1 |
1
간섭계를 사용하여 오목 쌍곡면의 곡면 형상을 광학적 비접촉식으로 측정하기 위한 널 렌즈 광학계에 있어서, 상기 간섭계로부터 나오는 평행 광선이 입사되는 결상 렌즈와; 상기 결상 렌즈의 상이 입사되어 측정 대상 쌍곡면에 맺히게 하는 필드 렌즈를 포함하고, 상기 결상 렌즈의 초점이 상기 필드 렌즈의 앞에 맺히도록 상기 필드 렌즈를 위치시키며, 상기 측정 대상 쌍곡면에서 반사된 평행 광선은 다시 상기 필드 렌즈와 결상 렌즈를 통과하여 상기 간섭계로 되돌아가도록 하는 것을 특징으로 하는 오목 쌍곡면 형상 측정용 널 렌즈 광학계
|
2 |
2
제 1 항에 있어서, 상기 결상 렌즈가 상기 평행 광선이 입사하는 면은 평면이고, 상기 필드 렌즈와 대향하는 면은 볼록한 구면으로 구성되는 것을 특징으로 하는 오목 쌍곡면 거울 형상 측정용 널 렌즈 광학계
|
3 |
3
제 1 항에 있어서, 상기 결상 렌즈와 대향하는 상기 필드 렌즈의 면은 오목한 구면이고, 상기 측정 대상 쌍곡면과 대향하는 상기 필드 렌즈의 나머지 면은 볼록한 구면으로 구성되는 것을 특징으로 하는 오목 쌍곡면 거울 형상 측정용 널 렌즈 광학계
|
4 |
4
제 1 항에 있어서, 상기 결상 렌즈와 상기 필드 렌즈의 중심이 광축과 일치하는 것을 특징으로 하는 오목 쌍곡면 거울 형상 측정용 널 렌즈 광학계
|
5 |
5
삭제
|
6 |
6
제 1 항에 있어서, 상기 필드 렌즈가 상기 측정 대상 쌍곡면의 곡률 중심 부근에 위치하는 것을 특징으로 하는 오목 쌍곡면 거울 형상 측정용 널 렌즈 광학계
|
7 |
7
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 광학계가 상기 필드 렌즈의 두께의 영향을 받지 않는 것을 특징으로 하는 오목 쌍곡면 거울 형상 측정용 널 렌즈 광학계
|
8 |
8
제 1 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 결상 렌즈와 상기 필드 렌즈의 곡률 반경, 두께, 구경, 굴절률 및 상기 결상 렌즈와 상기 필드 렌즈간의 거리 및 상기 필드 렌즈와 상기 측정 대상 쌍곡면간의 거리는 상기 측정 대상 쌍곡면의 구경, 곡률 반경 및 원추계수의 값에 따라 정해지는 것을 특징으로 하는 오목 쌍곡면 거울 형상 측정용 널 렌즈 광학계
|