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기판의 스윙 코팅장치 및 이를 이용한 스윙 코팅방법

  • 기술번호 : KST2015154080
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기판에 분사된 용액에 회전 원심력과 중력을 부여하여 코팅시키도록 함과 아울러, 용액의 밀도에 따라 회전체의 회전속도를 가변 조절하여 용액을 기판의 표면에 골고루 코팅시키기 위한 기판의 코팅방법 및 장치에 관한 것이다.본 발명의 코팅장치는, 회전축을 중심으로 회전 운동되는 회전체와, 상기 회전체의 상면에 배치되고 상부가 회전체의 바닥으로부터 이격되게 배치되는 고정대와, 고정대의 상부에 스윙 운동 가능하도록 연결되고 상측에 기판이 안착되는 지지대로 구성된다.
Int. CL H01L 51/48 (2006.01)
CPC H01L 51/0003(2013.01) H01L 51/0003(2013.01) H01L 51/0003(2013.01) H01L 51/0003(2013.01) H01L 51/0003(2013.01) H01L 51/0003(2013.01)
출원번호/일자 1020120092118 (2012.08.23)
출원인 한국에너지기술연구원
등록번호/일자 10-1390241-0000 (2014.04.23)
공개번호/일자 10-2014-0026713 (2014.03.06) 문서열기
공고번호/일자 (20140430) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.08.23)
심사청구항수 15

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김성범 대한민국 서울 송파구
2 이정철 대한민국 울산 울주군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 다해 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로***, *층(삼성동,고운빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.08.23 수리 (Accepted) 1-1-2012-0676730-39
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.07.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.08.07 수리 (Accepted) 9-1-2013-0062425-27
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.12.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0838410-71
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.12.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-1187312-90
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.07 수리 (Accepted) 4-1-2014-5003356-15
7 등록결정서
Decision to grant
2014.04.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0272794-02
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.10 수리 (Accepted) 4-1-2015-0013224-83
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.19 수리 (Accepted) 4-1-2017-5010650-13
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.01.08 수리 (Accepted) 4-1-2019-5004978-55
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166803-39
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166801-48
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.09.01 수리 (Accepted) 4-1-2020-5197654-62
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
회전하는 원판 형상의 회전체(10);상기 회전체(10)의 상면에 설치되는 고정대(40); 및상기 고정대(40)에 스윙동작 가능하도록 연결되고, 상면에 용액(S)이 분사된 기판(B)이 안착되는 지지대(50);를 포함하고,상기 회전체(10)의 회전시 상기 지지대(50)가 상기 고정대(40)를 중심으로 스윙 동작하여 상기 기판(B)에 분사된 용액(S)에 원심력과 중력이 가해지도록 하는 것을 특징으로 하는 기판의 스윙 코팅장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 고정대(40)는,상기 회전체(10)의 상부에서 서로 이격되게 기립하는 두 개의 수직부재(42,44)와, 상기 수직부재의 상단부를 연결하는 가로부재(45)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판의 스윙 코팅장치
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 지지대(50)는,상기 가로부재(45)에 상단부가 스윙 동작 가능하도록 일단이 연결되는 연결부재(52)와, 연결부재(52)의 타단에 고정부착되어 상면에 기판(B)이 안착되는 지지부재(54)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판의 스윙 코팅장치
4 4
제 3 항에 있어서, 상기 지지부재(54)의 상면에는 상기 기판이 수용되는 수용홈(55)이 형성되는 것을 특징으로 하는 기판의 스윙 코팅장치
5 5
제 4 항에 있어서,상기 수용홈(55)의 내부 측면에는 상기 기판(B)의 모서리 부위와 여유공간을 형성하도록 상기 기판(B)의 테두리 일부와 접촉되는 복수의 돌기(55a)가 형성되는 것을 특징으로 하는 기판의 스윙 코팅장치
6 6
제 4 항에 있어서, 상기 수용홈의 일측면에서 내부로 인출가능하도록 구비되는 용액받이(56)가 구비되는 것을 특징으로 하는 기판의 스윙 코팅장치
7 7
제 6 항에 있어서, 상기 수용홈의 바닥에는, 상기 용액받이로 용액(S)의 수집이 가능하도록 통공(55b)이 형성된 것을 특징으로 하는 기판의 스윙 코팅장치
8 8
모터(30)에 의해 회전하는 회전축(20);상기 회전축 상에 연결되고, 상기 회전축과 함께 회전하는 회전체(10);상기 회전체(10)의 상면에 설치되는 복수 개의 고정대(40);상기 복수 개의 고정대(40)에 스윙동작 가능하도록 연결되고, 상면에 기판(B)이 안착되는 지지대(50);를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지 기판의 스윙 코팅장치
9 9
제 8 항에 있어서, 상기 고정대(40)는,상기 회전체(10)의 상부에서 서로 이격되게 기립하는 한쌍의 수직부재(42,44)와, 상기 수직부재의 상단부를 연결하는 가로부재(45)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 태양전지 기판의 스윙 코팅장치
10 10
제 9 항에 있어서, 상기 지지대(50)는,상기 가로부재(45)에 상단부가 스윙 동작 가능하도록 일단이 연결되는 연결부재(52)와, 연결부재(52)의 타단에 고정부착되어 상면에 기판(B)이 안착되는 지지부재(54)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 태양전지 기판의 스윙 코팅장치
11 11
제 10 항에 있어서, 상기 지지부재(54)의 상면에는 상기 기판이 수용되는 수용홈(55)이 형성되는 것을 특징으로 하는 태양전지 기판의 스윙 코팅장치
12 12
제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 기재된 스윙 코팅장치를 이용한 기판의 스윙 코팅방법으로서,상기 지지대의 상측에 기판(B)을 배치하는 제1단계와,상기 기판(B)의 중앙 표면에 용액(S)을 분사하는 제2단계와,상기 회전체(10)를 회전시키는 제3단계를 포함하여,원심력과 중력을 이용하여 상기 기판(B)의 표면에 용액을 코팅시키는 것을 특징으로 하는 기판의 스윙 코팅방법
13 13
제 12 항에 있어서,상기 회전체(10)를 회전시키는 제3단계는, 상기 용액(S)의 밀도 및 점성에 따라 상기 회전체(10)의 회전 속도를 가변시키는 단계를 더 구비한 것을 특징으로 하는 기판의 스윙 코팅방법
14 14
제 12 항에 기재된 스윙 코팅방법에 의해서 제조된 것을 특징으로 하는 태양전지 기판
15 15
제 12 항에 기재된 스윙 코팅방법에 의해서 제조된 기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 태양전지
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순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국에너지기술연구원 신재생에너지기술개발사업 고효율 고안정성 실리콘계 나노입자 박막 태양전지 원천기술 개발