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실리콘 기판 제조 장치
- 기술번호 : KST2015154129
- 담당센터 : 대전기술혁신센터
- 전화번호 : 042-610-2279
| 요약 | 실리콘 기판 제조 장치가 개시된다.본 발명의 일 실시예에 따른 실리콘 기판 제조 장치는 밀폐된 공간을 제공하는 메인 챔버, 상기 메인 챔버 내에 설치되며, 상측을 관통하는 원료 주입구를 갖는 원료 주입부 및 상기 원료 주입구와 소정 간격으로 이격되며 상측을 관통하는 가스 주입구를 갖는 가스 주입부를 포함하는 도가니부, 상기 메인 챔버 상측에 배치되며 실리콘 원료물질이 저장되는 원료 공급몸체부, 상기 원료 공급몸체부와 상기 원료 주입부를 연결하는 원료 공급관 및 상기 원료 공급관의 개폐를 제어하는 제 1 밸브를 포함하는 원료 공급부원료 공급부 및 상기 비활성 가스를 상기 도가니부 내에 공급하는 가스 공급부를 포함한다. |
|---|---|
| Int. CL | H01L 31/18 (2014.01) C01B 33/021 (2014.01) H01L 31/04 (2014.01) |
| CPC | H01L 31/1804(2013.01) H01L 31/1804(2013.01) H01L 31/1804(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020120035466 (2012.04.05) |
| 출원인 | 한국에너지기술연구원 |
| 등록번호/일자 | 10-1213742-0000 (2012.12.12) |
| 공개번호/일자 | |
| 공고번호/일자 | (20121218) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2012.04.05) |
| 심사청구항수 | 19 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국에너지기술연구원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 이진석 | 대한민국 | 대전 유성구 |
| 2 | 장보윤 | 대한민국 | 대전 유성구 |
| 3 | 김준수 | 대한민국 | 대전 유성구 |
| 4 | 안영수 | 대한민국 | 대전 유성구 |
| 5 | 위성민 | 대한민국 | 대전 중구 |
| 6 | 이예능 | 대한민국 | 대전 유성구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 임상엽 | 대한민국 | 서울특별시 성동구 광나루로 ***, *층 ***호 (성수동*가, 서울숲IT캐슬)(지반특허법률사무소) |
| 2 | 고영갑 | 대한민국 | 경기도 성남시 분당구 정자일로 ***, 파크뷰 타워 ***호 (정자동)(가람특허법률사무소) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국에너지기술연구원 | 대전광역시 유성구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2012.04.05 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0273131-15 |
| 2 | [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서 [Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination) |
2012.04.23 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0322018-92 |
| 3 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2012.05.07 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0361825-79 |
| 4 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2012.05.22 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 5 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2012.06.05 | 수리 (Accepted) | 9-1-2012-0045313-34 |
| 6 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2012.06.19 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0353291-02 |
| 7 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2012.08.16 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0655599-17 |
| 8 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2012.08.16 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2012-0655609-86 |
| 9 | 최후의견제출통지서 Notification of reason for final refusal |
2012.10.10 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0603841-56 |
| 10 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2012.10.22 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2012-0856456-01 |
| 11 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2012.10.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0856445-09 |
| 12 | 등록결정서 Decision to grant |
2012.12.11 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0754418-53 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.01.07 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5003356-15 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.03.10 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-0013224-83 |
| 15 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2017.01.19 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5010650-13 |
| 16 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.01.08 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5004978-55 |
| 17 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.08.21 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5166801-48 |
| 18 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.08.21 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5166803-39 |
| 19 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.09.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5197654-62 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 밀폐된 공간을 제공하는 메인 챔버;상기 메인 챔버 내에 설치되며, 상부를 관통하는 원료 주입구를 갖는 원료 주입부 및 상기 원료 주입구와 소정 간격으로 이격되며 상측을 관통하는 가스 주입구를 갖는 가스 주입부를 포함하는 도가니부;상기 메인 챔버 상측에 배치되며 실리콘 원료물질이 저장되는 원료 공급몸체부, 상기 원료 공급몸체부와 상기 원료 주입부를 연결하는 원료 공급관 및 상기 원료 공급관의 개폐를 제어하는 제 1 밸브를 포함하는 원료 공급부; 및비활성 가스를 상기 도가니부 내에 공급하는 가스 공급부를 포함하는 실리콘 기판 제조 장치 |
| 2 |
2 제 1항에 있어서,상기 가스 공급부에서 비활성 가스를 공급하여 상기 메인 챔버와 상기 도가니부를 동시에 가압하는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조 장치 |
| 3 |
3 제 1항에 있어서,상기 가스 공급부는상기 비활성 가스를 발생시키거나 비활성 가스를 저장하는 공간을 제공하는 가스 발생부;상기 가스 발생부 및 상기 가스 주입부와 연결하는 가스 공급관; 및상기 가스 발생부와 상기 가스 공급관 사이에 배치되는 제 2 밸브를 포함하는 실리콘 기판 제조 장치 |
| 4 |
4 제 1항에 있어서,상기 도가니부는 상면부, 상기 상면부에서 하 방향으로 연장된 측면부, 상기 측면부에 수직 방향으로 연장된 하면부, 상기 측면부 중 어느 하나의 일면에 대해 예각의 기울기를 갖는 경사부 및 상기 하면부와 평행한 방향으로 일측에 관통된 토출부를 갖는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조 장치 |
| 5 |
5 제 1항에 있어서,상기 도가니부는 하면부와 평행한 방향으로 일측에 관통된 토출부를 갖고, 상기 도가니부의 토출부와 평행한 방향으로 상기 토출부로부터 연장되며, 실리콘 기판이 형성되는 주조 공간을 갖는 주조부; 상기 주조부의 외측에서 상기 주조 공간으로 삽입되는 더미바; 상기 더미바에 체결 가능한 더미바 체결부; 및상기 주조 공간에서 액상의 실리콘 용탕이 외부의 대기가 접촉하는 것을 방지하도록 상기 더미바 및 상기 더미바 체결부의 외측을 밀폐시키는 차폐부를 더 포함하는 실리콘 기판 제조 장치 |
| 6 |
6 제 1항에 있어서,상기 도가니부는 하면부와 평행한 방향으로 일측에 관통된 토출부를 갖고,상기 도가니부의 토출부와 평행한 방향으로 상기 토출부로부터 연장되며, 실리콘 기판이 형성되는 주조 공간을 갖는 주조부; 및상기 주조부의 일측에서 삽입되는 더미바를 포함하고,상기 더미바의 재질은 단결정 물질인 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조 장치 |
| 7 |
7 제 1항에 있어서,상기 도가니부는 제 1 도가니부와 제 2 도가니부를 포함하고,상기 제 1 도가니부는 상면부, 상기 상면부에서 하 방향으로 연장된 측면부, 상기 측면부에 수직방향으로 연장된 하면부 및 상기 하면부와 평행한 방향으로 일측에 관통된 제 1 토출부를 갖고, 상기 제 2 도가니부는 상기 제 1 도가니부의 내측에 끼움 결합되며, 상기 제 1 도가니부의 상면부의 상면에 대해 예각의 기울기를 갖고 상기 하면부에 연결된 제 2 경사부를 갖는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조 장치 |
| 8 |
8 밀폐된 공간을 제공하는 메인 챔버;상측을 관통하는 주입구를 갖는 주입부 포함하는 도가니부;상기 주입부에 실리콘 원료를 공급하는 원료 공급부; 및상기 주입부에 가스를 공급하는 가스 공급부를 포함하고,상기 원료 공급부 및 상기 가스 공급부는 상기 도가니부의 주입부와 연결되는 하나의 공급관을 동시에 포함하는 실리콘 기판 제조 장치 |
| 9 |
9 제 8항에 있어서,상기 메인 챔버 상부에 배치되고, 밀폐된 공간을 제공하는 보조 챔버를 더 포함하고,원료 공급부는 원료 공급몸체부 및 공급관을 포함하고,원료 공급몸체부는 상기 보조 챔버 내에 설치되고 실리콘 원료물질을 저장하는 공간을 제공하는 원료 저장부와 상기 원료 저장부와 연결되며 일정량의 실리콘 원료물질을 규칙적으로 이동시킬 수 있는 원료 이동부를 포함하는 실리콘 기판 제조 장치 |
| 10 |
10 제 8항에 있어서,상기 공급관은 제 1 공급관과 제 2 공급관을 포함하고,상기 제 1 공급관은 상기 공급관의 하부를 형성하며 흑연 재질을 갖고,상기 제 2 공급관은 상기 공급관의 상부를 형성하며 스테인레스강 재질을 갖는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조 장치 |
| 11 |
11 제 8항에 있어서,상기 공급관은 상기 원료 공급몸체부에서 연장되어 상방향으로 단면적이 넓어지는 공급관 상단부를 포함하는 실리콘 기판 제조 장치 |
| 12 |
12 제 8항에 있어서,상기 도가니부는 상면부, 상기 상면부에서 하 방향으로 연장된 측면부 및 상기 측면부 중 어느 하나의 일면에 대해 예각의 기울기를 갖는 경사부를 갖고,상기 경사부를 마주하는 측면부에 수직 방향으로 연장된 제 1 주조부 및 상기 경사부와 결합되며 상기 제 1 주조부와 평행하게 연장된 제 2 주조부를 포함하는 주조부를 더 포함하는 실리콘 기판 제조 장치 |
| 13 |
13 제 8항에 있어서,상기 도가니부는 제 1 도가니부와 제 2 도가니부를 포함하고,상기 제 1 도가니부는 상면부, 상기 상면부에서 하 방향으로 연장된 측면부, 상기 측면부에 수직 방향으로 연장된 하면부, 상기 측면부 중 어느 하나의 일면에 대해 예각의 기울기를 갖는 경사부 및 상기 하면부와 평행한 방향으로 일측에 관통된 제 1 토출부를 갖고, 상기 제 2 도가니부는 상기 제 1 도가니부와 대응되는 형상을 갖고, 상기 제 1 도가니부의 내측에 끼움 결합되고,상기 제 1 도가니부의 하면부와 평행한 방향으로 상기 제 1 도가니부의 제 1 토출부로부터 연장되며, 실리콘 기판이 형성되는 주조 공간을 갖는 주조부를 더 포함하는 실리콘 기판 제조 장치 |
| 14 |
14 밀폐된 공간을 제공하는 메인 챔버;상기 메인 챔버 내에 구비되며, 상측을 관통하는 주입구를 갖는 주입부를 포함하고, 하면부와 평행한 방향으로 일측에 관통된 토출부를 갖는 도가니부;상기 도가니부의 토출부와 평행한 방향으로 상기 토출부로부터 연장되며, 실리콘 기판이 형성되는 주조 공간을 갖는 주조부; 상기 메인 챔버의 외측에서 상기 주조 공간으로 삽입되는 더미바; 상기 더미바에 체결 가능한 더미바 체결부;상기 메인 챔버 일측에 배치되고, 상기 더미바 체결부 외측을 감싸며 상기 더미바의 길이 방향을 따라 늘어나거나 줄어드는 차폐부;상기 주입부에 실리콘 원료를 공급하는 원료 공급부; 및상기 주입부에 가스를 공급하는 가스 공급부를 포함하되,상기 주입부에 상기 실리콘 원료와 상기 가스가 선택적으로 공급되는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조 장치 |
| 15 |
15 제 14항에 있어서,상기 도가니부 내부의 단면적은 하 방향으로 작아지는 실리콘 기판 제조 장치 |
| 16 |
16 삭제 |
| 17 |
17 제 14항에 있어서,상기 차폐부는 벨로즈 형태인 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조 장치 |
| 18 |
18 제 14항에 있어서,상기 차폐부의 재질은 스테인레스강 또는 알루미늄합금인 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조 장치 |
| 19 |
19 제 14항에 있어서,상기 더미바의 재질은 단결정 물질인 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조 장치 |
| 20 |
20 제 14항에 있어서,상기 도가니부는 제 1 도가니부와 제 2 도가니부를 포함하고,상기 제 1 도가니부는 실리콘 원료가 장입되는 원료 주입부 및 상기 하면부와 평행한 방향으로 일측에 관통된 제 1 토출부를 갖고, 상기 제 2 도가니부는 상기 제 1 도가니부와 대응되는 형상을 갖고, 상기 제 1 도가니부의 내측에 끼움 결합되고,상기 제 2 도가니부 내부의 단면적은 하 방향으로 작아지는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조 장치 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 지식경제부 | 한국에너지기술연구원 | 신재생에너지기술개발사업 | 태양전지용 실리콘 기판 직접제조기술 개발 |
| 공개전문 정보가 없습니다 |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1213742-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20120405 출원 번호 : 1020120035466 공고 연월일 : 20121218 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20121211 청구범위의 항수 : 19 유별 : H01L 31/18 발명의 명칭 : 실리콘 기판 제조 장치 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 한국에너지기술연구원 대전광역시 유성구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 393,000 원 | 2012년 12월 13일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 320,600 원 | 2015년 12월 08일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 320,600 원 | 2016년 11월 07일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 320,600 원 | 2017년 12월 04일 | 납입 |
| 제 7 년분 | 금 액 | 411,000 원 | 2018년 09월 18일 | 납입 |
| 제 8 년분 | 금 액 | 411,000 원 | 2019년 09월 09일 | 납입 |
| 제 9 년분 | 금 액 | 411,000 원 | 2020년 09월 11일 | 납입 |
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2012.04.05 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0273131-15 |
| 2 | [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서 | 2012.04.23 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0322018-92 |
| 3 | [출원서등 보정]보정서 | 2012.05.07 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0361825-79 |
| 4 | 선행기술조사의뢰서 | 2012.05.22 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 5 | 선행기술조사보고서 | 2012.06.05 | 수리 (Accepted) | 9-1-2012-0045313-34 |
| 6 | 의견제출통지서 | 2012.06.19 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0353291-02 |
| 7 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2012.08.16 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0655599-17 |
| 8 | [명세서등 보정]보정서 | 2012.08.16 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2012-0655609-86 |
| 9 | 최후의견제출통지서 | 2012.10.10 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0603841-56 |
| 10 | [명세서등 보정]보정서 | 2012.10.22 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2012-0856456-01 |
| 11 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2012.10.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0856445-09 |
| 12 | 등록결정서 | 2012.12.11 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0754418-53 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.01.07 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5003356-15 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.03.10 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-0013224-83 |
| 15 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2017.01.19 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5010650-13 |
| 16 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.01.08 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5004978-55 |
| 17 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.08.21 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5166801-48 |
| 18 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.08.21 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5166803-39 |
| 19 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.09.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5197654-62 |
| 기술정보가 없습니다 |
|---|
| 과제고유번호 | 1415116666 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 20103020010060 |
| 연구과제명 | 태양전지용 실리콘 기판 직접제조기술 개발 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 지식경제부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국산업기술평가관리원 |
| 연구주관기관명 | 한국에너지기술연구원 |
| 성과제출연도 | 2011 |
| 연구기간 | 201006~201305 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | ET(환경기술) |
| 과제고유번호 | 1415113741 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 20103020010060 |
| 연구과제명 | 태양전지용 실리콘 기판 직접제조기술 개발 |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 지식경제부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국산업기술평가관리원 |
| 연구주관기관명 | 한국에너지기술연구원 |
| 성과제출연도 | 2010 |
| 연구기간 | 201006~201305 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | ET(환경기술) |
특허성과
| [1020120035469] | 실리콘 기판 제조 장치 | 새창보기 |
|---|---|---|
| [1020120035466] | 실리콘 기판 제조 장치 | 새창보기 |
| [1020120035462] | 실리콘 기판 제조 장치 | 새창보기 |
| [1020120035456] | 실리콘 기판 제조 장치 | 새창보기 |
| [1020120035455] | 실리콘 기판 제조 장치 | 새창보기 |
| [1020120035454] | 실리콘 기판 제조 장치 | 새창보기 |
| [1020110047263] | 온도 조절이 용이한 연속주조법을 이용한 태양전지용 실리콘 기판 제조 장치 및 이를 이용한 실리콘 기판 제조 방법 | 새창보기 |
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