| 요약 |
본 발명은, 적응광학장치의 파면에러 보정장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 파면에러 보정장치는 미러 플레이트와 상기 미러플레이트의 형상을 변형하기 위한 다수의 PZT를 구비한 형상가변 거울모듈과, 상기 PZT를 구동하는 PZT구동부와, 상기 PZT구동부를 제어하는 PZT제어부와, 상기 형상가변거울모듈을 향하여 배치되는 2차원 센서로 형성되어 상기 형상가변거울모듈에서 반사된 빛을 감지하여 2차원 영상신호를 출력하는 파면센서와, 상기 형상가변 거울모듈에서 반사된 빛을 감지하여 영상신호를 출력하는 파면센서와, 상기 파면센서에서 출력되는 영상신호에 기초하여 상기 형상가변 거울모듈의 상기 PZT 각각에 대한 위치 변위량을 산출하여 상기 PZT구동부에 출력하는 연산 신호처리부와, 상기 연산 신호처리부는, 상기 PZT구동부가 상기 PZT의 위치변위량에 기초하여 상기 각 PZT를 구동시킨 후에, 상기 위치 변위량에 기초하여 미리 산출한 영상신호와 상기 파면센서에서 출력되는 영상신호를 비교하여 일치하지 않으면, 상기 PZT 각각에 대한 위치 변위량을 산출하여 상기 형상가변 거울모듈을 변형시켜 재보정을 수행하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 적응광학장치에서 형상 가변거울모듈을 이용하여 빛의 반사각도를 변경하여 파면의 왜곡을 보정함으로써 빛에 의해 인식된 영상이 균일하게 보이도록 할 수 있다. PZT, 형상가변 거울모듈, 파면에러, 보정장치
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