요약 | 본 발명은 기판에 텍스처가 형성된 2중 텍스처 구조의 칼코게나이드계 태양전지의 제조방법에 관한 것으로서, 기판을 준비하는 단계; 상기 기판의 표면에 기판텍스처를 형성하는 단계; 상기 기판에 후면전극을 형성하는 단계; 상기 후면 전극 위에 칼코게나이드계 반도체 재질의 광흡수층을 형성하는 단계; 상기 광흡수층 위에 버퍼층을 형성하는 단계; 상기 버퍼층 위에 투명전극을 형성하는 단계; 및 상기 투명전극의 표면에 전면텍스처를 형성하는 단계를 포함하며, 상기 기판텍스처에 의하여 상기 후면전극의 표면에 요철이 형성된 것을 특징으로 한다.본 발명에 의한 기판에 텍스처가 형성된 2중 텍스처 구조의 칼코게나이드계 태양전지는, 기판; 상기 기판 위에 형성된 후면전극; 상기 후면 전극 위에 형성된 칼코게나이드계 반도체 재질의 광흡수층; 상기 광흡수층 위에 형성된 버퍼층; 및 상기 버퍼층 위에 형성된 투명전극을 포함하여 구성되고, 상기 광흡수층에 접하는 상기 후면전극의 표면에 후면텍스처 구조가 형성되며, 상기 투명전극의 표면에 전면텍스처 구조가 형성된 것을 특징으로 한다.본 발명은 전면텍스처와 기판텍스처의 2중 텍스처 구조를 구비함으로써 광포획 성능을 크게 증가시켜, 태양전지의 광전변환효율을 향상시키는 효과가 있다. |
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Int. CL | H01L 31/0236 (2006.01) H01L 31/18 (2006.01) H01L 31/042 (2006.01) H01L 31/0749 (2012.01) |
CPC | |
출원번호/일자 | 1020120030082 (2012.03.23) |
출원인 | 한국에너지기술연구원 |
등록번호/일자 | 10-1326140-0000 (2013.10.31) |
공개번호/일자 | 10-2013-0107905 (2013.10.02) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20131106) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 등록 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2012.03.23) |
심사청구항수 | 7 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한국에너지기술연구원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 안승규 | 대한민국 | 대전 서구 |
2 | 윤경훈 | 대한민국 | 대전 유성구 |
3 | 윤재호 | 대한민국 | 대전 중구 |
4 | 조준식 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
5 | 안세진 | 대한민국 | 대전 유성구 |
6 | 곽지혜 | 대한민국 | 대전 서구 |
7 | 신기식 | 대한민국 | 대전 유성구 |
8 | 조아라 | 대한민국 | 서울 관악구 |
9 | 유진수 | 대한민국 | 서울 노원구 |
10 | 박상현 | 대한민국 | 대전 유성구 |
11 | 박주형 | 대한민국 | 대전 유성구 |
12 | 어영주 | 대한민국 | 대전 유성구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 특허법인다울 | 대한민국 | 서울 강남구 봉은사로 ***, ***호(역삼동, 혜전빌딩) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한국에너지기술연구원 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2012.03.23 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0236631-19 |
2 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2013.05.03 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
3 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2013.06.05 | 수리 (Accepted) | 9-1-2013-0042976-04 |
4 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2013.06.18 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0414833-47 |
5 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2013.07.25 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0673415-82 |
6 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2013.07.25 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2013-0673414-36 |
7 | 등록결정서 Decision to grant |
2013.10.30 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0747506-43 |
8 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.01.07 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5003356-15 |
9 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.03.10 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-0013224-83 |
10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2017.01.19 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5010650-13 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.01.08 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5004978-55 |
12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.08.21 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5166801-48 |
13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.08.21 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5166803-39 |
14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.09.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5197654-62 |
번호 | 청구항 |
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1 |
1 삭제 |
2 |
2 기판을 준비하는 단계;상기 기판의 표면에 기판텍스처를 형성하는 단계;상기 기판에 후면전극을 형성하는 단계;상기 후면 전극 위에 칼코게나이드계 반도체 재질의 광흡수층을 형성하는 단계;상기 광흡수층 위에 버퍼층을 형성하는 단계;상기 버퍼층 위에 투명전극을 형성하는 단계; 및상기 투명전극의 표면에 전면텍스처를 형성하는 단계를 포함하며,상기 기판은 유리재질 또는 폴리머재질이고, 상기 기판텍스처를 형성하는 단계는 플라즈마를 이용한 반응성 이온 식각(RIE) 공정으로 진행되어,상기 기판텍스처에 의하여 상기 후면전극의 표면에 요철이 형성된 것을 특징으로 하는 기판에 텍스처가 형성된 2중 텍스처 구조의 칼코게나이드계 태양전지의 제조방법 |
3 |
3 삭제 |
4 |
4 기판을 준비하는 단계;상기 기판의 표면에 기판텍스처를 형성하는 단계;상기 기판에 후면전극을 형성하는 단계;상기 후면 전극 위에 칼코게나이드계 반도체 재질의 광흡수층을 형성하는 단계;상기 광흡수층 위에 버퍼층을 형성하는 단계;상기 버퍼층 위에 투명전극을 형성하는 단계; 및상기 투명전극의 표면에 전면텍스처를 형성하는 단계를 포함하며,상기 기판은 유리재질이고, 상기 기판텍스처를 형성하는 단계는 SiO2입자를 포함하는 실리카-졸(silica-sol)을 상기 기판의 표면에 코팅한 뒤에 500℃ 이상의 온도에서 가열처리하는 공정으로 진행되어,상기 기판텍스처에 의하여 상기 후면전극의 표면에 요철이 형성된 것을 특징으로 하는 기판에 텍스처가 형성된 2중 텍스처 구조의 칼코게나이드계 태양전지의 제조방법 |
5 |
5 기판을 준비하는 단계;상기 기판의 표면에 기판텍스처를 형성하는 단계;상기 기판에 후면전극을 형성하는 단계;상기 후면 전극 위에 칼코게나이드계 반도체 재질의 광흡수층을 형성하는 단계;상기 광흡수층 위에 버퍼층을 형성하는 단계;상기 버퍼층 위에 투명전극을 형성하는 단계; 및상기 투명전극의 표면에 전면텍스처를 형성하는 단계를 포함하며,상기 기판은 유리재질이고, 상기 기판텍스처를 형성하는 단계는 상기 기판 위에 알루미늄층을 스퍼터링하여 형성한 뒤에 600℃ 이상으로 가열하여 기판과 알루미늄을 반응시키고, 상기 반응에 의한 반응물을 습식식각하여 진행되어,상기 기판텍스처에 의하여 상기 후면전극의 표면에 요철이 형성된 것을 특징으로 하는 기판에 텍스처가 형성된 2중 텍스처 구조의 칼코게나이드계 태양전지의 제조방법 |
6 |
6 기판을 준비하는 단계;상기 기판의 표면에 기판텍스처를 형성하는 단계;상기 기판에 후면전극을 형성하는 단계;상기 후면 전극 위에 칼코게나이드계 반도체 재질의 광흡수층을 형성하는 단계;상기 광흡수층 위에 버퍼층을 형성하는 단계;상기 버퍼층 위에 투명전극을 형성하는 단계; 및상기 투명전극의 표면에 전면텍스처를 형성하는 단계를 포함하며,상기 기판은 폴리머재질이고, 상기 기판텍스처를 형성하는 단계는 상기 기판을 가열하여 경화시킨 뒤에 금속성 수산화물을 이용하여 표면을 습식식각하여 진행되어,상기 기판텍스처에 의하여 상기 후면전극의 표면에 요철이 형성된 것을 특징으로 하는 기판에 텍스처가 형성된 2중 텍스처 구조의 칼코게나이드계 태양전지의 제조방법 |
7 |
7 기판을 준비하는 단계;상기 기판의 표면에 기판텍스처를 형성하는 단계;상기 기판에 후면전극을 형성하는 단계;상기 후면 전극 위에 칼코게나이드계 반도체 재질의 광흡수층을 형성하는 단계;상기 광흡수층 위에 버퍼층을 형성하는 단계;상기 버퍼층 위에 투명전극을 형성하는 단계; 및상기 투명전극의 표면에 전면텍스처를 형성하는 단계를 포함하며,상기 기판은 금속재질이고, 상기 기판텍스처를 형성하는 단계는 플라즈마를 이용한 이온주입법(ion implantation)으로 진행되어,상기 기판텍스처에 의하여 상기 후면전극의 표면에 요철이 형성된 것을 특징으로 하는 기판에 텍스처가 형성된 2중 텍스처 구조의 칼코게나이드계 태양전지의 제조방법 |
8 |
8 청구항 2와 청구항 4 내지 청구항 7 중에 어느 한 항에 있어서,상기 투명전극을 형성하는 단계가 DC 스퍼터링 또는 RF 스퍼터링 공정으로 TCO를 증착하여 진행되며,상기 전면텍스처를 형성하는 단계가 상기 투명전극을 형성하는 단계보다 증착되는 입자에너지를 높이는 조건에 TCO를 DC 스퍼터링 또는 RF 스퍼터링하여 진행되는 것을 특징으로 하는 기판에 텍스처가 형성된 2중 텍스처 구조의 칼코게나이드계 태양전지의 제조방법 |
9 |
9 청구항 2와 청구항 4 내지 청구항 7 중에 어느 한 항에 있어서,상기 전면텍스처를 형성하는 단계가 산성용액에 침지하여 상기 투명전극의 표면을 습식식각하여 진행되는 것을 특징으로 하는 기판에 텍스처가 형성된 2중 텍스처 구조의 칼코게나이드계 태양전지의 제조방법 |
10 |
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12 |
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지정국 정보가 없습니다 |
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순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
---|---|---|---|---|
1 | WO2013141646 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | FAMILY |
순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
---|---|---|---|---|
1 | WO2013141646 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | DOCDBFAMILY |
순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
---|---|---|---|---|
1 | 태양에너지연구단 | 산업기술연구회 | 주요사업(구, 기본사업) | 플렉서블 박막 태양전지 고효율화 기술개발 |
특허 등록번호 | 10-1326140-0000 |
---|
표시번호 | 사항 |
---|---|
1 |
출원 연월일 : 20120323 출원 번호 : 1020120030082 공고 연월일 : 20131106 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20131030 청구범위의 항수 : 7 유별 : H01L 31/042 발명의 명칭 : 기판에 텍스처가 형성된 2중 텍스처 구조의 칼코게나이드계 태양전지의 제조방법 및 이에 따라 제조된 칼코게나이드계 태양전지 존속기간(예정)만료일 : |
순위번호 | 사항 |
---|---|
1 |
(권리자) 한국에너지기술연구원 대전광역시 유성구... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 159,000 원 | 2013년 11월 01일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 135,800 원 | 2016년 10월 10일 | 납입 |
제 5 년분 | 금 액 | 135,800 원 | 2017년 09월 21일 | 납입 |
제 6 년분 | 금 액 | 97,000 원 | 2018년 09월 18일 | 납입 |
제 7 년분 | 금 액 | 183,000 원 | 2019년 09월 09일 | 납입 |
제 8 년분 | 금 액 | 183,000 원 | 2020년 09월 11일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 | 2012.03.23 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0236631-19 |
2 | 선행기술조사의뢰서 | 2013.05.03 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
3 | 선행기술조사보고서 | 2013.06.05 | 수리 (Accepted) | 9-1-2013-0042976-04 |
4 | 의견제출통지서 | 2013.06.18 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0414833-47 |
5 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2013.07.25 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0673415-82 |
6 | [명세서등 보정]보정서 | 2013.07.25 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2013-0673414-36 |
7 | 등록결정서 | 2013.10.30 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0747506-43 |
8 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.01.07 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5003356-15 |
9 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.03.10 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-0013224-83 |
10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2017.01.19 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5010650-13 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.01.08 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5004978-55 |
12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.08.21 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5166801-48 |
13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.08.21 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5166803-39 |
14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.09.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5197654-62 |
기술정보가 없습니다 |
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과제고유번호 | 1711007723 |
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세부과제번호 | KIER-B32441 |
연구과제명 | 육해상 신재생에너지 융복합 원천기술 개발 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 미래창조과학부 |
연구관리전문기관명 | |
연구주관기관명 | |
성과제출연도 | 2013 |
연구기간 | 201301~201312 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | ET(환경기술) |
과제고유번호 | 1415127615 |
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세부과제번호 | KIER-B22401 |
연구과제명 | 차세대태양전지기술개발 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 지식경제부 |
연구관리전문기관명 | 산업기술연구회 |
연구주관기관명 | 한국에너지기술연구원 |
성과제출연도 | 2012 |
연구기간 | 201201~201412 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 개발연구 |
6T분류명 | ET(환경기술) |
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