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실리콘 기판 제조장치

  • 기술번호 : KST2015154373
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 실시예는 실리콘 원료가 공급되는 실리콘 원료 투입부; 상기 공급된 실리콘을 용융하여 실리콘 용탕을 형성하는 실리콘 용융부; 상기 실리콘 용탕을 공급받아 저장하며, 상기 실리콘 용탕을 일정한 두께의 용융물로 토출하는 토출구를 갖는 실리콘 용탕 저장부; 및 상기 실리콘 용탕 저장부 하부에 배치되어 상기 실리콘 용융물을 이송하는 이송기판을 포함하고, 상기 토출구를 형성하는 상기 실리콘 용탕 저장부의 하측부의 일면은 상기 실리콘 용탕 저장부의 측벽 외측방향으로 소정각도로 경사진 실리콘 기판 제조장치를 제공한다.
Int. CL H01L 31/042 (2014.01) H01L 31/18 (2006.01)
CPC H01L 31/1804(2013.01) H01L 31/1804(2013.01) H01L 31/1804(2013.01)
출원번호/일자 1020120114338 (2012.10.15)
출원인 한국에너지기술연구원
등록번호/일자 10-1394158-0000 (2014.05.07)
공개번호/일자 10-2014-0048479 (2014.04.24) 문서열기
공고번호/일자 (20140515) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.10.15)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이진석 대한민국 대전 유성구
2 안영수 대한민국 대전 유성구
3 장보윤 대한민국 대전 유성구
4 김준수 대한민국 대전 유성구
5 이예능 대한민국 대전 유성구
6 위성민 대한민국 대전 중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 임상엽 대한민국 서울특별시 성동구 광나루로 ***, *층 ***호 (성수동*가, 서울숲IT캐슬)(지반특허법률사무소)
2 고영갑 대한민국 경기도 성남시 분당구 정자일로 ***, 파크뷰 타워 ***호 (정자동)(가람특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.10.15 수리 (Accepted) 1-1-2012-0836187-55
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.11.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0779351-57
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.07 수리 (Accepted) 4-1-2014-5003356-15
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.01.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0027289-29
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.01.10 수리 (Accepted) 1-1-2014-0027281-65
6 등록결정서
Decision to grant
2014.03.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0209788-61
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.10 수리 (Accepted) 4-1-2015-0013224-83
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.19 수리 (Accepted) 4-1-2017-5010650-13
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.01.08 수리 (Accepted) 4-1-2019-5004978-55
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166801-48
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166803-39
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.09.01 수리 (Accepted) 4-1-2020-5197654-62
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
실리콘 원료가 공급되는 실리콘 원료 투입부;상기 실리콘 용융부로부터 상기 공급된 실리콘을 용융하여 실리콘 용탕을 형성하는 실리콘 용융부;상기 실리콘 용탕을 공급받아 저장하며, 상기 실리콘 용탕을 일정한 양의 용융물로 토출하는 토출구를 갖는 실리콘 용탕 저장부; 및상기 실리콘 용탕 저장부 하부에 배치되어 상기 실리콘 용융물을 이송하는 이송기판을 포함하고,상기 토출구를 형성하는 상기 실리콘 용탕 저장부의 하측부의 일면은 상기 실리콘 용탕 저장부의 측벽 외측방향으로 소정각도로 경사진 실리콘 기판 제조장치
2 2
제 1항에 있어서,상기 실리콘 용탕 저장부는 상기 하측부에서 상기 토출구 외측으로 연장된 토출 연장부를 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조장치
3 3
제 1항에 있어서,상기 실리콘 용탕 저장부의 하측부의 일면은 플랫하거나 만곡되는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조장치
4 4
제 2항에 있어서,상기 토출 연장부는 외부로부터 가열되어 상기 실리콘 용융물이 고화된 기판의 표면 열처리하는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조장치
5 5
제 1항에 있어서,상기 실리콘 용탕 저장부의 외벽을 둘러싸 상기 실리콘 용탕 저장부를 가열하는 실리콘 용탕 가열부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조장치
6 6
제 5항에 있어서,상기 실리콘 용탕 가열부는 가열 온도조절을 통해 상기 실리콘 용탕의 응고속도를 제어하는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조장치
7 7
실리콘 용탕을 형성하는 실리콘 용융부;상기 실리콘 용탕을 공급받아 저장하며, 상기 실리콘 용탕을 일정한 두께의 용융물로 토출하는 토출구를 갖는 실리콘 용탕 저장부; 및상기 실리콘 용탕 저장부 하부에 배치되어 상기 실리콘 용융물을 이송하는 이송기판을 포함하고,상기 실리콘 용탕 저장부 중 상기 토출구를 형성하는 상기 실리콘 용탕 저장부의 일측부의 두께가 타측부의 두께보다 두껍고, 상기 실리콘 용탕 저장부의 일측부의 일면은 상기 실리콘 용탕 저장부의 측벽 외측방향으로 소정각도로 경사진 실리콘 기판 제조장치
8 8
제 7항에 있어서,상기 실리콘 용탕 저장부는 가열처리되는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조장치
9 9
제 8항에 있어서,상기 실리콘 용탕 저장부는 유도가열 혹은 저항 가열되는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국에너지기술연구원 주요사업 저가형 리본태양전지 기술개발