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비진공 방식에 의한 CZTS계 광흡수층 제조방법

  • 기술번호 : KST2015153474
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 CZTS계 태양전지의 광흡수층을 형성하는 방법에 관한 것으로서, 글리콜에테르류 용매에 구리, 아연, 주석의 원은 모두 용해되고, 황과 셀레늄의 원 중에 하나 이상이 용해된 전구체 용액을 도포하는 단계; 상기 도포된 용액을 건조하는 단계; 및 건조된 박막을 황화 또는 셀렌화 열처리하는 단계를 포함한다.본 발명은, CZTS계 화합물을 구성하는 4원소 혹은 5원소의 원으로써 금속염과 티오우레아 및/또는 셀레노우레아를 글리콜에테르류에 용해시켜 기판 위에 도포한 뒤에 황화 또는 셀렌화 열처리 공정을 수행함으로써, 폭발성 용매를 사용하지 않고 비진공 방식을 기반으로 CZTS계 광흡수층을 형성할 수 있는 효과가 있다.또한, 본 발명은 용매에 CZTS계 화합물을 구성하는 원소의 원을 고농도로 용해시켜 사용함으로써, 단 1회의 도포 공정만으로 원하는 두께의 CZTS계 광흡수층을 형성하여 공정을 단순화할 수 있는 효과가 있다.
Int. CL H01L 31/042 (2014.01) H01L 31/18 (2006.01)
CPC H01L 31/0326(2013.01) H01L 31/0326(2013.01) H01L 31/0326(2013.01) H01L 31/0326(2013.01)
출원번호/일자 1020130036773 (2013.04.04)
출원인 한국에너지기술연구원
등록번호/일자 10-1449576-0000 (2014.10.02)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20141016) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.04.04)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 곽지혜 대한민국 대전 서구
2 윤재호 대한민국 대전광역시 서구
3 안승규 대한민국 대전광역시 유성구
4 신기식 대한민국 대전 유성구
5 안세진 대한민국 대전광역시 유성구
6 조아라 대한민국 서울특별시 관악구
7 윤경훈 대한민국 대전광역시 유성구
8 어영주 대한민국 대전광역시 유성구
9 조준식 대한민국 대전광역시 유성구
10 박상현 대한민국 대전 유성구
11 박주형 대한민국 대전 유성구
12 유진수 대한민국 서울특별시 노원구
13 윤나경 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다울 대한민국 서울 강남구 봉은사로 ***, ***호(역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.04.04 수리 (Accepted) 1-1-2013-0293949-37
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.07 수리 (Accepted) 4-1-2014-5003356-15
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.02.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.03.10 수리 (Accepted) 9-1-2014-0018319-54
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.07.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0467236-65
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.08.26 수리 (Accepted) 1-1-2014-0811767-76
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.08.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0811766-20
8 등록결정서
Decision to grant
2014.09.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0675944-40
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.10 수리 (Accepted) 4-1-2015-0013224-83
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.19 수리 (Accepted) 4-1-2017-5010650-13
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.01.08 수리 (Accepted) 4-1-2019-5004978-55
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166801-48
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166803-39
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.09.01 수리 (Accepted) 4-1-2020-5197654-62
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
CZTS계 태양전지의 광흡수층을 형성하는 방법으로서,글리콜에테르류 용매에 구리, 아연, 주석의 원은 모두 용해되고, 황과 셀레늄의 원 중에 하나 이상이 용해된 전구체 용액을 도포하는 단계;상기 도포된 용액을 건조하는 단계; 및건조된 박막을 황화 또는 셀렌화 열처리하는 단계를 포함하며,상기 구리, 아연, 주석의 원은 적어도 하나 이상이 염화금속이고, 나머지는 아세트산금속인 것을 특징으로 하는 CZTS계 광흡수층의 제조방법
2 2
삭제
3 3
청구항 1에 있어서,상기 구리, 아연, 주석의 원의 농도가 2
4 4
청구항 1에 있어서,상기 구리 원의 농도가 1
5 5
청구항 1에 있어서,상기 황과 셀레늄의 원이 티오우레아와 셀레노우레아인 것을 특징으로 하는 CZTS계 광흡수층의 제조방법
6 6
청구항 5에 있어서,상기 티오우레아와 셀레노우레아의 농도가 4
7 7
청구항 1에 있어서,상기 열처리하는 단계가, 불활성 기체에 1% 이상 10% 이하의 황화수소 기체를 혼합한 혼합 기체 분위기에서 수행되는 것을 특징으로 하는 CZTS계 광흡수층의 제조방법
8 8
청구항 1에 있어서,상기 열처리하는 단계가, 불활성 기체에 기화시킨 황 또는 셀레늄 분말을 0
9 9
청구항 1에 있어서,상기 열처리하는 단계가, 400℃ 이상 600℃ 이하의 온도에서 500 torr 이상의 압력으로 10분 이상 100분 이하의 시간동안 수행되는 것을 특징으로 하는 CZTS계 광흡수층의 제조방법
10 10
청구항 1에 있어서,상기 열처리하는 단계가, 400℃ 이상 600℃ 이하의 온도에서 40 torr 이상의 압력으로 1분 이상 20분 이하의 시간동안 급속열처리 장비 내에서 수행되는 것을 특징으로 하는 CZTS계 광흡수층의 제조방법
11 11
청구항 1에 있어서,상기 건조하는 단계가, 80℃ 이상 300℃ 이하에서 수행되는 것을 특징으로 하는 CZTS계 광흡수층의 제조방법
12 12
청구항 1에 있어서,상기 도포하는 단계가, 스핀코팅법, 스프레이법, 초음파스프레이법, 닥터블레이드법, 스크린인쇄법 및 잉크젯프린팅법으로 이루어진 군에서 선택된 하나의 공정으로 수행되는 것을 특징으로 하는 CZTS계 광흡수층의 제조방법
13 13
청구항 1에 있어서,상기 도포하는 단계와 상기 건조하는 단계가, 1회씩만 수행되는 것을 특징으로 하는 CZTS계 광흡수층의 제조방법
14 14
청구항 1 및 청구항 3 내지 청구항 13 중에 하나의 방법으로 제조된 CZTS계 광흡수층 박막을 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지
15 15
CZTS계 태양전지를 제조하는 방법으로서,기판에 후면전극을 형성하는 단계;상기 후면전극 위에 비진공 공정으로 CZTS계 광흡수층을 형성하는 단계;상기 광흡수층 위에 완충층을 형성하는 단계;상기 완충층 위에 창층을 형성하는 단계; 및상기 창층 표면에 전면전극을 형성하는 단계를 포함하고,상기 광흡수층을 형성하는 단계가,글리콜에테르류 용매에 구리, 아연, 주석의 원은 모두 용해되고, 황과 셀레늄의 원 중에 하나 이상이 용해된 전구체 용액을 도포하는 단계;상기 도포된 용액을 건조하는 단계; 및건조된 박막을 황화 또는 셀렌화 열처리하는 단계로 구성되며,상기 구리, 아연, 주석의 원은 적어도 하나 이상이 염화금속이고, 나머지는 아세트산금속인 것을 특징으로 하는 CZTS계 태양전지의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국에너지기술연구원 한국에너지기술연구원 주요사업 비진공 Roll-to-Roll 공정 기반 CIGS 박막 모듈 개발