요약 | 본 발명은 난분해성 유해 가스의 농축장치를 구비한 스크러버 시스템 및 그 시스템을 이용한 소각방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 폐가스를 분해 처리시키기 위한 스크러버 시스템에 있어서, 상기 폐가스에 포함된 불활성가스를 농축하여 분리 제거하는 농축장치; 및 상기 농축장치에 의해 농축된 폐가스가 유입되어 상기 폐가스를 분해 처리시키는 반응기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스의 농축 장치를 구비한 스크러버 시스템에 관한 것이다. |
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Int. CL | B01D 53/22 (2006.01) B01D 53/75 (2006.01) B01D 47/00 (2006.01) B01D 53/02 (2006.01) B01D 53/34 (2006.01) B01D 51/00 (2006.01) |
CPC | B01D 53/005(2013.01) B01D 53/005(2013.01) B01D 53/005(2013.01) B01D 53/005(2013.01) B01D 53/005(2013.01) B01D 53/005(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020130136974 (2013.11.12) |
출원인 | 한국에너지기술연구원 |
등록번호/일자 | 10-1511571-0000 (2015.04.07) |
공개번호/일자 | |
공고번호/일자 | (20150413) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 등록 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2013.11.12) |
심사청구항수 | 16 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
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1 | 한국에너지기술연구원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 이대근 | 대한민국 | 대전 서구 |
2 | 김승곤 | 대한민국 | 대전 유성구 |
3 | 노동순 | 대한민국 | 대전 유성구 |
4 | 박종호 | 대한민국 | 대전 유성구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 특허법인 아이퍼스 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한국에너지기술연구원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2013.11.12 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-1029262-33 |
2 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.01.07 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5003356-15 |
3 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2014.06.05 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
4 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2014.07.10 | 수리 (Accepted) | 9-1-2014-0057191-55 |
5 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2015.01.21 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2015-0048930-17 |
6 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2015.02.03 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0115322-71 |
7 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2015.02.11 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2015-0145676-65 |
8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2015.02.11 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0145675-19 |
9 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.03.10 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-0013224-83 |
10 | 등록결정서 Decision to grant |
2015.04.01 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2015-0223200-12 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2017.01.19 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5010650-13 |
12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.01.08 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5004978-55 |
13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.08.21 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5166801-48 |
14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.08.21 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5166803-39 |
15 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.09.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5197654-62 |
번호 | 청구항 |
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7 폐가스를 분해 처리시키기 위한 스크러버 시스템에 있어서, 상기 폐가스를 농축하여 상기 폐가스에 포함된 불활성가스 일부를 분리 제거하는 농축장치; 및일단에 연료 유입부와, 농축된 폐가스가 유입되는 폐가스 유입부와, 산화제 유입부가 형성되고, 타단에 폐가스가 소각된 배출가스가 배출되는 배출구가 형성된 연소기 몸체와, 상기 연소기 몸체 내부에 구비되고, 세라믹 다공체로 구성되며 내부에 화염이 형성되어 농축된 폐가스가 소각되는 세라믹 다공체 연소기를 구비한 연소장치;를 포함하는 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스의 농축 장치를 구비한 스크러버 시스템 |
8 |
8 폐가스를 소각시키기 위한 스크러버 시스템에 있어서, 상기 폐가스를 농축하여 상기 폐가스에 포함된 불활성가스 일부를 분리 제거하는 농축장치; 및일단에 연료 유입부와, 상기 농축장치에 의해 농축된 폐가스가 유입되는 폐가스 유입부와, 산화제 유입부가 형성되고, 타단에 폐가스가 소각된 배출가스가 배출되는 배출구가 형성된 연소기 몸체와, 상기 연소기 몸체 내부에 구비되고, 세라믹 다공체로 구성되며 상부는 개방면이고 하부는 폐쇄면인 원통형으로 형성되고, 내부에 화염이 형성되어 농축된 상기 폐가스가 상기 개방면 측으로 유입되어 내면에서 외면 측으로 통과되면서 소각되는 세라믹 다공체 연소기를 구비한 연소장치;를 포함하는 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스의 농축 장치를 구비한 스크러버 시스템 |
9 |
9 제 7항 또는 제 8항에 있어서, 폐가스에 함유된 특정입도 이상의 불순입자를 분리 배출시키는 전처리 집진장치를 포함하고, 특정입도 이상의 불순 입자가 제거된 폐가스가 상기 농축장치로 투입되는 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스의 농축 장치를 구비한 스크러버 시스템 |
10 |
10 제 7항 또는 제 8항에 있어서, 상기 농축장치는 흡착법 및 멤브레인 분리법 중 적어도 어느 하나를 적용하는 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스의 농축 장치를 구비한 스크러버 시스템 |
11 |
11 제 9항에 있어서, 상기 전처리 집진장치는, 싸이클론, 전기집진 및 스프레이 중 적어도 어느 하나를 적용하는 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스의 농축 장치를 구비한 스크러버 시스템 |
12 |
12 제 7항 또는 제 8항에 있어서, 농축장치에 의해 농축된 폐가스가 유입되어 상기 폐가스를 분해 처리시키는 반응기를 포함하고,상기 반응기에서 배출된 가스에 함유된 수용성 산성가스와 반응 생성 입자를 처리하는 후처리 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스의 농축 장치를 구비한 스크러버 시스템 |
13 |
13 제 7항에 있어서, 상기 연소장치는, 상기 연료유입부를 통해 유입되는 연료와, 상기 폐가스 유입부를 통해 유입되는 폐가스와, 상기 산화제 유입부를 통해 유입되는 산화제가 혼합되는 예혼합기를 더 포함하고, 상기 예혼합기에 의해 혼합된 기체가 상기 세라믹 다공체 연소기로 유입되는 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스의 농축 장치를 구비한 스크러버 시스템 |
14 |
14 제 13항에 있어서, 상기 연소장치는, 상기 예혼합기와 상기 세라믹 다공체 연소기 사이에 구비되어, 상기 예혼합기에서 혼합된 기체를 균일하게 상기 세라믹 다공체 연소기로 유입시키는 분배기를 더 포함하고,상기 세라믹 다공체 연소기는, 세라믹 다공체가 상기 연소기 몸체의 중단부의 모든 내벽에 접하여 구성되어, 상기 분배기에서 유입되는 모든 혼합 기체가 상기 세라믹 다공체를 통과하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스의 농축 장치를 구비한 스크러버 시스템 |
15 |
15 제 7항에 있어서, 상기 세라믹 다공체 연소기는, 기체의 유동방향으로 다수의 층이 적층된 다단으로 구성되며, 기체의 유동방향 측으로 단계적으로 기공이 큰 세라믹 다공체가 구비되는 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스의 농축 장치를 구비한 스크러버 시스템 |
16 |
16 제 8항에 있어서, 상기 연소장치는, 상기 연료유입부를 통해 유입되는 연료와, 상기 폐가스 유입부를 통해 유입되는 폐가스와, 상기 산화제 유입부를 통해 유입되는 산화제가 혼합되는 예혼합기; 및 상기 예혼합기와 상기 세라믹 다공체 연소기를 구획하는 격벽을 포함하고, 상기 예혼합기에 의해 혼합된 기체가 상기 세라믹 다공체 연소기의 개방면으로 유입되는 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스의 농축 장치를 구비한 스크러버 시스템 |
17 |
17 제 16항에 있어서, 상기 연소장치는, 상기 예혼합기와 상기 세라믹 다공체 연소기 사이에 구비되어, 상기 예혼합기에서 혼합된 기체를 균일하게 상기 세라믹 다공체 연소기로 유입시키는 분배기를 더 포함하고,상기 세라믹 다공체 연소기는, 기체의 유동방향으로 다수의 층이 적층된 다단으로 구성되며, 기체의 유동방향 측으로 세라믹 다공체가 구비되는 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스의 농축 장치를 구비한 스크러버 시스템 |
18 |
18 제 7항 또는 제8항에 있어서, 상기 연소기 몸체의 외벽을 단열시키기 위한 단열층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스의 농축 장치를 구비한 스크러버 시스템 |
19 |
19 제 7항 또는 제 8항에 있어서, 상기 산화제 유입부를 통해 유입되는 산화제는 산소 또는 공기인 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스의 농축 장치를 구비한 스크러버 시스템 |
20 |
20 삭제 |
21 |
21 스크러버 시스템을 이용한 폐가스 분해 처리 방법에 있어서, 농축장치에 의해 반도체 제조공정 또는 화학공정에서 배출되는 난분해성 유해가스가 불활성 가스에 희석된 폐가스가 유입되어, 상기 폐가스를 농축하여 상기 폐가스에 포함된 불활성가스 일부를 분리 제거하는 단계;연소기 몸체 일단에 형성된 연료 유입부와, 폐가스 유입부와, 산화제 유입부를 통해 연료, 농축 처리된 폐가스, 산화제가 상기 연소기 몸체 내부에 구비된 예혼합기로 유입되어 예혼합되는 단계; 예혼합된 기체가, 상기 연소기 몸체 내부에 구비되고 세라믹 다공체로 구성된 세라믹 다공체 연소기를 통과하면서, 상기 세라믹 다공체 연소기 내부에 형성된 화염에 의해 상기 폐가스가 소각되는 단계; 및연소기 몸체 일단에 형성된 배출구를 통해 소각된 배출가스가 배출되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스의 농축 장치를 구비한 스크러버 시스템을 이용한 폐가스 분해 처리방법 |
22 |
22 제21항에 있어서,전처리 집진장치에 의해 폐가스에 함유된 특정입도 이상의 불순 입자를 분리 배출시키는 단계;를 더 포함하고, 상기 집진처리된 폐가스가 상기 농축장치로 유입되는 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스의 농축 장치를 구비한 스크러버 시스템을 이용한 폐가스 분해 처리방법 |
23 |
23 제21항에 있어서,농축장치에 의해 농축된 폐가스가 유입되어 상기 폐가스를 분해 처리시키는 반응기를 포함하고,배출되는 단계 후에, 후처리 장치에 의해, 상기 반응기에서 배출된 가스에 함유된 수용성 산성가스와 반응 생성 입자를 처리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스의 농축 장치를 구비한 스크러버 시스템을 이용한 폐가스 분해 처리방법 |
지정국 정보가 없습니다 |
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패밀리정보가 없습니다 |
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순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
---|---|---|---|---|
1 | 환경부 | 한국에너지기술연구원 | 글로벌탑환경기술개발사업 (Non-Co2 온실가스 저감기술개발 사업단) | 초과엔탈피연소와 적정농축기술을 이용한 PFCs 및 NF3 고성능(고분해율 및 에너지이용효율)분해처리 기술개발 |
공개전문 정보가 없습니다 |
---|
특허 등록번호 | 10-1511571-0000 |
---|
표시번호 | 사항 |
---|---|
1 |
출원 연월일 : 20131112 출원 번호 : 1020130136974 공고 연월일 : 20150413 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20150401 청구범위의 항수 : 16 유별 : B01D 53/75 발명의 명칭 : 난분해성 유해 가스의 농축장치를 구비한 스크러버 시스템 및 그 시스템을 이용한 소각방법 존속기간(예정)만료일 : |
순위번호 | 사항 |
---|---|
1 |
(권리자) 한국에너지기술연구원 대전광역시 유성구... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 334,500 원 | 2015년 04월 08일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 274,400 원 | 2018년 04월 02일 | 납입 |
제 5 년분 | 금 액 | 196,000 원 | 2019년 03월 26일 | 납입 |
제 6 년분 | 금 액 | 196,000 원 | 2020년 03월 09일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 | 2013.11.12 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-1029262-33 |
2 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.01.07 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5003356-15 |
3 | 선행기술조사의뢰서 | 2014.06.05 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
4 | 선행기술조사보고서 | 2014.07.10 | 수리 (Accepted) | 9-1-2014-0057191-55 |
5 | 의견제출통지서 | 2015.01.21 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2015-0048930-17 |
6 | [출원서등 보정]보정서 | 2015.02.03 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0115322-71 |
7 | [명세서등 보정]보정서 | 2015.02.11 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2015-0145676-65 |
8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2015.02.11 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0145675-19 |
9 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.03.10 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-0013224-83 |
10 | 등록결정서 | 2015.04.01 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2015-0223200-12 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2017.01.19 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5010650-13 |
12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.01.08 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5004978-55 |
13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.08.21 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5166801-48 |
14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.08.21 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5166803-39 |
15 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.09.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5197654-62 |
기술정보가 없습니다 |
---|
과제고유번호 | 1415127636 |
---|---|
세부과제번호 | KIER-B22422 |
연구과제명 | 창의형 에너지 핵심 원천기술 개발 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 지식경제부 |
연구관리전문기관명 | 산업기술연구회 |
연구주관기관명 | 한국에너지기술연구원 |
성과제출연도 | 2012 |
연구기간 | 201201~201312 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | ET(환경기술) |
과제고유번호 | 1711007716 |
---|---|
세부과제번호 | KIER-B32431 |
연구과제명 | 스마트 에너지네트워크 기술개발 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 미래창조과학부 |
연구관리전문기관명 | |
연구주관기관명 | |
성과제출연도 | 2013 |
연구기간 | 201301~201312 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 개발연구 |
6T분류명 | ET(환경기술) |
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