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실리콘 용탕을 응고시키며, 상기 실리콘 용탕의 액체와 고체가 공존하는 영역에서 시작되는 경사부를 포함하는 일방향 응고부; 상기 일방향 응고부 내부에 구비되며, 내부에 상기 실리콘 용탕을 수용하기 위한 수용 공간을 갖는 수용부를 갖는 더미실린더;를 포함하는 실리콘 잉곳 제조 장치
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제 1항에 있어서,상기 수용부의 측면은하방향으로 상기 수용부의 단면적이 증가되도록 경사진 것을 특징으로 하는 실리콘 잉곳 제조 장치
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제 1항에 있어서,상기 수용부의 측면은 라운드된 것을 특징으로 하는 실리콘 잉곳 제조 장치
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제 1항에 있어서,상기 일방향 응고부는하방향으로 단면적이 증가하도록 경사지게 형성된 경사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 잉곳 제조 장치
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제 4항에 있어서,상기 더미실린더는 상기 실리콘 용탕이 상기 경사부에서 응고되는 속도와 대응되는 속도로 하강하는 것을 특징으로 하는 실리콘 잉곳 제조 장치
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제 4항에 있어서,상기 더미실린더는 상기 실리콘 용탕이 상기 경사부에서 응고되는 속도와 대응되는 속도로 하강하는 것을 특징으로 하는 실리콘 잉곳 제조 장치
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제 6항에 있어서, 상기 더미실린더의 표면은 코팅 층을 포함할 수 있는 것을 특징으로 하는 실리콘의 정련 장치
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진공 분위기를 유지하는 진공 챔버;상기 진공 챔버에 구비되며, 전자빔을 조사하는 적어도 하나 이상의 전자총(Electron-gun);상기 진공 챔버 내에 구비되며, 실리콘 원료물질을 공급하는 원료 공급부;상기 전자빔에 의해 상기 실리콘 원료물질이 용융되어 실리콘 용탕이 형성되는 실리콘 용융부;상기 실리콘 용융부로부터 공급되는 실리콘 용탕을 응고시키며, 상기 실리콘 용탕의 액체와 고체가 공존하는 영역에서 시작되는 경사부를 포함하는 일방향 응고부;상기 실리콘 용융부의 제 1 채널부와 상기 일방향 응고부의 제 2 채널부가 서로 접하여 이루어진 연결탕로부; 및상기 일방향 응고부 내부에 구비되며, 상부에 내측으로 함몰된 홈을 가지고, 상기 실리콘 용탕을 일방향 응고부의 하부로 이송시키는 더미실린더를 포함하되,상기 홈은 상기 홈의 상부보다 하부가 단면적이 큰 것을 특징으로 하는 실리콘 잉곳 제조 장치
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제 8항에 있어서,상기 일방향 응고부는 외측에 배치된 복수의 냉각유로부를 갖고,상기 복수의 냉각유로부 중 적어도 어느 하나의 냉각유로부의 유로 폭은 나머지 유로 폭보다 큰 것을 특징으로 하는 실리콘 잉곳 제조 장치
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제 9항에 있어서,상기 적어도 어느 하나의 냉각유로부는 상기 일방향 응고부의 외측 상부에 배치되는 것을 특징으로 하는 실리콘 잉곳 제조 장치
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제 9항에 있어서,상기 일방향 응고부는상기 일방향 응고부의 중심을 기준으로 상측의 냉각유로부에 연결되는 제 1 유체공급부와상기 일방향 응고부의 중심을 기준으로 하측의 냉각유로부에 연결되는 제 2 유체공급부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 잉곳 제조 장치
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제 9항에 있어서,상기 일방향 응고부는구리 재질을 가지는 것을 특징으로 하는 실리콘 잉곳 제조 장치
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제 9항에 있어서,상기 일방향 응고부의 상단부의 단면적은상부 방향으로 증가하는 것을 특징으로 하는 실리콘 잉곳 제조 장치
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실리콘 용탕을 응고시키며, 상기 실리콘 용탕의 액체와 고체가 공존하는 영역에서 시작되는 경사부를 포함하는 일방향 응고부; 및상기 일방향 응고부 내부에 구비되며, 상기 실리콘 용탕이 수용되어 응고되는 공간을 갖는 수용부를 포함하며, 상기 수용부에 응고된 실리콘과 연속적으로 제조된 잉곳을 잡아당기는 더미실린더를 포함하는 실리콘 잉곳 제조 장치
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