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실리콘 용탕이 공급되는 도가니부;상기 도가니부의 토출부로부터 연장되며, 실리콘 기판이 형성되는 주조 공간을 갖고, 상기 실리콘 기판이 이동하는 방향으로 단면적이 증가하는 가이드부를 가지는 주조부를 포함하고,상기 가이드부는 상기 실리콘 용탕의 액체와 고체가 공존하는 영역에서 시작되는 실리콘 기판 제조 장치
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제 1항에 있어서,상기 가이드부는상기 실리콘 용탕이 실리콘 기판으로 형성되는 영역에 배치되는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조 장치
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제 1항에 있어서,상기 주조부의 일측에서 상기 주조 공간으로 삽입되는 더미바를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조 장치
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제 3항에 있어서,상기 더미바의 재질은 단결정 물질인 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조 장치
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제 3항에 있어서,상기 더미바에 체결 가능한 더미바 체결부를 더 포함하는 실리콘 기판 제조 장치
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제 5항에 있어서,상기 더미바 체결부가 상기 주조부의 길이방향으로 이동 가능하도록 구동부를 더 포함하는 실리콘 기판 제조 장치
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제 5항에 있어서,상기 주조부 일측에 배치되고, 상기 더미바 체결부 외측을 감싸며 상기 더미바의 길이 방향을 따라 늘어나거나 줄어드는 차폐부를 더 포함하는 실리콘 기판 제조 장치
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제 1항에 있어서,상기 도가니부는 제 1 도가니부와 제 2 도가니부를 포함하고,상기 제 1 도가니부는 상면부, 상기 상면부에서 하 방향으로 연장된 측면부, 상기 측면부에 수직방향으로 연장된 하면부 및 상기 하면부와 평행한 방향으로 일측에 관통된 제 1 토출부를 갖고, 상기 제 2 도가니부는 상기 제 1 도가니부의 내측에 끼움 결합되며, 상기 제 1 도가니부의 상면부의 상면에 대해 예각의 기울기를 갖고 상기 하면부에 연결된 제 2 경사부를 갖는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조 장치
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제 1항에 있어서,밀폐된 공간을 제공하는 메인 챔버를 더 포함하고,상기 도가니부는 상기 메인 챔버 내에 설치되며, 상부를 관통하는 원료 주입구를 갖는 원료 주입부 및 상기 원료 주입구와 소정 간격으로 이격되며 상측을 관통하는 가스 주입구를 갖는 가스 주입부를 포함하고,상기 메인 챔버 상측에 배치되며 실리콘 원료물질이 저장되는 원료 공급몸체부, 상기 원료 공급몸체부와 상기 원료 주입부를 연결하는 원료 공급관 및 상기 원료 공급관의 개폐를 제어하는 제 1 밸브를 포함하는 연료 공급부; 및비활성 가스를 상기 도가니부 내에 공급하는 가스 공급부를 더 포함하는 실리콘 기판 제조 장치
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실리콘 용탕이 형성되며, 하면부와 평행한 방향으로 일측에 관통된 토출부를 갖는 도가니부; 및상기 도가니부의 토출부와 평행한 방향으로 상기 토출부로부터 연장되며, 실리콘 기판이 형성되는 주조 공간 및 가이드부를 갖는 주조부를 포함하되,상기 주조부는상기 실리콘 기판이 형성되는 영역에서 상기 토출부의 단면적보다 크고,상기 가이드부는 상기 실리콘 용탕의 액체와 고체가 공존하는 영역에서 시작되는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조 장치
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제 10항에 있어서,상기 도가니부는 상면부, 상기 상면부에서 하 방향으로 연장된 측면부 및 상기 측면부 중 어느 하나의 일면에 대해 예각의 기울기를 갖는 경사부를 갖는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조 장치
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제 10항에 있어서,상기 주조부의 일측에서 상기 주조 공간으로 삽입되는 더미바를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조 장치
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제 12항에 있어서,상기 더미바에 체결 가능한 더미바 체결부를 더 포함하는 실리콘 기판 제조 장치
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제 10항에 있어서,상기 도가니부는 상기 도가니부의 상측을 관통하는 주입구를 갖고,상기 주입구에 실리콘 원료를 공급하는 원료 공급부; 및상기 주입구에 가스를 공급하는 가스 공급부를 더 포함하고, 상기 주입구에 상기 실리콘 원료와 상기 가스가 선택적으로 공급되는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조 장치
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