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유연한 기판을 갖는 태양전지의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015154408
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유연한 기판을 갖는 태양전지의 제조방법에 관한 것으로서, 유리기판 등의 모체 기판에 분리층을 형성하고 그 위에 유연한 기판을 형성한 이후 태양전지를 제조한 뒤에 상기 분리층에 레이저를 조사하여 모체기판을 분리 제거하는 단계를 포함하여 공정이 간단하고 저비용으로 양산성을 높일 수 있는 유연한 기판을 갖는 태양전지의 제조방법이다.
Int. CL H01L 31/042 (2014.01) H01L 31/18 (2006.01) H01L 31/0749 (2012.01)
CPC H01L 31/0749(2013.01) H01L 31/0749(2013.01)
출원번호/일자 1020130044033 (2013.04.22)
출원인 한국에너지기술연구원
등록번호/일자 10-1459279-0000 (2014.11.03)
공개번호/일자 10-2014-0126794 (2014.11.03) 문서열기
공고번호/일자 (20141110) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.04.22)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조준식 대한민국 대전 유성구
2 어영주 대한민국 대전 유성구
3 박주형 대한민국 대전 유성구
4 신기식 대한민국 대전 유성구
5 곽지혜 대한민국 대전 서구
6 윤재호 대한민국 대전 중구
7 조아라 대한민국 서울 관악구
8 안승규 대한민국 대전 유성구
9 윤경훈 대한민국 대전 유성구
10 유진수 대한민국 서울 노원구
11 박상현 대한민국 대전 유성구
12 안세진 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 한상수 대한민국 서울시 서초구 효령로**길 ** *층 (브릿지웰빌딩)(에이치앤피국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.04.22 수리 (Accepted) 1-1-2013-0349289-58
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.07 수리 (Accepted) 4-1-2014-5003356-15
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.02.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.03.10 수리 (Accepted) 9-1-2014-0019335-53
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.04.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0287800-39
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.06.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0609958-51
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.06.30 수리 (Accepted) 1-1-2014-0609953-23
8 등록결정서
Decision to grant		 2014.10.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0746445-12
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.10 수리 (Accepted) 4-1-2015-0013224-83
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.19 수리 (Accepted) 4-1-2017-5010650-13
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.01.08 수리 (Accepted) 4-1-2019-5004978-55
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166801-48
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166803-39
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.09.01 수리 (Accepted) 4-1-2020-5197654-62
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번호 청구항
1 1
삭제
2 2
유연한 기판을 갖는 태양전지의 제조방법에 있어서,(i) 모체 기판을 준비하는 단계;(ii) 상기 모체 기판 위에 분리층을 형성하는 단계;(iii) 상기 분리층 위에 유연한 기판을 형성하는 단계;(iv) 상기 분리층에 레이저를 조사하여 상기 모체 기판을 분리하는 단계;(v) 상기 유연한 기판의 분리된 면 위에 후면전극층을 형성하는 단계;(vi) 상기 후면전극층 위에 CIGS 광흡수층을 형성하는 단계;(vii) 상기 CIGS 광흡수층 위에 버퍼층을 형성하는 단계;(viii) 상기 버퍼층 위에 전면전극층을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 제조방법
3 3
제 2항에 있어서, 상기 (i) 단계의 모체 기판은 유리기판 또는 석영기판 중에서 어느 하나인 것을 특징으로 하는 태양전지의 제조방법
4 4
제 2항에 있어서,상기 (ii) 단계의 분리층은 아몰포스 실리콘(a-Si), 수소가 함유된 아몰포스 실리콘(a-Si:H), 수소가 함유된 아몰포스 실리콘나트륨(a-SiNx:H), 수소가 함유된 아몰포스 실리콘옥사이드(a-SiOx:H) 중에서 어느 하나인 것을 특징으로 하는 태양전지의 제조방법
5 5
제 2항에 있어서,상기 (ii) 단계의 분리층의 형성은 화학기상증착법, 스퍼터링, 이온플레이팅, 스핀코팅, 스프레이코팅, 전사법, 아크제트법, 분말제트법 중에서 적어도 어느 하나의 방법에 의해 10nm~2㎛ 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 태양전지의 제조방법
6 6
제 2항에 있어서,상기 (iii) 단계의 유연한 기판의 형성은(a) 상기 분리층 위에 폴리이미드 형성용 모노머를 열증착법, 플라즈마 화학기상증착법, 원자층증착법, 스핀코팅법, 닥터블레이드법, 프린팅, 잉크젯 도포법 중에서 어느 하나의 방법을 이용하여 증착시키는 단계;(b) 상기 증착된 모노머를 열처리하여 폴리이미드층을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 제조방법
7 7
제 6항에 있어서,상기 폴리이미드 형성용 모노머는 PTCDA(perylenetetracarboxylic dianhydride), BPDA(biphenyltetracarboxylic dianhydride) 및 PMDA(pyromellitic dianhydride)로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 산 성분과 DADD(diaminododecane), ODA(oxydianiline) 및 PDA(phenylene diamine)로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 아민 성분을 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 제조방법
8 8
제 6항에 있어서,상기 증착된 모노머의 열처리는 100~350℃에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 태양전지의 제조방법
9 9
제 2항에 있어서,상기 후면전극은 니켈, 구리, 몰리브덴 중에서 적어도 어느 하나이고,스퍼터링법, 열증착법, 전자선증착법, 전착법 중 어느 하나의 방법으로 형성하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 제조방법
10 10
제 2항에 있어서,상기 CIGS 광흡수층의 형성은 구리, 인듐, 갈륨, 셀륨을 사용한 동시증발법 또는 구리, 인듐, 갈륨, 셀륨의 프리커서막을 셀레니제이션 또는 설퍼리제이션 공정을 하는 방법 중에서 어느 하나의 방법으로 형성되는 것을 특징으로 하는 태양전지의 제조방법
11 11
제 2항에 있어서,상기 버퍼층은 황화 카드뮴, 황화 아연 중에서 적어도 어느 하나를 포함하고,화학적 용액성장법(CBD), 전착법, 동시증착법, 스퍼터링법, 원자층성장법, 원자층증착법, 화학기상증착법(CVD), 유기금속화학기상증착법(MOCVD), 분자선성장법(MBE) 중에서 적어도 어느 하나의 방법으로 형성되는 것을 특징으로 하는 태양전지의 제조방법
12 12
제 2항에 있어서,상기 전면전극은 산화아연, 산화갈륨, 산화알루미늄, 산화인듐, 산화납, 산화구리, 산화티탄, 산화주석, 산화철, 이산화주석, 인듐주석산화물 중에서 적어도 어느 하나를 포함하여 구성되고, 스퍼터링법, 열증발법, 유기금속화학증착법 중에서 어느 하나의 방법으로 형성되는 것을 특징으로 하는 태양전지의 제조방법
13 13
제 2항에 있어서,상기 레이저는 XeCL, ArF, KrCl, KrF, XeCl, XeF 레이저 중에서 어느 하나이고,상기 모체 기판의 아랫면에서 상기 레이저를 조사하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 제조방법
14 14
제 2항에 있어서,상기 분리층이 수소가 함유된 아몰포스 실리콘(a-Si:H), 수소가 함유된 아몰포스 실리콘나트륨(a-SiNx:H), 수소가 함유된 아몰포스 실리콘옥사이드(a-SiOx:H) 중에서 어느 하나인 경우,상기 분리층에 레이저를 조사함으로써 상기 분리층이 용해되고 수소가 방출되면서 상기 모체 기판이 상기 유연한 기판으로부터 분리되는 것을 특징으로 하는 태양전지의 제조방법
15 15
제 2항의 제조 방법으로 제조된,폴리이미드를 포함하는 유연한 기판;상기 유연한 기판 위에 형성된 니켈, 구리, 몰리브덴 중에서 적어도 어느 하나를 포함하는 후면전극;상기 후면 전극 위에 형성된 CIGS 광흡수층;상기 CIGS 광흡수층 위에 형성된 황화 카드뮴 또는 황화 아연 중 적어도 어느 하나를 포함하는 버퍼층;상기 버퍼층 위에 형성된 산화아연, 산화갈륨, 산화알루미늄, 산화인듐, 산화납, 산화구리, 산화티탄, 산화주석, 산화철, 이산화주석, 인듐주석산화물 중에서 적어도 어느 하나를 포함하는 전면전극;을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 태양전지
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국에너지기술연구원 한국에너지기술연구원 주요사업 플렉서블 박막 태양전지 고효율화 기술개발