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일정한 파장을 가지는 빛을 발생시키는 가시광 레이저 광원과; 상기 빛을 평행광으로 바꿔주는 광학장치와; 두 개의 경로로 상기 평행광을 분리하여 측정하고자 하는 시료의 양쪽 표면에 각각 조사시키고 상기 각각의 표면에서 반사되는 반사광들이 각각 상기 경로들을 거쳐 상기 평행광의 반대방향으로 하나로 모여 상호 간섭되도록 하는 조사간섭수단과; 상기 반사광들이 상호 간섭되는 간섭광들을 관찰할 수 있도록 표시하여 주는 표시수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 측정장치
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제 1항에 있어서, 상기 경로는 상기 광학장치의 광학축과 수직을 이루어 분리되는 분리점을 제 1 꼭지점으로 하고, 상기 제 1 꼭지점을 기준으로 일방향으로 제 1, 2, 3 및 4 변, 제 2, 3, 4 꼭지점을 가지는 직사각형을 이루는 제 1 및 제 2 경로를 포함하며, 상기 제 1경로는 제 1꼭지점으로부터 제 2의 꼭지점을 거쳐 제 2 변 위에 위치한 시료의 한 쪽면까지로 구성되며, 상기 제 2 경로는 제 1꼭지점으로부터 제 4 꼭지점 및 제 3 꼭지점을 거쳐 상기 시료의 반대쪽면까지로 구성되는 것을 특징으로 하는 표면 측정장치
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제 2항에 있어서, 상기 제 1꼭지점에는 반투과경을 위치시켜 상기 평행광의 경로를 제 1 및 제 2 경로로 분리시키는 것을 특징으로 하는 표면 측정장치
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제 3항에 있어서, 상기 제 2 꼭지점에는 반사경이 설치되고, 상기 제 4 꼭지점에는 한 쌍의 반사경이 설치되고, 상기 제 3 꼭지점에는 반사경이 설치되는 것을 특징으로 하는 표면 측정장치
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제 3항에 있어서, 상기 제 2 꼭지점에는 반사경이 설치되고, 상기 제 4 꼭지점에는 오각프리즘이 설치되고, 상기 제 3 꼭지점에는 반사경이 설치되는 것을 특징으로 하는 표면 측정장치
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제 1항에 있어서, 상기 경로는 상기 광학장치의 광학축과 수직을 이루어 분리되는 분리점을 제 1 꼭지점으로 하고, 상기 제 1 꼭지점을 기준으로 일방향으로 제 1, 2 및 3 변, 제 2, 3 꼭지점을 가지는 삼각형을 이루는 제 1 및 제 2 경로를 포함하며, 상기 제 1경로는 제 1꼭지점으로부터 제 2의 꼭지점을 거쳐 제 2 변 위에 위치한 시료의 한 쪽면까지로 구성되며, 상기 제 2 경로는 제 1꼭지점으로부터 제 3 꼭지점을 거쳐 상기 시료의 반대쪽면까지로 구성되는 것을 특징으로 하는 표면 측정장치
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제 6항에 있어서, 상기 제 1 꼭지점에는 반투과경이, 상기 제 2 꼭지점 및 제 3 꼭지점에는 반사경이 설치된 것을 특징으로 하는 표면 측정장치
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제 1항에 있어서, 상기 표시수단은 상기 광원과 광학장치 사이에 위치하여 상기 광학장치를 통하여 들어오는 간섭된 평행광을 반사시키는 반투과경과; 상기 반투과경에 의하여 반사되는 평행광을 촬영하는 카메라장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 측정장치
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제 1항에 있어서, 상기 평행광은 상기 광학장치의 광학축 상에 위치된 반투과경에 의하여 두개의 경로로 분리되는 것을 특징으로 하는 표면 측정장치
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제 1항에 있어서, 상기 빛은 가시광선인 것을 특징으로 하는 표면 측정장치
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제 1항에 있어서, 상기 시료는 가시광선이 투과할 수 없는 불투과성을 가지는 표면 측정장치
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가시광 레이저 광원으로 만들어진 평행광을 2개의 경로로 분리시켜 시료의 양쪽 표면에 조사하여 반사시키는 단계와; 상기 시료의 양쪽 표면에 의해 반사되는 반사광들이 상호 간섭되도록 하는 단계와; 상기 간섭된 반사광의 특성에 따라 한면의 표면 형상을 기준으로 다른 한면의 표면형상을 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 측정방법
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