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실리콘 원료가 공급되는 실리콘 원료 투입부;상기 실리콘 용융부로부터 상기 공급된 실리콘을 용융하여 실리콘 용탕을 형성하는 실리콘 용융부;상기 실리콘 용탕을 공급받아 저장하며, 상기 실리콘 용탕을 일정한 양의 용융물로 토출하는 토출구를 갖는 실리콘 용탕 저장부; 및상기 실리콘 용탕 저장부 하부에 배치되어 상기 실리콘 용융물을 이송하는 이송기판을 포함하고,상기 토출구를 형성하는 상기 실리콘 용탕 저장부의 하측부의 일면은 상기 실리콘 용탕 저장부의 측벽 외측방향으로 소정각도로 경사진 실리콘 기판 제조장치
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제 1항에 있어서,상기 실리콘 용탕 저장부는 상기 하측부에서 상기 토출구 외측으로 연장된 토출 연장부를 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조장치
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제 1항에 있어서,상기 실리콘 용탕 저장부의 하측부의 일면은 플랫하거나 만곡되는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조장치
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제 2항에 있어서,상기 토출 연장부는 외부로부터 가열되어 상기 실리콘 용융물이 고화된 기판의 표면 열처리하는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조장치
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제 1항에 있어서,상기 실리콘 용탕 저장부의 외벽을 둘러싸 상기 실리콘 용탕 저장부를 가열하는 실리콘 용탕 가열부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조장치
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제 5항에 있어서,상기 실리콘 용탕 가열부는 가열 온도조절을 통해 상기 실리콘 용탕의 응고속도를 제어하는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조장치
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실리콘 용탕을 형성하는 실리콘 용융부;상기 실리콘 용탕을 공급받아 저장하며, 상기 실리콘 용탕을 일정한 두께의 용융물로 토출하는 토출구를 갖는 실리콘 용탕 저장부; 및상기 실리콘 용탕 저장부 하부에 배치되어 상기 실리콘 용융물을 이송하는 이송기판을 포함하고,상기 실리콘 용탕 저장부 중 상기 토출구를 형성하는 상기 실리콘 용탕 저장부의 일측부의 두께가 타측부의 두께보다 두껍고, 상기 실리콘 용탕 저장부의 일측부의 일면은 상기 실리콘 용탕 저장부의 측벽 외측방향으로 소정각도로 경사진 실리콘 기판 제조장치
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제 7항에 있어서,상기 실리콘 용탕 저장부는 가열처리되는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조장치
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제 8항에 있어서,상기 실리콘 용탕 저장부는 유도가열 혹은 저항 가열되는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 제조장치
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