1 |
1
(a) 다공성 지지체의 상부를 플라즈마를 이용하여 표면처리하는 단계; (b) 다공성 지지체의 상부에 전해도금 방법에 의하여 1차 금속코팅층을 형성하는 단계; (c) 1차 금속코팅층의 상부에 스퍼터 증착으로 팔라듐 코팅층을 형성하는 단계; 및 (d) 팔라듐 코팅층을 열처리하여 팔라듐과 1차 금속의 합금층을 형성하는 단계를 포함하는 수소기체분리용 팔라듐 합금복합막의 제조방법
|
2 |
2
제 1항에 있어서, 다공성 지지체는 금속지지체 또는 세라믹 지지체인 것을 특징으로 하는 제조방법
|
3 |
3
제 2항에 있어서, 다공성 지지체는 다공성 니켈지지체임을 특징으로 하는 제조방법
|
4 |
4
제 1항에 있어서, 다공성 지지체는 평막형 또는 튜브형인 것을 특징으로 하는 제조방법
|
5 |
5
제 1항에 있어서, 단계 b에서 전해도금방법으로 제1금속 코팅층을 형성하고 열처리하여 이물질을 제거하는 단계가 추가됨을 특징으로 하는 제조방법
|
6 |
6
제 1항에 있어서, 팔라듐 코팅층은 2㎛ 이하의 두께로 형성되어짐을 특징으로 하는 제조방법
|
7 |
7
제 1항에 있어서, 단계 d에서의 열처리는 인시투 열처리 방법에 의해 수행되어짐을 특징으로 하는 제조방법
|
8 |
8
제 1항에 있어서, 1차 금속은 은, 니켈, 구리, 루세늄, 몰리브덴에서 선택되는 적어도 1종의 금속을 포함함을 특징으로 하는 제조방법
|
9 |
8
제 1항에 있어서, 1차 금속은 은, 니켈, 구리, 루세늄, 몰리브덴에서 선택되는 적어도 1종의 금속을 포함함을 특징으로 하는 제조방법
|