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원통형의 내부 공간을 제공하는 외부 용기와, 상기 외부 용기의 내부 공간에 거치되는 도가니 및 상기 외부 용기와 상기 도가니 사이에 배치되어 상기 도가니를 가열하는 히터를 포함하는 본체; 상기 본체의 출구 상부에 개폐 가능하게 배치되고 소정의 간격을 두고 상기 출구를 덮는 제 1 셔터판과, 상기 제 1 셔터판의 둘레 중 일부분으로부터 상기 본체의 출구를 향해 확장되어 상기 출구 상부의 둘레 중 일부를 차폐하는 제 1 사이드 커버를 갖는, 제 1 셔터;상기 제 1 셔터의 상부에 개폐 가능하게 배치되고 소정의 간격을 두고 상기 제 1 셔터판을 덮는 제 2 셔터판과, 상기 제 2 셔터판의 둘레 중 일부분으로부터 상기 본체의 출구를 향해 확장되어 상기 출구 상부의 둘레 중 일부를 차폐하는 제 2 사이드 커버를 갖는, 제 2 셔터;를 포함하는, 진공 증발원
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청구항 1에 있어서,상기 제 1 셔터판에 형성된 제 1 열투과공 및 상기 제 2 셔터판에 형성된 제 2 열투과공을 더 포함하고, 상기 제 1 및 제 2 열투과공은 위치가 서로 엇갈리게 배치된 것을 특징으로 하는, 진공 증발원
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청구항 1에 있어서,상기 제 1 사이드 커버와 상기 제 2 사이드 커버는 상기 출구 상부의 둘레 전부를 차폐하는 것을 특징으로 하는, 진공 증발원
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청구항 1에 있어서,상기 제 1 셔터판은 상기 본체 측을 향하여 경사진 부분을 포함하는 것을 특징으로 하는, 진공 증발원
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5
청구항 1에 있어서,상기 제 1 셔터는 상기 본체에 인접하게 설치된 제 1 셔터축을 중심으로 회전하여 개폐되고, 상기 제 2 셔터는 상기 본체에 인접하게 설치된 제 2 셔터축을 중심으로 회전하여 개폐되는 것을 특징으로 하는, 진공 증발원
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6
청구항 1에 있어서,상기 본체는 상기 도가니의 측면에 탄성적으로 접촉하는 적어도 하나의 써모커플을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 진공 증발원
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7
청구항 6에 있어서,상기 본체는 상기 도가니의 깊이가 서로 다른 둘 이상의 지점에 대응되는 측면에 탄성적으로 접촉하는 둘 이상의 써모커플을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 진공 증발원
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8
원통형의 내부 공간을 제공하는 외부 용기와, 상기 외부 용기의 내부 공간에 거치되는 도가니 및 상기 외부 용기와 상기 도가니 사이에 배치되어 상기 도가니를 가열하는 히터를 포함하는 본체; 상기 본체의 출구 상부에 개폐 가능하게 배치되고 소정의 간격을 두고 상기 출구를 덮는 제 1 셔터판과, 상기 제 1 셔터판을 관통하게 형성된 제 1 열투과공, 및 상기 제 1 셔터판의 둘레 중 일부분으로부터 상기 본체의 출구를 향해 확장되어 상기 출구 상부의 둘레 중 일부를 차폐하는 제 1 사이드 커버를 갖는, 제 1 셔터;상기 제 1 셔터의 상부에 개폐 가능하게 배치되고 소정의 간격을 두고 상기 제 1 셔터판을 덮는 제 2 셔터판과, 상기 제 1 셔터판을 관통하게 형성되고 상기 제 1 열투과공과 평면적으로 엇갈리는 위치에 배치된 제 2 열투과공, 및 상기 제 2 셔터판의 둘레 중 일부분으로부터 상기 본체의 출구를 향해 확장되어 상기 출구 상부의 둘레 중 일부를 차폐하는 제 2 사이드 커버를 갖는, 제 2 셔터;를 포함하는, 진공 증발원
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9
청구항 8에 있어서,상기 제 1 사이드 커버와 상기 제 2 사이드 커버는 상기 출구 상부의 둘레 전부를 차폐하는 것을 특징으로 하는, 진공 증발원
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10
청구항 8에 있어서,상기 제 1 셔터판은 상기 본체 측을 향하여 경사진 부분을 포함하는 것을 특징으로 하는, 진공 증발원
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11
청구항 8에 있어서,상기 제 1 셔터는 상기 본체에 인접하게 설치된 제 1 셔터축을 중심으로 회전하여 개폐되고, 상기 제 2 셔터는 상기 본체에 인접하게 설치된 제 2 셔터축을 중심으로 회전하여 개폐되는 것을 특징으로 하는, 진공 증발원
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12
청구항 8에 있어서,상기 본체는 상기 도가니의 깊이가 서로 다른 둘 이상의 지점에 대응되는 측면에 탄성적으로 접촉하는 둘 이상의 써모커플을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 진공 증발원
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13
진공 챔버 내에 배치되어 기판을 고정하는 기판 장착부; 및진공 챔버 내에 배치된 것으로, 그 출구 부분이 상기 기판의 중심을 향해 경사지도록 배치된 다수의 진공 증발원;을 포함하고,상기 진공 증발원은, 원통형의 내부 공간을 제공하는 외부 용기와, 상기 외부 용기의 내부 공간에 거치되는 도가니 및 상기 외부 용기와 상기 도가니 사이에 배치되어 상기 도가니를 가열하는 히터를 포함하는 본체; 상기 본체의 출구 상부에 개폐 가능하게 배치되고 소정의 간격을 두고 상기 출구를 덮는 제 1 셔터판과, 상기 제 1 셔터판을 관통하게 형성된 제 1 열투과공, 및 상기 제 1 셔터판의 둘레 중 일부분으로부터 상기 본체의 출구를 향해 확장되어 상기 출구 상부의 둘레 중 일부를 차폐하는 제 1 사이드 커버를 갖는, 제 1 셔터; 상기 제 1 셔터의 상부에 개폐 가능하게 배치되고 소정의 간격을 두고 상기 제 1 셔터판을 덮는 제 2 셔터판과, 상기 제 1 셔터판을 관통하게 형성되고 상기 제 1 열투과공과 평면적으로 엇갈리는 위치에 배치된 제 2 열투과공, 및 상기 제 2 셔터판의 둘레 중 일부분으로부터 상기 본체의 출구를 향해 확장되어 상기 출구 상부의 둘레 중 일부를 차폐하는 제 2 사이드 커버를 갖는, 제 2 셔터;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 증착 장비
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청구항 13에 있어서,상기 제 1 셔터판 및 상기 제 2 셔터판은 상기 진공 증발원 본체의 경사와 동일한 정도로 경사지게 배치되며, 상기 제 1 셔터판은 상기 경사진 방향의 하단부가 상기 본체의 외부 용기 밖으로 연장된 것을 특징으로 하는, 증착 장비
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15
청구항 13에 있어서,상기 제 1 사이드 커버와 상기 제 2 사이드 커버는 상기 출구 상부의 둘레 전부를 차폐하는 것을 특징으로 하는, 증착 장비
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청구항 13에 있어서,상기 제 1 셔터판은 상기 경사진 방향의 하단부 측에 상기 본체 측을 향하여 상대적으로 더 경사진 부분을 포함하는 것을 특징으로 하는, 증착 장비
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청구항 13에 있어서,상기 제 1 셔터는 상기 본체에 인접하게 설치된 제 1 셔터축을 중심으로 회전하여 개폐되고, 상기 제 2 셔터는 상기 본체에 인접하게 설치된 제 2 셔터축을 중심으로 회전하여 개폐되는 것을 특징으로 하는, 증착 장비
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청구항 13에 있어서,상기 본체는 상기 도가니의 깊이가 서로 다른 둘 이상의 지점에 대응되는 측면에 탄성적으로 접촉하는 둘 이상의 써모커플을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 증착 장비
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