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정제수의 공급파이프로부터 정제수를 분사하도록 구성됨으로 인해 정제수가 낭비되는 종래의 클린룸의 습도조절장치의 문제점을 해결하기 위해, 사용되지 못하고 버려지는 정제수가 없도록 구성되는 클린룸의 습도조절장치에 있어서, 정제수가 저장되어 있는 한 쌍의 저장탱크; 및 각각의 상기 저장탱크 사이를 연결하도록 한 쌍의 상기 저장탱크 사이에 배치되는 복수의 필터부재를 포함하여 구성되고, 모세관현상 및 상기 필터부재의 흡수력에 의한 확산현상에 의해 상기 저장탱크에 저장된 상기 정제수가 상기 필터부재를 통하여 이동됨으로써, 상기 정제수가 흡수된 상기 필터부재에 의해 상기 필터부재를 통과하여 상기 클린룸 내부로 공급되는 공기의 습도 조절 및 정화 기능이 이루어지며, 상기 저장탱크에 저장된 상기 정제수가 상기 필터부재를 통하여 이동되는 것에 의해, 상기 저장탱크로부터 직접 상기 필터부재에 상기 정제수가 공급됨으로써 사용되지 못하고 버려지는 정제수의 발생이 방지되어 상기 정제수의 낭비가 방지될 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 클린룸의 습도조절장치
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제 1항에 있어서, 상기 필터부재는, 폴리비닐알콜(Polyvinyl alcohol ; PVA), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate ; PET), 폴리에틸렌(Polyethylene ; PE), 폴리우레탄PU(Polyurethane ;PU)를 포함하는 친수성 고분자 수지 재료들 중 적어도 하나를 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 클린룸의 습도조절장치
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제 2항에 있어서, 상기 필터부재는, 원형 또는 타원형의 막대 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 클린룸의 습도조절장치
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제 3항에 있어서, 상기 필터부재는, 속이 꽉 찬 중실형 막대 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 클린룸의 습도조절장치
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제 3항에 있어서, 상기 필터부재는, 내부로 상기 정제수가 유입될 수 있도록 속이 빈 중공형 막대 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 클린룸의 습도조절장치
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제 1항에 있어서, 상기 클린룸의 습도조절장치는, 상기 저장탱크의 수위를 조절함으로써 습도를 조절할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 클린룸의 습도조절장치
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제 1항에 있어서, 상기 클린룸의 습도조절장치는, 복수의 상기 필터부재가 수평이 아닌 미리 정해진 임의의 각도로 경사지게 설치되어 X자 형태로 배치됨으로써, 모세관현상 및 확산 현상에 더하여 수위차로 인한 수압에 의해서도 상기 저장탱크 내의 상기 정제수가 이동하도록 구성되어 상기 정제수의 이동이 신속하게 이루어지도록 구성되는 것을 특징으로 하는 클린룸의 습도조절장치
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제 1항에 있어서, 상기 클린룸의 습도조절장치는, 한 쌍의 상기 저장탱크가 각각 고저차를 가지도록 설치되고, 복수의 상기 필터부재가 수평이 아닌 미리 정해진 임의의 각도로 경사지게 설치됨으로써, 모세관현상 및 확산 현상에 더하여 수위차로 인한 수압에 의해서도 상기 저장탱크 내의 상기 정제수가 이동하도록 구성되어 상기 정제수의 이동이 신속하게 이루어지는 동시에, 각각의 상기 저장탱크의 최하단에 위치된 상기 정제수까지도 모두 사용 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 클린룸의 습도조절장치
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제 1항에 있어서, 상기 클린룸의 습도조절장치는, 한 쌍의 상기 저장탱크가 각각 고저차를 가지도록 설치되고, 복수의 상기 필터부재가 수평이 아닌 미리 정해진 임의의 각도로 경사지게 설치되어 X자 형태로 배치되도록 구성됨으로써, 모세관현상 및 확산 현상에 더하여 수위차로 인한 수압에 의해서도 상기 저장탱크 내의 상기 정제수가 이동하도록 구성되어 상기 정제수의 이동이 신속하게 이루어지는 동시에, 각각의 상기 저장탱크의 최하단에 위치된 상기 정제수까지도 모두 사용 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 클린룸의 습도조절장치
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정제수의 낭비를 방지하면서 클린룸 또는 외기와의 환기가 중앙집중식으로 이루어지는 건물 내에 정화된 공기를 공급하기 위한 공기공급 시스템에 있어서, 공기가 공급되는 통로를 형성하는 에어 터널; 상기 에어 터널의 일측에 설치되는 송풍용 팬; 상기 공기의 냉각을 위한 쿨링 코일이 설치되는 냉각부; 상기 공기의 가열을 위한 히팅 코일이 설치되는 가열부; 상기 공기의 습도조절을 위한 습도조절부; 및 상기 공기의 온도 및 습도를 측정하여 조절하기 위해 상기 냉각부, 상기 가열부, 상기 습도조절부 사이의 각 구간마다 각각 설치되는 노점센서를 포함하여 구성되고, 상기 습도조절부는, 청구항 1항 내지 9항 중 어느 한 항에 기재된 클린룸의 습도조절장치를 이용하여 구성되는 것을 특징으로 하는 공기공급 시스템
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