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다공질의 알루미나 튜브 상에 알루미나 졸을 코팅하는 단계;코팅된 알루미나 졸을 건조 및 열처리하는 단계;열처리 후 알루미나 튜브의 한쪽은 밀봉하고, 다른 쪽은 치밀질의 알루미나 튜브를 접합하는 밀봉 및 접합단계; 상기 치밀질 및 다공질의 알루미나 튜브를 고온 진공 퍼니스에 장착하는 단계; 알루미나 튜브의 안쪽에는 산소가스를 주입하고, 바깥쪽에는 규소 원료 물질을 주입하여, 다공질의 알루미나 튜브 상에 산화규소막이 증착되는 단계를 포함하는 수소 분리막의 제조방법
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제1항에 있어서,다공질의 알루미나 튜브는 기공이 50~200㎚인 것임을 특징으로 하는 수소 분리막의 제조방법
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제1항에 있어서,알루미나 졸은 직경 30~80㎚의 알루미나를 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 분리막의 제조방법
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제1항에 있어서,밀봉 및 접합 단계에서 알루미나 튜브 상에 산화규소가 증착되도록 할 부분은 남겨두고 나머지 부분은 밀봉하는 것임을 특징으로 하는 수소 분리막의 제조방법
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제1항에 있어서,규소 원료 물질은 실리케이트 포함 용액에 질소를 버블링한 것임을 특징으로 하는 수소 분리막의 제조방법
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제1항 또는 제4항에 있어서,밀봉은 글래스 본드를 사용하는 것임을 특징으로 하는 수소 분리막의 제조방법
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제1항에 있어서,산화규소막이 증착되는 단계에서는 투과도를 측정하는 것을 특징으로 하는 수소 분리막의 제조방법
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제7항에 있어서, 투과도는 유량계를 가스 주입로에 장착하여 측정하는 것을 특징으로 하는 수소 분리막의 제조방법
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제8항에 있어서, 유량계는 전자식 가스 유량계, 터빈유량계, 용적식 유량계 및 초음파 유량계 중 선택된 것임을 특징으로 하는 수소 분리막의 제조방법
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