1 |
1
나노입자 제조부로부터 급냉 및 이송되는 실리콘 나노입자를 외부로 안내하기 위한 연결부;상기 연결부가 상단에 연결되며, 상기 연결부를 따라 안내된 상기 실리콘(Si) 또는 실리콘 산화물(SiOx) 나노입자가 내부 공간부로 유입되는 하우징;상기 공간부에 다단의 층으로 배치되며, 상기 공간부로 유입되는 실리콘(Si) 또는 실리콘 산화물(SiOx) 나노입자를 트랩 함과 동시에 하향 이동시키기 위해 제1이동홀이 각각 형성되는 다수의 고정 플레이트; 및상기 고정 플레이트들의 사이에 각각 배치되며, 외력에 의해 수평 회전되면서 실리콘 나노입자를 트랩 함과 동시에 지그재그로 하향 이동시키기 위해 제2이동홀이 각각 형성되는 다수의 회전 플레이트;를 포함하고,상기 고정 플레이트들 및 상기 회전 플레이트들의 상부 면에는,다수의 트랩 홈 또는 트랩 홀이 각각 형성되는 것을 특징으로 하는 나노입자 포집장치
|
2 |
2
제1항에 있어서,상기 하우징의 하단에는,상기 실리콘 나노입자가 하방으로 집중되도록 하부를 따라 점진적으로 좁아지는 원추형 경사부가 더 형성되며,상기 경사부의 내부에는,상기 고정 플레이트 및 상기 회전 플레이트가 좁은 폭으로 배치되는 것을 특징으로 하는 나노입자 포집장치
|
3 |
3
제1항에 있어서,상기 제1이동홀은,상기 고정 플레이트들의 중앙에 형성되며,상기 제2이동홀은,상기 회전 플레이트의 가장자리에 형성되는 것을 특징으로 하는 나노입자 포집장치
|
4 |
4
제1항에 있어서,상기 회전 플레이트에는,회전력을 전달하기 위한 구동부가 더 구비되며,상기 구동부는,상기 하우징의 하단에 설치되는 구동모터와,상기 구동모터로부터 상기 공간부로 연장되어 상기 회전 플레이트들에 각각 연결되는 회전축이 구비되는 것을 특징으로 하는 나노입자 포집장치
|
5 |
5
삭제
|
6 |
6
제1항에 있어서,상기 연결부 또는 상기 하우징의 하단에는, 상기 실리콘 나노입자를 강제 이동시키기 위한 펌핑부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 나노입자 포집장치
|
7 |
7
제1항에 있어서,상기 나노입자 제조부는,상기 연결부의 일단이 연결되는 진공 챔버와,상기 챔버의 내부에 설치되며, 상방이 개방된 투입홈에 실리콘 원료가 공급되는 용융 도가니와,상기 투입홈에 공급된 상기 실리콘 원료를 용융하여 실리콘 나노입자로 휘발시키는 유도 용융부 및,상기 유도 용융부의 구동에 의해 휘발되는 상기 실리콘 나노입자를 급냉 및 이송하기 위해 가스를 공급하는 가스 공급부가 구비되는 것을 특징으로 하는 나노입자 포집장치
|
8 |
8
제7항에 있어서,상기 하우징의 하단에는,상기 가스를 배출시키기 위한 배기구가 더 형성되는 것을 특징으로 하는 나노입자 포집장치
|
9 |
9
제8항에 있어서,상기 배기구에는,가스 순환부가 더 연결되며,상기 가스 순환부는,상기 하우징의 하부로 이동된 미 반응 가스를 상기 가스 공급부로 재투입시키는 것을 특징으로 하는 나노입자 포집장치
|
10 |
10
제9항에 있어서,상기 가스 순환부는,상기 하우징의 하단과 상기 가스 공급부에 양단이 각각 연결되어, 미 반응 가스를 상기 가스 공급부로 재투입시키는 순환관 및,상기 순환관에 설치되며, 상기 가스 공급부로 상기 미 반응 가스를 투입 및 차단시키는 밸브가 구비되는 것을 특징으로 하는 나노입자 포집장치
|
11 |
11
제1항에 있어서,상기 연결부 또는 상기 하우징의 두께 내에는,냉각유체가 이동할 수 있도록 형성되는 냉각 유로 및,상기 냉각 유로를 통해 냉각유체를 공급하기 위한 냉각유체 공급부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 나노입자 포집장치
|