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기판을 준비하는 단계;나노미터 범위의 높이와 폭을 가지는 나노구조를 형성하는 단계;상기 나노구조가 형성된 기판 위에 산화아연 박막을 형성하는 단계; 및상기 산화아연 박막을 습식식각하는 단계를 포함하여 구성되고,상기 습식식각하는 단계에서 상기 나노구조의 위에 위치하여 물리적 치밀성이 상대적으로 낮은 산화아연이 우선적으로 식각되어, 상기 나노구조의 주변으로 식각에 의한 요철구조가 형성되는 것을 특징으로 하는 산화아연 박막에 요철구조를 형성하는 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 나노구조를 형성하는 단계가 포토리소그래피에 의해서 수행되는 것을 특징으로 하는 산화아연 박막에 요철구조를 형성하는 방법
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청구항 1에 있어서,상기 나노구조를 형성하는 단계가 물리적 기상증착법 또는 화학적 기상증착법에 의해서 수행되는 것을 특징으로 하는 산화아연 박막에 요철구조를 형성하는 방법
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청구항 1에 있어서,상기 산화아연 박막을 형성하는 단계가 물리적증착법 또는 화학적증착법으로 수행되는 것을 특징으로 하는 산화아연 박막에 요철구조를 형성하는 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 습식식각하는 단계 이후에, 상기 산화아연 박막이 식각되어 외부로 노출된 나노구조를 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 산화아연 박막에 요철구조를 형성하는 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 나노구조를 형성하는 단계에 앞서서,상기 기판에 전도층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 산화아연 박막에 요철구조를 형성하는 방법
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7
청구항 1에 있어서, 상기 나노구조를 형성하는 단계에 앞서서,상기 기판에 접착층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 산화아연 박막에 요철구조를 형성하는 방법
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청구항 1 내지 청구항 7 중에 하나의 방법으로 기판 위에 산화아연 요철구조를 형성하는 단계;상기 산화아연 요철구조 위에 다층의 박막반도체층을 형성하는 단계; 및상기 다층의 박막반도체층 위에 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 태양전지의 제조방법
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청구항 1 내지 청구항 7 중에 하나의 방법으로 기판 위에 산화아연 요철구조를 형성하여 반도체 전극을 형성하는 단계;상기 산화아연 요철구조에 흡착되고 태양광을 조사받아 여기된 전자를 반도체 전극에 전달하는 염료층을 형성하는 단계; 및상기 반도체 전극에 대향하는 대향전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 염료감응 태양전지의 제조방법
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청구항 1 내지 청구항 7 중에 하나의 방법으로 기판 위에 산화아연 요철구조를 형성하는 단계;상기 산화아연 요철구조의 위에 유기 광활성층을 형성하는 단계; 및상기 유기 광활성층의 위에 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 태양전지의 제조방법
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