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듀얼 소결 챔버가 구비되는 태양전지 제조장치 및 그의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015153716
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 듀얼 소결 챔버가 구비되는 태양전지 제조장치는 실리콘 기판이 장착되어 일 방향으로 이동시키는 컨베이어 벨트와, 상기 실리콘 기판의 상면에 금속 페이스트로 전면 전극 패턴을 인쇄하고 건조하는 제 1 인쇄 챔버와, 상기 전면 전극 패턴이 인쇄된 상기 실리콘 기판을 설정된 온도로 소결 처리하여 전면 전극을 형성하고, 상기 컨베이어 벨트의 하측에 배치되어 소결 처리되는 상기 실리콘 기판의 하면을 냉각시키는 제 1 냉각부가 구비되는 제 1 듀얼 소결 챔버와, 상기 실리콘 기판의 상하면을 뒤집어, 상기 실리콘 기판의 상면을 상기 컨베이어 벨트 상에 배치시키는 기판터닝 챔버와, 상기 실리콘 기판의 하면에 금속 페이스트로 후면 전극 패턴을 인쇄하고 건조하는 제 2 인쇄 챔버 및 상기 후면 전극 패턴이 인쇄된 상기 실리콘 기판을 소결 처리하여 후면 전극을 형성하고, 상기 컨베이어 벨트의 하측에 배치되어 소결 처리되는 상기 실리콘 기판의 상면을 냉각시키는 제 2 냉각부가 구비되는 제 2 듀얼 소결 챔버를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 31/052 (2014.01) H01L 21/02 (2006.01) H01L 21/677 (2006.01)
CPC H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01)
출원번호/일자 1020140039492 (2014.04.02)
출원인 한국에너지기술연구원
등록번호/일자 10-1502790-0000 (2015.03.10)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20150316) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.04.02)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김석기 대한민국 대전광역시 유성구
2 송희은 대한민국 인천광역시 중구
3 강기환 대한민국 대전광역시 유성구
4 소정훈 대한민국 대전광역시 유성구
5 김경수 대한민국 대전광역시 유성구
6 황혜미 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김정수 대한민국 서울시 송파구 올림픽로 ***(방이동) *층(이수국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.04.02 수리 (Accepted) 1-1-2014-0318141-29
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.11.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.12.11 수리 (Accepted) 9-1-2014-0097104-20
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.12.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0885280-57
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.12.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-1276495-25
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.12.30 수리 (Accepted) 1-1-2014-1276494-80
7 등록결정서
Decision to grant		 2015.03.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0159958-54
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.10 수리 (Accepted) 4-1-2015-0013224-83
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.19 수리 (Accepted) 4-1-2017-5010650-13
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.01.08 수리 (Accepted) 4-1-2019-5004978-55
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166801-48
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166803-39
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.09.01 수리 (Accepted) 4-1-2020-5197654-62
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
실리콘 기판이 장착되어 일 방향으로 이동시키는 컨베이어 벨트;상기 실리콘 기판의 상면에 금속 페이스트로 전면 전극 패턴을 인쇄하고 건조하는 제 1 인쇄 챔버;상기 전면 전극 패턴이 인쇄된 상기 실리콘 기판을 설정된 온도로 소결 처리하여 전면 전극을 형성하고, 상기 컨베이어 벨트의 하측에 배치되어 소결 처리되는 상기 실리콘 기판의 하면을 냉각시키는 제 1 냉각부가 구비되는 제 1 듀얼 소결 챔버;상기 실리콘 기판의 상하면을 뒤집어, 상기 실리콘 기판의 상면을 상기 컨베이어 벨트 상에 배치시키는 기판터닝 챔버;상기 실리콘 기판의 하면에 금속 페이스트로 후면 전극 패턴을 인쇄하고 건조하는 제 2 인쇄 챔버; 및상기 후면 전극 패턴이 인쇄된 상기 실리콘 기판을 소결 처리하여 후면 전극을 형성하고, 상기 컨베이어 벨트의 하측에 배치되어 소결 처리되는 상기 실리콘 기판의 상면을 냉각시키는 제 2 냉각부가 구비되는 제 2 듀얼 소결 챔버;를 포함하고,상기 제 1 인쇄 챔버, 제 1 듀얼 소결 챔버, 기판터닝 챔버, 제 2 인쇄 챔버 및 제 2 듀얼 소결 챔버는 상기 컨베이어 벨트의 이동 방향을 따라 순차적으로 배치되며,상기 제 1 냉각부는,냉각매체를 공급하는 제 1 냉각매체 공급부; 및상기 컨베이어 벨트의 하측과 평행하게 배치되어 상기 제 1 냉각매체 공급부로부터 공급되는 냉각매체가 이송되도록 내부에 유로가 형성된 제 1 냉각관;을 포함하고,상기 제 1 냉각관은 지그재그 형태로 배치되는 것을 특징으로 하는 듀얼 소결 챔버가 구비되는 태양전지 제조장치
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삭제
3 3
제 1 항에 있어서,상기 제 2 냉각부는,냉각매체를 공급하는 제 2 냉각매체 공급부; 및상기 컨베이어 벨트의 하측과 평행하게 배치되어 상기 제 2 냉각매체 공급부로부터 공급되는 냉각매체가 이송되도록 내부에 유로가 형성된 제 2 냉각관;을 포함하고,상기 제 2 냉각관은 지그재그 형태로 배치되는 것을 특징으로 하는 듀얼 소결 챔버가 구비되는 태양전지 제조장치
4 4
제 1 항에 있어서,상기 제 1 듀얼 소결 챔버 및 제 2 듀얼 소결 챔버는 900℃ ∼ 1000℃로 상기 실리콘 기판을 소결시키는 것을 특징으로 하는 듀얼 소결 챔버가 구비되는 태양전지 제조장치
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 인쇄 챔버 및 제 2 인쇄 챔버에서 인쇄되는 금속 페이스트는 Al, Ag 및 이들의 혼합물로 이루어지는 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 듀얼 소결 챔버가 구비되는 태양전지 제조장치
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국에너지기술연구원 주요사업(연구원 자체사업) 50미크론 초박형 실리콘 태양전지 사업화 미래원천기술 개발