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산화텅스텐 분말을 이용한 텅스텐 박막 코팅 방법

  • 기술번호 : KST2015154630
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 산화텅스텐 분말을 구리, 니켈, 철, 코발트, 크롬, 텅스텐 등의 금속 기판과 접촉시킨 상태에서, 수소 분위기에서 650 ℃ 이상의 온도에서 환원 열처리함으로써, 수 나노미터(nm)에서 수십 마이크로미터(㎛)의 텅스텐 박막을 코팅하는 방법을 제공한다. 산화텅스텐 분말, 수소 분위기, 텅스텐 박막
Int. CL C23C 24/08 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020020024857 (2002.05.06)
출원인 국방과학연구소
등록번호/일자 10-0468215-0000 (2005.01.17)
공개번호/일자 10-2003-0086731 (2003.11.12) 문서열기
공고번호/일자 (20050126) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.05.06)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 국방과학연구소 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이성 대한민국 대전광역시서구
2 홍문희 대한민국 서울특별시강남구
3 노준웅 대한민국 대전광역시서구
4 김은표 대한민국 대전광역시서구
5 박윤식 대한민국 충청북도청주시흥덕구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박장원 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 국방과학연구소 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2002.05.06 수리 (Accepted) 1-1-2002-0138430-27
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2003.10.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2003.11.17 수리 (Accepted) 9-1-2003-0054926-12
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2004.04.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0166133-99
5 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2004.06.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2004-0270286-81
6 의견서
Written Opinion		 2004.06.22 수리 (Accepted) 1-1-2004-0270285-35
7 등록결정서
Decision to grant		 2005.01.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0002029-82
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2005.07.18 수리 (Accepted) 4-1-2005-0024313-50
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2013-0033275-90
10 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2020.06.02 수리 (Accepted) 1-1-2020-0568544-64
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

산화텅스텐 분말을 금속 기판과 접촉시키고,

수소 분위기 하에서 650 ℃이상의 온도에서 상기 산화텅스텐 분말을 환원 열처리하여 기상의 WO2(OH)2 를 형성하고,

상기 기상의 WO2(OH)2 를 수소 분위기 하에서 650 ℃이상의 온도에서 환원 열처리하여 상기 금속 기판 위에 고상의 텅스텐 박막을 코팅하는 것을 특징으로 하는 산화텅스텐 분말을 이용한 텅스텐 박막 코팅 방법

2 2

제 1항에 있어서, 금속 기판이 구리, 철, 니켈, 코발트, 크롬, 텅스텐 등의 금속 기판인 것을 특징으로 하는 텅스텐 박막 코팅 방법

3 3

제 1항 또는 제 2항에 있어서, 650 ℃ 내지 1050 ℃의 온도 범위에서 10 분 내지 6 시간 동안 열처리하여 500 nm 내지 25 ㎛두께로 텅스텐 박막을 코팅하는 것을 특징으로 하는 텅스텐 박막 코팅 방법

지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP03923900 JP 일본 FAMILY
2 JP15328149 JP 일본 FAMILY
3 US06821557 US 미국 FAMILY
4 US20030211238 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 FR2839318 FR 프랑스 DOCDBFAMILY
2 FR2839318 FR 프랑스 DOCDBFAMILY
3 JP2003328149 JP 일본 DOCDBFAMILY
4 JP3923900 JP 일본 DOCDBFAMILY
5 US2003211238 US 미국 DOCDBFAMILY
6 US6821557 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.