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다공성 지지체와, 상기 다공성 지지체 위에 다수의 컬럼으로 형성되되 복수의 층으로 형성되는 세라믹 소재의 버퍼층을 구비하는 다공성 지지체 구조;상기 다공성 지지체 구조의 버퍼층 위에 탑재되며 수소를 분리할 수 있는 팔라듐계의 포일 분리막;을 포함하며,상기 버퍼층을 형성하는 복수의 층은 이웃하는 층이 서로 상이한 세라믹 소재로 형성된 것을 특징으로 하는 포일 분리막을 이용한 수소 분리막 모듈
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제1항에 있어서,상기 다공성 지지체는 표면 조도가 100nm 내지 100㎛ 금속 소재인 것을 특징으로 하는 포일 분리막을 이용한 수소 분리막 모듈
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제1항에 있어서, 상기 버퍼층은,상기 다공성 지지체 위에 형성되며, TiOy, ZrOy, Al2Oz 중에 하나로 형성되되, 1003c#y003c#2 이거나 2003c#z003c#3인 산화물계 세라믹 소재로 형성된 제1 버퍼층;상기 제1 버퍼층 위에 형성되며, Ti, Zr, Al, Si, Ce, La, Sr, Cr, V, Nb, Ga, Ta, W 및 Mo 중에 하나를 포함하는 산화물계 세라믹 소재로 형성된 제2 버퍼층;상기 제2 버퍼층 위에 형성되며, TiOy, ZrOy, Al2Oz 중에 하나로 형성되되, 1003c#y003c#2 이거나 2003c#z003c#3인 산화물계 세라믹 소재로 형성된 제3 버퍼층;을 포함하는 것을 특징으로 하는 포일 분리막을 이용한 수소 분리막 모듈
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제1항에 있어서,상기 버퍼층을 형성하는 복수의 층은 각각 MOy(M은 Ti 또는 Zr)에서 산소의 조성이 1003c#y003c#2이거나, Al2Oz에서 산소의 조성이 2003c#z003c#3인 산화물계 세라믹 소재로 형성된 것을 특징으로 하는 포일 분리막을 이용한 수소 분리막 모듈
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제1항에 있어서,상기 버퍼층은 상기 컬럼의 직경이 10~200nm인 것을 특징으로 하는 포일 분리막을 이용한 수소 분리막 모듈
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제5항에 있어서, 상기 버퍼층은,상기 다수의 컬럼이 독립적으로 형성되거나 복수개가 군집을 이루는 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 포일 분리막을 이용한 수소 분리막 모듈
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다공성 지지체;상기 다공성 지지체 위에 다수의 컬럼으로 형성되되, 복수의 층으로 형성되는 세라믹 소재의 버퍼층;을 포함하며,상기 버퍼층을 형성하는 복수의 층은 이웃하는 층이 서로 상이한 세라믹 소재로 형성된 것을 특징으로 하는 수소 분리막 모듈용 지지체 구조
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제7항에 있어서,상기 다공성 지지체는 금속이며, 상기 버퍼층이 형성되는 표면의 조도는 100nm 이하인 것을 특징으로 하는 수소 분리막 모듈용 지지체 구조
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제8항에 있어서,상기 버퍼층은 상기 컬럼의 직경이 10~200nm인 것을 특징으로 하는 포일 분리막을 이용한 수소 분리막 모듈용 지지체 구조
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다공성 지지체를 준비하는 단계;상기 다공성 지지체 위에 다수의 컬럼 형상의 세라믹 소재의 버퍼층을 복수의 층으로 형성하는 버퍼층 형성 단계;를 포함하며,상기 버퍼층 형성 단계에서,상기 버퍼층을 형성하는 복수의 층은 이웃하는 층이 서로 상이한 세라믹 소재로 형성되는 것을 특징으로 하는 수소 분리막 모듈의 제조 방법
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제10항에 있어서, 상기 준비하는 단계에서,상기 다공성 지지체는 금속이며, 상기 버퍼층이 형성되는 표면의 조도가 100nm 이하인 것을 특징으로 하는 수소 분리막 모듈의 제조 방법
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제11항에 있어서, 상기 버퍼층 형성 단계는,상기 다공성 지지체 위에 형성하며, TiOy, ZrOy, Al2Oz 중에 하나로 형성하되, 1003c#y003c#2 이거나 2003c#z003c#3인 산화물계 세라믹 소재로 제1 버퍼층을 형성하는 단계;상기 제1 버퍼층 위에 형성하며, Ti, Zr, Al, Si, Ce, La, Sr, Cr, V, Nb, Ga, Ta, W 및 Mo 중에 하나를 포함하는 산화물계 세라믹 소재로 제2 버퍼층을 형성하는 단계;상기 제2 버퍼층 위에 형성하며, TiOy, ZrOy, Al2Oz 중에 하나로 형성하되, 1003c#y003c#2 이거나 2003c#z003c#3인 산화물계 세라믹 소재로 제3 버퍼층을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 분리막 모듈의 제조 방법
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제11항에 있어서, 상기 버퍼층 형성 단계에서,MOy(M은 Ti 또는 Zr)에서 산소의 조성이 1003c#y003c#2이거나, Al2Oz에서 산소의 조성이 2003c#z003c#3인 산화물계 세라믹 소재를 물리적으로 증착하여 상기 버퍼층을 형성하는 것을 특징으로 하는 수소 분리막 모듈의 제조 방법
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제10항에 있어서, 상기 버퍼층 형성 단계 이후에 수행되는,상기 버퍼층 위에 팔라듐계의 포일 분리막을 탑재하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 분리막 모듈의 제조 방법
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