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상부가 개방되어 실리콘 원료가 장입되고, 외측 벽이 유도 코일에 의해 둘러싸이는 원통형 구조를 갖는 흑연 재질의 도가니로서,
상기 유도 코일에 흐르는 전류에 의해 발생하는 전자기력이 상기 도가니 내부 중심방향으로 작용하여, 용융되는 실리콘이 상기 전자기력에 의해 상기 도가니 내측 벽에 접촉하지 않도록, 상기 도가니 외측 벽과 내측 벽을 관통하는 연직방향의 복수의 슬릿만이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 실리콘 전자기 유도 용융용 흑연 도가니
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제1항에 있어서, 상기 복수의 슬릿은
상기 도가니 상부로부터 상기 도가니의 내부의 바닥면 부분까지 형성되어 있으며 일정한 간격을 갖는 것을 특징으로 하는 실리콘 전자기 유도 용융용 흑연 도가니
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제1항에 있어서, 상기 복수의 슬릿은
적어도 12개가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 실리콘 전자기 유도 용융용 흑연 도가니
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4
제3항에 있어서, 상기 복수의 슬릿은
상기 도가니의 내경이 50 mm이상일 경우, 적어도 24개가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 실리콘 전자기 유도 용융용 흑연 도가니
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제1항에 있어서, 상기 복수의 슬릿은
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제1항에 있어서, 상기 도가니는
내부 바닥면이 실리콘카바이드(SiC), 실리콘질화물(Si3N4) 중 적어도 하나의 물질로 코팅되어 있는 것을 특징으로 하는 실리콘 전자기 유도 용융용 흑연도가니
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제1항에 있어서, 상기 실리콘 원료는
유도 가열되는 상기 도가니에 의해 간접 용융되어 용탕을 형성하고 형성된 용탕은 내부의 전자기력에 의해 상기 도가니 내측 벽에 접촉하지 않으면서 유도 용융되는 것을 특징으로 하는 실리콘 전자기 유도 용융용 흑연 도가니
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8
상부가 개방되어 있으며, 외측 벽과 내측 벽을 관통하는 연직방향의 복수의 슬릿만이 형성되어 있는 원통형 구조를 갖는 흑연 재질의 도가니; 및
상기 도가니의 외측 벽을 둘러싸는 유도 코일을 포함하고,
상기 도가니 상부를 통해 장입되는 실리콘 원료는 유도 가열되는 상기 도가니에 의해 간접 용융되어 용탕을 형성하고,
상기 유도 코일에 흐르는 전류에 의해 발생하는 전자기력이 상기 도가니 내부 중심방향으로 작용하여, 상기 형성된 용탕이 상기 전자기력에 의해 상기 도가니 내측 벽에 접촉하지 않으면서 유도 용융되는 것을 특징으로 하는 실리콘 용융 정련장치
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9
제8항에 있어서, 상기 복수의 슬릿은
상기 도가니 상부로부터 상기 도가니의 내부의 바닥면 부분까지 형성되어 있으며 일정한 간격을 갖는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 실리콘 용융 정련 장치
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10
제8항에 있어서, 상기 복수의 슬릿은
적어도 12개가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 실리콘 용융 정련 장치
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11
제10항에 있어서, 상기 복수의 슬릿은
상기 도가니의 내경이 50 mm이상일 경우, 적어도 24개가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 실리콘 용융 정련 장치
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12
제8항에 있어서, 상기 복수의 슬릿은
0
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제8항에 있어서, 내부 바닥면이 실리콘카바이드(SiC), 실리콘질화물(Si3N4) 중 적어도 하나의 물질로 코팅되어 있는 것을 특징으로 하는 실리콘 용융 정련 장치
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제8항에 있어서, 상기 실리콘 원료는
유도 가열되는 상기 도가니에 의해 간접 용융되어 용탕을 형성하고 형성된 용탕은 내부의 전자기력에 의해 상기 도가니 내측 벽에 접촉하지 않으면서 유도 용융되는 것을 특징으로 하는 실리콘 용융 정련 장치
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