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실리콘계나노입자 포집 및 보관용기,및 이를 이용한 실리콘계나노입자 박막 증착장치 및 방법
- 기술번호 : KST2015154191
- 담당센터 : 대전기술혁신센터
- 전화번호 : 042-610-2279
| 요약 | 실리콘계나노입자 포집 및 보관용기,및 이를 이용한 실리콘계나노입자 박막 증착장치 및 방법이 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 실리콘계나노입자 포집 및 보관용기는 상기 용기의 일 측에 연결되어, 캐리어 가스에 의하여 나노입자가 유입되는 제 1 유입라인; 상기 용기의 타 측에 연결되어, 상기 유입된 나노입자가 외부로 배출되는 제 2 유입라인; 상기 용기 내에 구비되는 필터 스크린; 및 상기 필터 스크린을 통과한 캐리어 가스를 외부로 배출시키도록 상기 용기에 연결된 배출라인을 포함하는 것을 특징으로 하며, 별도의 나노입자 이송수단을 사용하지 않고서도 나노입자를 포집시키기 위하여 제공되는 캐리어 가스를 이용하여, 기판에 나노입자를 효과적으로 증착시킬 수 있고. 더 나아가, 증착 장치와 나노입자보관용기의 분리가 가능하므로 나노입자의 지속적인 주입이 가능하고, 아울러 유지 보수가 간편하다. 또한, 기존의 장치에도 본 발명에 따른 나노입자보관용기를 연결시킴으로써 효과적인 실리콘계나노입자 박막의 증착이 가능하다. |
|---|---|
| Int. CL | H01L 31/18 (2014.01) H01L 31/04 (2014.01) |
| CPC | H01L 31/1804(2013.01) H01L 31/1804(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020110059512 (2011.06.20) |
| 출원인 | 한국에너지기술연구원 |
| 등록번호/일자 | 10-1262544-0000 (2013.05.02) |
| 공개번호/일자 | 10-2012-0139952 (2012.12.28) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20130508) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2011.06.20) |
| 심사청구항수 | 20 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국에너지기술연구원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 이정철 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 2 | 송진수 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 3 | 박주형 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 4 | 송희은 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 특허법인 다해 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 삼성로***, *층(삼성동,고운빌딩) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국에너지기술연구원 | 대전광역시 유성구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2011.06.20 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0464457-73 |
| 2 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2012.01.04 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5001923-88 |
| 3 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2012.03.13 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 4 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2012.04.19 | 수리 (Accepted) | 9-1-2012-0029940-76 |
| 5 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2012.08.03 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0453754-52 |
| 6 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Appointment of Agent] Report on Agent (Representative) |
2012.08.07 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0628497-25 |
| 7 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2012.08.07 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2012-0628700-11 |
| 8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2012.08.07 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0628699-41 |
| 9 | 등록결정서 Decision to grant |
2013.02.14 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0101380-14 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.01.07 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5003356-15 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.03.10 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-0013224-83 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2017.01.19 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5010650-13 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.01.08 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5004978-55 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.08.21 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5166801-48 |
| 15 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.08.21 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5166803-39 |
| 16 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.09.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5197654-62 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 실리콘계나노입자 포집 및 보관용기로서, 상기 용기는상기 용기의 일 측에 연결되어, 캐리어 가스에 의하여 나노입자가 유입되는 제 1 유입라인;상기 용기의 타 측에 연결되어, 상기 유입된 나노입자가 외부로 배출되는 제 2 유입라인;상기 용기 내에 구비되는 필터 스크린; 및 상기 필터 스크린을 통과한 캐리어 가스를 외부로 배출시키도록 상기 용기에 연결된 배출라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘계나노입자 포집 및 보관용기 |
| 2 |
2 제 1항에 있어서, 상기 필터 스크린은 상기 용기의 내측 단면에 구비되어, 상기 용기 내부를 수직의 제 1 공간 및 제 2 공간으로 분획하는 것을 특징으로 하는 실리콘계나노입자 포집 및 보관용기 |
| 3 |
3 제 2항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 유입라인은 하부의 제 1 공간에 연결되고, 상기 배출라인은 상기 또 다른 제 2 공간에 연결되는 것을 특징으로 하는 실리콘계나노입자 포집 및 보관용기 |
| 4 |
4 제 3항에 있어서, 상기 용기 내의 제 1 공간으로 유입된 나노입자는 상기 필터 스크린에 의하여 상기 제 2 공간으로 이동되지 못하며, 상기 나노입자를 유입시킨 캐리어 가스는 상기 필터 스크린을 지나 제 2 공간으로 이동되는 것을 특징으로 하는 실리콘계나노입자 포집 및 보관용기 |
| 5 |
5 제 4항에 있어서, 상기 제 1 유입라인, 제 2 유입라인 및 배출라인에는 각각 밸브가 구비되는 것을 특징으로 하는 실리콘계나노입자 포집 및 보관용기 |
| 6 |
6 제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 따른 실리콘계나노입자 포집 및 보관용기를 이용한 박막 증착장치로서, 상기 장치는제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 따른 실리콘계나노입자 포집 및 보관용기; 및 상기 실리콘계나노입자 포집 및 보관용기로부터 나노입자가 주입된 후, 내부에 적치된 기판 상에 상기 나노입자가 제 1 증착되는 증착챔버를 포함하며, 상기 나노입자 주입은 상기 실리콘계나노입자 포집 및 보관용기에 주입되는 캐리어 가스에 의하여 상기 실리콘계나노입자 포집 및 보관용기 내의 나노입자가 상기 증착챔버로 이송되는 방식으로 수행되는 것을 특징으로 하는박막 증착장치 |
| 7 |
7 제 6항에 있어서, 상기 장치는상기 실리콘계나노입자 포집 및 보관용기와 상기 증착챔버 사이에는 유량제어 컨트롤러가 구비된 제 1 유입라인을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 증착장치 |
| 8 |
8 박막 증착장치로서, 상기 장치는캐리어 가스 및 실리콘계나노입자가 포집된 제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 따른 실리콘계나노입자 포집 및 보관용기; 상기 실리콘계나노입자 포집 및 보관용기로부터 나노입자가 주입된 후, 내부에 적치된 기판상에 상기 나노입자가 제 1 증착되는 증착챔버;상기 실리콘계나노입자 포집 및 보관용기와 증착챔버 사이에 구비되어 실리콘계나노입자 및 캐리어 가스를 나노입자 용기로 유입시키기 위한 제 2 유입라인; 상기 증착챔버와 연결되어, 상기 증착챔버 내의 기판 상에 실리콘계 박막을 제 2 증착하기 위한 반응가스가 유입되는 제 3 유입라인; 및상기 증착챔버에 구비되며, 상기 제 3 유입라인을 통하여 유입되는 반응가스를 분해하기 위한 분해수단을 포함하며, 여기에서 상기 제 1 증착과 제 2 증착은 상기 기판상에서 동시에 진행되고, 상기 실리콘계나노입자 포집 및 보관용기로부터의 나노입자 주입은 상기 나노입자 용기에 주입되는 캐리어 가스에 의하여 상기 나노입자 용기 내의 나노입자가 상기 증착챔버로 이송되는 방식으로 수행되는 것을 특징으로 하는 박막 증착장치 |
| 9 |
9 제 8항에 있어서, 상기 반응가스 분해수단은 플라즈마 발생장치인 것을 특징으로 하는 박막 증착장치 |
| 10 |
10 제 9항에 있어서, 상기 증착챔버로 유입되는 나노입자는 상기 플라즈마 발생장치에 의하여 증착챔버 내부에 형성된 플라즈마 영역을 지나 상기 기판상에 증착되는 것을 특징으로 하는 박막 증착장치 |
| 11 |
11 제 10항에 있어서,상기 제 2 유입라인 및 제 3 유입라인은 상기 증착챔버 상부에 구비된 나노입자 분산장치에 연결된 것을 특징으로 하는 박막 증착장치 |
| 12 |
12 제 11항에 있어서, 상기 나노입자 분산장치는 샤워헤드인 것을 특징으로 하는 박막 증착장치 |
| 13 |
13 제 12항에 있어서, 상기 샤워헤드는 복수 개의 홀이 형성된 하나의 이상의 플레이트를 포함하는 구조인 것을 특징으로 하는 박막 증착장치 |
| 14 |
14 제 13항에 있어서, 상기 샤워헤드는 복수 개의 홀이 형성된 플레이트가 둘 이상 적층된 구조이며, 상기 플레이트 사이에는 상기 유입되는 나노입자가 수평으로 이동할 수 있는 이격 공간이 형성된 것을 특징으로 하는 박막 증착장치 |
| 15 |
15 제 14항에 있어서, 상기 플레이트는 증착챔버 방향으로 홀 사이의 간격이 좁아지는 것을 특징으로 하는 박막 증착장치 |
| 16 |
16 제 15항에 있어서, 상기 나노입자 용기는 상기 제 2 유입라인으로부터 선택적으로 분리될 수 있는 것을 특징으로 하는 박막 증착장치 |
| 17 |
17 캐리어 가스에 의하여 실리콘계나노입자가 유입된 후 포집된 제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 따른 나노입자 용기; 상기 나노입자 용기로부터 나노입자가 주입된 후, 내부에 적치된 기판상에 상기 나노입자가 제 1 증착되는 증착챔버; 상기 나노입자 용기에 구비되어 실리콘계나노입자 및 캐리어 가스를 나노입자 용기로 유입시키기 위한 제 2 유입라인; 및상기 증착챔버에 연결되어 실리콘계 박막의 제 2 증착을 위한 반응가스가 유입되는 제 3 유입라인을 포함하며, 여기에서 상기 나노입자 주입은 상기 제 1 유입라인을 통하여 상기 나노입자 용기로 주입되는 캐리어 가스에 의하여 상기 나노입자 용기 내의 나노입자가 상기 증착챔버로 이송되는 방식으로 수행되는 증착장치를 이용한 실리콘계나노입자 박막 증착방법으로, 상기 방법은제 2 유입라인으로부터 유입되는 캐리어 가스 및 실리콘계나노입자와 제 3 유입라인을 통하여 반응가스를 상기 증착챔버로 유입시키는 단계; 상기 반응가스를 상기 증착챔버 내에서 분해시키는 단계;상기 주입된 실리콘계나노입자의 제 1 증착과 상기 분해된 반응가스의 제 2 증착을 상기 기판상에서 진행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘계나노입자 박막 증착방법 |
| 18 |
18 제 17항에 있어서,상기 반응가스는 RF 플라즈마 또는 열에 의하여 분해되는 것을 특징으로 하는 실리콘계나노입자 박막 증착방법 |
| 19 |
19 제 18항에 있어서, 상기 방법은상기 제 2 유입라인을 통하여 유입된 나노입자를 확산시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘계나노입자 박막 증착방법 |
| 20 |
20 제 19항에 있어서, 상기 제 1 증착과 제 2 증착은 동시에 진행되는 것을 특징으로 하는 실리콘계나노입자 박막 증착방법 |
| 21 |
21 삭제 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 지식경제부 | 한국에너지기술연구원 | 신재생에너지기술개발사업 | 고효율 고안정성 실리콘계 나노입자 박막 태양전지 원천기술 개발 |
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1262544-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20110620 출원 번호 : 1020110059512 공고 연월일 : 20130508 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20130214 청구범위의 항수 : 20 유별 : H01L 31/18 발명의 명칭 : 실리콘계나노입자 포집 및 보관용기,및 이를 이용한 실리콘계나노입자 박막 증착장치 및 방법 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 한국에너지기술연구원 대전광역시 유성구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 412,500 원 | 2013년 05월 02일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 336,000 원 | 2016년 05월 02일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 336,000 원 | 2017년 03월 08일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 240,000 원 | 2018년 04월 16일 | 납입 |
| 제 7 년분 | 금 액 | 430,000 원 | 2019년 03월 26일 | 납입 |
| 제 8 년분 | 금 액 | 430,000 원 | 2020년 03월 09일 | 납입 |
- 본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
- 정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
- 해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2011.06.20 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0464457-73 |
| 2 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2012.01.04 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5001923-88 |
| 3 | 선행기술조사의뢰서 | 2012.03.13 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 4 | 선행기술조사보고서 | 2012.04.19 | 수리 (Accepted) | 9-1-2012-0029940-76 |
| 5 | 의견제출통지서 | 2012.08.03 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0453754-52 |
| 6 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 | 2012.08.07 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0628497-25 |
| 7 | [명세서등 보정]보정서 | 2012.08.07 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2012-0628700-11 |
| 8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2012.08.07 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0628699-41 |
| 9 | 등록결정서 | 2013.02.14 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0101380-14 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.01.07 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5003356-15 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.03.10 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-0013224-83 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2017.01.19 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5010650-13 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.01.08 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5004978-55 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.08.21 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5166801-48 |
| 15 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.08.21 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5166803-39 |
| 16 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.09.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5197654-62 |
| 기술정보가 없습니다 |
|---|
| 과제고유번호 | 1711001383 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2009-0092785 |
| 연구과제명 | 실리콘계 나노 양자점 박막을 이용한 고효율 탠덤구조형 full spectrum 태양전지 개발 |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 미래창조과학부 |
| 연구관리전문기관명 | |
| 연구주관기관명 | |
| 성과제출연도 | 2013 |
| 연구기간 | 200909~201408 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | 기타 |
| 과제고유번호 | 1345158385 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2009-0092785 |
| 연구과제명 | 실리콘계 나노 양자점 박막을 이용한 고효율 탠덤구조형 full spectrum 태양전지 개발 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 한국에너지기술연구원 |
| 성과제출연도 | 2011 |
| 연구기간 | 200909~201408 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | 기타 |
| 과제고유번호 | 1415116819 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 20103020010020 |
| 연구과제명 | 고효율 고안정성 실리콘계 나노입자 박막 태양전지 원천기술 개발 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 지식경제부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국산업기술평가관리원 |
| 연구주관기관명 | 한국에너지기술연구원 |
| 성과제출연도 | 2011 |
| 연구기간 | 201006~201305 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 개발연구 |
| 6T분류명 | ET(환경기술) |
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