맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

실리콘 나노입자 제조장치

  • 기술번호 : KST2015153484
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 ICP(INDUCTIVE COUPLED PLASMA) 플라즈마 반응에 의해 생성된 실리콘 나노입자(A)의 응집 방지 효과를 극대화시켜 실리콘 나노입자(A)의 입도제어 성능을 향상시키는 동시에, 생성된 실리콘 나노입자(A)를 포집시키기 위한 매쉬필터(51)의 배출성능을 향상시키며, 장치의 가동 중에도 상기 매쉬필터(51)의 교체가 가능하도록 구성함으로써, 실리콘 나노입자(A)DML 생산성을 향상시키고, 제조비용을 절감시킬 수 있도록 하는 실리콘 나노입자 제조장치를 제공함을 목적으로 한다.이를 위해 본 발명은 주입된 가스가 ICP(INDUCTIVE COUPLED PLASMA) 코일(21)의 플라즈마 반응에 의해 실리콘 나노입자(A)로 생성되고, 상기 실리콘 나노입자(A)의 입자간 응집 방지를 위해 단극성으로 하전시켜주는 코로나 방전부(300)가 포함되는 것을 특징으로 하는 실리콘 나노입자 제조장치를 제공한다.
Int. CL B82B 1/00 (2006.01) C01B 33/021 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01) B01J 19/12 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020130036856 (2013.04.04)
출원인 한국에너지기술연구원
등록번호/일자 10-1508166-0000 (2015.03.27)
공개번호/일자 10-2014-0120691 (2014.10.14) 문서열기
공고번호/일자 (20150414) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.04.04)
심사청구항수 6

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 장보윤 대한민국 대전 유성구
2 김준수 대한민국 대전 유성구
3 이진석 대한민국 대전 유성구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한양특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 한양빌딩 (도곡동)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.04.04 수리 (Accepted) 1-1-2013-0294504-13
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.07 수리 (Accepted) 4-1-2014-5003356-15
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.01.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.02.11 수리 (Accepted) 9-1-2014-0013446-83
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.08.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0581979-11
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2014.10.23 수리 (Accepted) 1-1-2014-1015411-13
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.11.26 수리 (Accepted) 1-1-2014-1143558-28
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.11.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-1143559-74
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.10 수리 (Accepted) 4-1-2015-0013224-83
10 등록결정서
Decision to grant		 2015.03.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0191550-81
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.19 수리 (Accepted) 4-1-2017-5010650-13
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.01.08 수리 (Accepted) 4-1-2019-5004978-55
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166803-39
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166801-48
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.09.01 수리 (Accepted) 4-1-2020-5197654-62
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
입구측에 설치되어 1차가스가 주입되는 다수개의 제1가스주입통로 및 상기 제1가스주입통로에 교번되도록 설치되며, 2차가스가 주입되는 제2가스주입통로를 구비하는 가스주입부; 상기 가스주입부의 아래에서, 주입된 상기 1차가스 및 상기 2차가스를 실리콘 나노입자로 생성하는 ICP(INDUCTIVE COUPLED PLASMA) 코일이 권취된 플라즈마 반응부;상기 플라즈마 반응부의 아래에서, 상기 실리콘 나노입자의 입자간 응집 방지를 위해 상기 실리콘 나노입자를 단극성으로 하전시켜주는 코로나 방전부;상기 코로나 방전부의 아래에서, 상기 코로나 방전부를 통해 배출된 상기 실리콘 나노입자가 통과하는 내부를 향해 하향경사지도록 설치되어 비활성가스를 공급하는 냉각가스공급부를 포함하는 공랭부; 및상기 공랭부의 아래에서, 상기 실리콘 나노입자를 포집시키는 포집부;상기 플라즈마 반응부에서 반응하지 않은 상기 제1가스와 상기 제2가스 및 상기 포집부에서 포집되지 않은 실리콘 나노입자가 상기 가스주입부와 평행하게 설치된 가스배출부를 통해 배출되도록 U 형상의 곡관을 이루는 것을 특징으로 하는 실리콘 나노입자 제조장치
2 2
삭제
3 3
청구항 1에 있어서,상기 코로나 방전부는 상기 플라즈마 반응부에서 생성된 실리콘 나노입자를 하부로 배출하여 분산시키는 분산부와, 상기 분산부의 하부에 설치되어 이온을 공급하는 코로나 방전기를 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 나노입자 제조장치
4 4
삭제
5 5
청구항 1에 있어서,상기 공랭부의 아래에서, 냉각수 재킷에 의해 냉각작용을 하는 수냉부를 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 나노입자 제조장치
6 6
삭제
7 7
청구항 1에 있어서,상기 포집부는 측방향으로부터 슬라이딩에 의해 내부의 통로에 탈부착 가능하게 설치되어, 상부로부터 배출되는 실리콘 나노입자를 포집하기 위한 매쉬필터와;상기 매쉬필터의 입구에 설치되어, 상기 매쉬필터의 분리 시 상기 내부의 통로로 통과하는 유체의 흐름을 차단시키는 밸브로 구성된 것을 특징으로 하는 실리콘 나노입자 제조장치
8 8
청구항 7에 있어서,상기 포집부의 벽면에는 외부로부터 상기 매쉬필터를 육안으로 확인하여 교체시기를 판단할 수 있도록 하는 뷰포트가 더 설치된 것을 특징으로 하는 실리콘 나노입자 제조장치
9 9
청구항 7에 있어서,상기 포집부의 매쉬필터의 출구에는 상기 포집부의 내부 통로의 압력을 조절할 수 있도록 하는 진공장치가 더 설치된 것을 특징으로 하는 실리콘 나노입자 제조장치
지정국 정보가 없습니다
순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - 패밀리정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US08992849 US 미국 FAMILY
2 US20140301910 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2014301910 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US8992849 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.