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상면부 및 상기 상면부에서 하 방향으로 연장된 측면부 갖고, 재질이 흑연인 제 1 도가니부; 상기 제 1 도가니부의 내측에 설치되며, 상기 제 1 도가니부의 상면부의 상면에 대해 예각의 기울기를 갖고, 재질이 쿼츠인 제 2 경사부를 갖는 제 2 도가니부; 및상기 제 2 경사부를 마주하는 측면부에 수직 방향으로 연장된 제 1 주조부 및 상기 제 2 경사부와 접하는 상기 제 1 도가니부의 측면부와 결합되며 상기 제 1 주조부와 평행하게 연장된 제 2 주조부를 포함하는 주조부를 포함하고,상기 제 2 경사부의 끝단은 상기 제 2 경사부를 마주하는 측면부의 수직방향으로 연장된 연장선에 접하는 실리콘 기판 제조 장치
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제 1항에 있어서,상기 제 1 도가니부는 실리콘카바이드(SiC) 또는 질화실리콘(Si3N4)으로 코팅되는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조 장치
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제 1항에 있어서,제 2 도가니부의 제 2 경사부는 마주하는 상기 제 1 도가니부의 측면부보다 하 방향으로 길이가 긴 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조 장치
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제 1항에 있어서,상기 주조부는 상기 제 1 주조부와 상기 제 2 주조부 사이에 실리콘 기판이 형성되는 주조 공간을 갖는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조 장치
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7
제 6항에 있어서,상기 도가니부 및 상기 주조부가 내부에 수용되는 메인 챔버;상기 메인 챔버의 외측에서 상기 주조 공간으로 삽입되는 더미바; 상기 더미바에 체결 가능한 더미바 체결부; 및상기 메인 챔버 일측에 배치되고, 상기 더미바 체결부 외측을 감싸며 상기 더미바의 길이 방향을 따라 늘어나거나 줄어드는 차폐부 를 더 포함하는 실리콘 기판 제조 장치
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제 7항에 있어서,상기 차폐부의 재질은 스테인레스강 또는 알루미늄합금인 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조 장치
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제 7항에 있어서,상기 더미바 체결부가 상기 주조부의 길이방향으로 이동 가능하도록 구동력을 부여하는 구동부를 더 포함하는 실리콘 기판 제조 장치
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제 1항에 있어서,밀폐된 공간을 제공하는 메인 챔버를 더 포함하고,상기 도가니부는 상기 메인 챔버 내에 설치되며, 상측을 관통하는 원료 주입구를 갖는 원료 주입부 및 상기 원료 주입구와 소정 간격으로 이격되며 상측을 관통하는 가스 주입구를 갖는 가스 주입부를 포함하고, 상기 메인 챔버 상측에 배치되며 실리콘 원료물질이 저장되는 원료 공급몸체부, 상기 원료 공급몸체부와 상기 원료 주입부를 연결하는 원료 공급관 및 상기 원료 공급관의 개폐를 제어하는 제 1 밸브를 포함하는 원료 공급부; 및비활성 가스를 상기 도가니부 내에 공급하는 가스 공급부를 더 포함하는 실리콘 기판 제조 장치
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제 10항에 있어서,상기 가스 공급부에서 비활성 가스를 공급하여 상기 메인 챔버와 상기 도가니부를 동시에 가압하는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조 장치
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제 10항에 있어서,상기 가스 공급부는상기 비활성 가스를 발생시키거나 비활성 가스를 저장하는 공간을 제공하는 가스 발생부;상기 가스 발생부 및 상기 가스 주입부와 연결하는 가스 공급관; 및상기 가스 발생부와 상기 가스 공급관 사이에 배치되는 제 2 밸브를 포함하는 실리콘 기판 제조 장치
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상면부, 상기 상면부에서 하 방향으로 연장된 측면부 및 상기 측면부 중 어느 하나의 일면에 대해 예각의 기울기를 갖는 제 1 경사부 갖고, 재질이 흑연인 제 1 도가니부; 상기 제 1 도가니부와 대응되는 형상을 갖고, 상기 제 1 도가니부의 내측에 끼움 결합되며, 상기 제 1 경사부에 대응되는 상기 제 2 경사부를 갖고, 재질이 쿼츠인 제 2 도가니부; 및상기 제 2 경사부를 마주하는 측면부에 수직 방향으로 연장된 제 1 주조부 및 상기 제 1 도가니부의 측면부와 결합되며 상기 제 1 주조부와 평행하게 연장된 제 2 주조부를 포함하는 주조부를 포함하고, 상기 제 2 경사부의 끝단은 상기 제 2 경사부를 마주하는 측면부의 수직방향으로 연장된 연장선에 접하는 실리콘 기판 제조 장치
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제 13항에 있어서,상기 주조부는 상기 제 1 주조부와 상기 제 2 주조부 사이에 실리콘 기판이 형성되는 주조 공간을 갖는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조 장치
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제 13항에 있어서,상기 주조부의 외측에서 상기 주조 공간으로 삽입되는 더미바; 상기 더미바에 체결 가능한 더미바 체결부; 및상기 주조 공간에서 액상의 실리콘 용탕이 외부의 대기가 접촉하는 것을 방지하도록 상기 더미바 및 상기 더미바 체결부의 외측을 밀폐시키는 차폐부를 더 포함하는 실리콘 기판 제조 장치
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제 13항에 있어서,상기 주조부에 일측에서 상기 주조 공간으로 삽입되는 더미바를 더 포함하고,상기 더미바의 재질은 단결정 물질인 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조 장치
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제 13항에 있어서,밀폐된 공간을 제공하는 메인 챔버를 더 포함하고,상기 도가니부는 상기 도가니부의 상측을 관통하는 주입구를 갖는 주입부 포함하고,상기 주입부에 실리콘 원료를 공급하는 원료 공급부; 및상기 주입부에 가스를 공급하는 가스 공급부를 더 포함하고,상기 원료 공급부 또는 상기 가스 공급부는 상기 도가니부의 주입부와 연결되는 하나의 공급관을 동시에 포함하는 실리콘 기판 제조 장치
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실리콘 원료가 장입되는 원료 주입부 및 하면부와 평행한 방향으로 일측에 관통된 토출부를 갖는 제 1 도가니부; 상기 제 1 도가니부와 대응되는 형상을 갖고, 상기 제 1 도가니부의 내측에 끼움 결합되는 제 2 도가니부; 및상기 제 1 도가니부의 하면부와 평행한 방향으로 상기 제 1 도가니부의 토출부로부터 연장되며, 실리콘 기판이 형성되는 주조 공간을 갖는 주조부를 포함하고,상기 제 2 도가니부 내부의 단면적은 하 방향으로 작아지고,상기 주조부의 일측에서 상기 주조 공간으로 삽입되는 더미바를 더 포함하고,상기 더미바의 재질은 단결정 물질인 실리콘 기판 제조 장치
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제 18항에 있어서,상기 도가니부는 상측을 관통하는 주입구를 갖는 주입부를 갖고,상기 주입부에 실리콘 원료를 공급하는 원료 공급부; 및 상기 주입부에 가스를 공급하는 가스 공급부를 더 포함하고,상기 주입부에 상기 실리콘 원료와 상기 가스가 선택적으로 공급되는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조 장치
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