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나노 입자가 배출되는 유로에 설치되는 아우터 튜브;상기 아우터 튜브의 내부에 배치되며, 상기 유로를 서로 다른 방향으로 안내하는 이너 튜브; 및상기 이너 튜브의 내부에 설치되며, 상기 유로를 따라 배출되는 나노 입자를 포집하는 스크류 형상의 트랩을 갖는 트랩부를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 입자 트랩 유닛
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제 1항에 있어서,상기 아우터 튜브는,상기 배출되는 유로와 연결되는 원통 형상의 아우터 튜브 몸체와,상기 아우터 튜브 몸체의 상단으로부터 상기 아우터 튜브 몸체의 중앙부를 따라 하향 경사지어 입자 유입구를 형성하는 입자 유입 부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 나노 입자 트랩 유닛
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제 2항에 있어서,상기 아우터 튜브 몸체의 하단에는, 상기 배출 되는 유로와 연결되는 제 1연결구가 형성되고,상기 이너 튜브는,상기 아우터 튜브 몸체의 내부에 배치되고, 바닥면에 제 2연결구가 형성되는 원통 형상의 이너 튜브 몸체와,상기 제 1연결구와 상기 제 2연결구를 에워싸도록 상기 이너 튜브 몸체와 상기 아우터 튜브 몸체 사이를 지지하며, 다수의 제 1개구를 갖는 제 1지지 부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 나노 입자 트랩 유닛
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제 3항에 있어서,상기 트랩부는,상기 이너 튜브 몸체의 바닥면에서 상기 제 1연결구를 에워싸도록 일정 높이를 갖고, 다수의 제 2개구가 형성되는 제 2지지 부재와,상기 제 2지지 부재의 상단에 배치되는 유도판과,상기 유도판의 상단으로부터 세워져 설치되는 일정 길이의 고정축과,상기 고정축에 설치되는 상기 트랩을 구비하는 것을 특징으로 하는 나노 입자 트랩 유닛
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제 4항에 있어서,상기 트랩은,상기 고정축을 따라 형성되는 스크류 형상의 블레이드인 것을 특징으로 하는 나노 입자 트랩 유닛
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제 5항에 있어서,상기 블레이드에는 서로 다른 홀의 크기를 갖는 다수의 이 형성되는 것을 특징으로 하는 나노 입자 트랩 유닛
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제 4항에 있어서,상기 나노 입자 트랩 유닛은, 재순환 유닛을 더 구비하되,상기 재순환 유닛은,상기 이너 튜브의 내부에 설치되며, 상기 이너 튜브로 유동되는 기체의 유량을 측정하는 유량 측정기와,상기 제 1연결구와 연결되는 배출 유로와, 상기 아우터 튜브 상단의 배출 유로를 연결하는 바이패스 유로와,상기 배출 유로에 설치되며, 상기 배출 유로 또는 상기 바이패스 유로를 선택적으로 개폐하는 방향 제어 밸브와,상기 바이 패스 유로 상에 설치되는 펌프와,상기 측정되는 유량이 기설정되는 기준 유량 이상을 이루는 경우, 상기 방향 제어 밸브를 구동하여 상기 바이 패스 유로를 개방하고 상기 펌프를 구동하는 제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 나노 입자 트랩 유닛
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제 7항에 있어서,상기 재순환 유닛은 상기 고정축을 회전시키는 회전 모터를 더 구비하되,상기 제어부는 상기 측정되는 유량이 기설정되는 기준 유량 이상을 이루도록 상기 회전 모터를 구동시키는 것을 특징으로 하는 나노 입자 트랩 유닛
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나노 입자를 제조하는 나노 입자 제조부; 및상기 나노 입자 제조부와 연결되는 상기 제 1항 내지 제 8항 중 어느 하나의 나노 입자 트랩 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 입자 트랩 유닛을 갖는 나노 입자 포집 장치
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