)은 회전체의 회전에 의한 원심력에 의해 상기 원통형상 회전체 내주면에 구비된 기판의 표면에 고르게 코팅되는 것을 특징으로 하는 태양전지 기판의 코팅장치
11 11
제 10 항에 있어서,상기 기판은 유연한 재질인 것을 특징으로 하는 태양전지 기판의 코팅장치
12 12
제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 기재된 기판의 코팅장치를 이용하는 기판의 코팅방법으로서,상기 회전체의 내주면에 기판을 고정시키는 제1단계;상기 회전체를 적절한 회전속도로 회전시키는 제2단계; 및상기 용액 분사수단을 이용하여 상기 기판을 향해 용액을 분사하는 제3단계;를 포함하여,원심력과 중력을 이용하여 용액을 상기 기판에 코팅시키는 것을 특징으로 하는 기판의 코팅방법
13 13
제 12 항에 있어서,상기 회전체를 회전시키는 제2단계는, 상기 용액(S)의 밀도 및 점성에 따라 상기 회전체의 회전 속도를 가변시키는 단계를 더 구비한 것을 특징으로 하는 회전체를 이용한 기판의 코팅방법
14 14
제 12 항에 기재된 기판의 코팅방법에 의해서 제조된 것을 특징으로 하는 태양전지 기판
15 15
제 12 항에 기재된 기판 코팅방법에 의해서 제조된 기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 태양전지
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국에너지기술연구원 신재생에너지기술개발사업 고효율 고안정성 실리콘계 나노입자 박막 태양전지 원천기술 개발