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질화규소(Si3N4) 분말과, 2 - 16 중량%의 Yb2O3 소결조제 분말로부터 얻어지는 질화규소 소결체로, 상기 소결체는 미세 입자 구조를 가지는 내부층과, 조대 입자 및 미세 입자가 공존하는 혼합 구조를 가지는 외부층으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 내외층의 미세구조가 제어된 질화규소 소결체
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제1항에 있어서, 상기 내부층의 미세 입자는 10 내지 20㎛의 길이와, 2 내지 4㎛의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 내외층의 미세구조가 제어된 질화규소 소결체
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제1항에 있어서, 상기 외부층의 조대 입자는 100 내지 200㎛의 길이와, 10 내지 20㎛의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 내외층의 미세구조가 제어된 질화규소 소결체
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제1항에 있어서, 상기 외부층의 두께는 상기 소결체의 소결 시간에 의존하는 것을 특징으로 하는 내외층의 미세구조가 제어된 질화규소 소결체
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질화규소(Si3N4) 분말에 2 - 16 중량%의 Yb2O3 소결조제 분말을 첨가하여 혼합하고, 상기 혼합 분말을 볼 밀링을 통하여 슬러리를 제조하고, 상기 슬러리를 건조하여 분급하고, 얻어진 분말을 정수압 성형하고, 얻어진 상기 성형체를 1800 내지 1950℃의 온도 범위에서 소결함으로써 그 내부층은 미세 입자 구조를 가지고 그 외부층은 조대 입자 및 미세 입자가 공존하는 혼합 구조를 갖는 소결체를 얻는 것을 특징으로하는 내외층의 미세구조가 제어된 질화규소 소결체의 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 외부층의 두께는 상기 소결체의 소결 시간에 의존하는 것을 특징으로 하는 내외층의 미세구조가 제어된 질화규소 소결체의 제조방법
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