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제 1방향으로만 탄성운동이 가능한 제1김블과; 상기 제1김블이 상기 제1방향으로 탄성운동을 할 때에는 상기 제1김블과 함께 제1방향으로 탄성운동을 하며, 상기 제1김블과는 독립적으로 상기 제1방향과 수직을 이루는 제2방향으로의 탄성운동이 가능하도록 상기 제1김블에 연결설치된 제2김블을 포함하는 것을 특징으로 하는 진동형 마이크로 자이로스코프
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제1 방향으로 전체 김블 구조를 진동시키는 구동 김블과, 각속도 인가시 상기 제1 방향과 수직을 이루는 제2 방향으로 변위되는 검출 김블과, 상기 구동 김블을 고정축과 연결하며 제1 방향으로의 유동이 가능한 구동 판스프링과, 상기 구동 김블과 상기 검출 김블을 연결하며 제2 방향으로의 유동이 가능한 검출 판스프링과, 상기 검출 김블의 제2 방향으로의 변위에 따라 상기 검출 김블과의 사이에서 형성되는 정전 용량이 변화하도록 설계된 검출 전극을 포함하며, 상기 검출 전극은 제1 검출 전극과 제2 검출 전극을 포함하며, 상기 제1 검출 전극과 상기 검출 김블과의 사이에서 형성되는 제1 정전 용량이 증가하면 상기 제2 검출 전극과 상기 검출 김블과의 사이에서 형성되는 제2 정전 용량은 감소하고, 반대로 상기 제1 정전 용량이 감소하면 상기 제2 정전 용량은 증가하는 진동형 마이크로자이로스코프
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제 5항에 있어서, 상기 제1 및 제2 검출 전극은 상기 검출 김블의 일부인 검출 빗살부의 양측에 각각 배치되어 있는 진동형 마이크로자이로스코프
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제 5항에 있어서, 상기 제1 정전 용량과 상기 제2 정전 용량 사이의 차분에 따른 전류 변화를 전압으로 출력하는 적분기를 더 포함하는 진동형 마이크로자이로스코프
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제 5항에 있어서, 상기 전체 김블 구조의 제1 방향 진동을 유발하는 구동 전극을 포함하는 진동형 마이크로자이로스코프
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제 8항에 있어서, 상기 구동 전극은 상기 구동 김블의 일부인 구동 빗살부와 깎지낀 모양으로 형성되어 있는 진동형 마이크로자이로스코프
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제 5항에 있어서, 각속도에 따른 상기 검출 김블의 제2 방향 변위량을 조절하는 튜닝 전극을 추가적으로 포함하는 진동형 마이크로자이로스코프
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제 11항에 있어서, 상기 튜닝 전극은 제1 및 제2 튜닝 전극으로 이루어지며, 상기 제1 및 제2 튜닝 전극은 상기 검출 김블의 일부인 검출 빗살부의 양측에 각각 배치되어 있는 진동형 마이크로자이로스코프
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제 5항에 있어서, 상기 검출 김블의 제2 방향 진동을 억제할 수 있는 리밸런싱 전극을 추가적으로 포함하는 진동형 마이크로자이로스코프
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제 5항에 있어서, 상기 구동 김블과 상기 구동 판스프링을 통하여 직접 연결되어 있고 상기 고정축과 또다른 상기 구동 판스프링을 통하여 직접 연결되어 있는 완충부를 추가적으로 포함하는 진동형 마이크로자이로스코프
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한 쌍의 고정축과; 상기 고정축과는 수직을 이루는 제 1방향으로만 탄성변형이 가능한 제1탄성부재에 의하여 상기 고정축과 각각 연결되는 한 쌍의 완충부재와; 상기 제1방향으로만 탄성변형이 가능한 제2탄성부재에 의하여 상기 각각의 완충부재와 연결되는 제1김블과; 상기 고정축 및 제1방향과 수직을 이루는 제2방향으로만 탄성변형이 가능한 제3탄성부재에 의하여 연결되는 제2김블을 포함하는 것을 특징으로 하는 진동형 마이크로 자이로스코프
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제 14항에 있어서, 상기 제1, 2 및 제3 탄성부재는 판형스프링인 것을 특징으로 하는 진동형 마이크로 자이로스코프
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제 14항에 있어서, 상기 제1김블은 상기 제2및 제3탄성부재와 연결되는 한 쌍의 제1프래임과; 상기 제1프래임을 연결하는 제2프래임을 포함하는 것을 특징으로 하는 진동형 마이크로 자이로스코프
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제 16항에 있어서, 상기 제2프래임은 상기 제1김블이 구동전극에 의하여 제1방향으로 진동하도록 상기 구동전극과 깍지낀 형태로 배치되는 빗살부가 상기 제1방향으로 연장형성되는 것을 특징으로 하는 진동형 마이크로 자이로스코프
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제 14항에 있어서, 상기 제2김블의 양측에는 상기 제1방향으로 하나 이상의 검출빗살부가 연장형성되고, 상기 검출빗살부와 맞물려 상기 제2김블의 움직임을 검출하기 위한 다수개의 검출전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 진동형 마이크로 자이로스코프
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제 14항에 있어서, 상기 제2김블의 진동을 억제하기 위한 리밸런싱 전극을 추가적로 포함하는 것을 특징으로 하는 진동형 마이크로자이로스코프
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