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양면전극 형태의 미세 압력센서의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015154916
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 미세크기로 제조가 용이하면서도 센서의 감응감도가 뛰어난 양면전극 형태의 압력센서 및 그 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 이를 해결하기 위해, 본 발명은 얇은 금속전극 위에 먼저 전기활성고분자 복합체인 센서감응물질을 패터닝하여 캔틸레버 형태의 구조로 하고, 외부로부터 인가되는 외부압력의 방향과 센서감응물질에 의한 감응방향이 일치하도록 상기 금속전극을 하부의 금속전극에 대향하는 상태로 접합하는 간단한 과정을 통해 미세 압력센서를 제조한다. 압력센서, 양면 전극, 미세, 마이크로, 스텐실 마스크, 포토리소그래피, 센서감응물질, CNT, PDMS, 감도
Int. CL B81C 1/00 (2006.01) G01L 9/00 (2006.01) B82Y 15/00 (2011.01) B81B 7/00 (2006.01)
CPC H01L 21/027(2013.01)
출원번호/일자 1020090000650 (2009.01.06)
출원인 국방과학연구소
등록번호/일자 10-1077577-0000 (2011.10.21)
공개번호/일자 10-2010-0081420 (2010.07.15) 문서열기
공고번호/일자 (20111027) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.01.06)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 국방과학연구소 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 권태헌 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 이현섭 대한민국 경상북도 포항시 남구
3 김봉관 대한민국 경상북도 포항시 남구
4 조치영 대한민국 경상남도 진해시
5 조요한 대한민국 경상남도 진해시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인원전 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 풍림빌딩 *층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 국방과학연구소 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.01.06 수리 (Accepted) 1-1-2009-0004707-78
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.02.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.03.15 수리 (Accepted) 9-1-2010-0014779-01
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.01.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0006903-62
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.03.04 수리 (Accepted) 1-1-2011-5006271-07
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.04.04 수리 (Accepted) 1-1-2011-5009819-31
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.05.04 수리 (Accepted) 1-1-2011-0332934-33
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.05.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0369090-69
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.05.18 수리 (Accepted) 1-1-2011-0369091-15
10 등록결정서
Decision to grant
2011.10.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0578084-88
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2013-0033275-90
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번호 청구항
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일부위에 상하가 관통된 개방부를 갖는 스텐실 마스크(40)를 상부전극(10)의 상면에 정렬하는 단계; 상기 스텐실 마스크(40)에 형성된 개방부(41)를 통해 상부전극(10)의 상면에 증착된 센서감응물질(30)을 포토리소그래피 공정에 의해 패터닝하는 단계; 패터닝되지 않은 상부전극(10)의 상면을 노출시키도록 상기 상부전극(10) 위의 스텐실 마스크(40)를 제거하는 단계; PCB 기판(1) 위에 상기 상부전극(10)과 대향하여 설치되는 하부전극(20)의 상면에 접착제(50)를 접착하는 단계; 외부로부터 인가되는 외부압력의 방향과 상기 센서감응물질에 의한 감응방향이 일치하도록 상기 상부전극(10)의 상면이 하부전극(20)의 상면에 대향하도록 상기 상부전극(10)을 뒤집어서 상기 하부전극(20) 의 상면 일정 영역에 마련된 접착제(50)에 접착되도록 하면서 상부전극(10)과 하부전극(20)을 접합하는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 압력센서의 제조방법
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제4항에 있어서, 상기 스텐실 마스크(40)를 상부전극(10)의 상면에 정렬하는 단계는, 스텐실 마스크(40)와 상부전극(10)에 각각 정렬용 구멍을 형성하여 이 정렬용 구멍에 정렬용 지그를 가조립한 상태에서 행하는 것을 특징으로 하는 미세 압력센서의 제조방법
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제4항에 있어서, 상기 상부전극(10)과 하부전극(20)을 접합하는 단계 이전에, 상부전극(10)과 하부전극(20)을 정렬하는 단계를 더 행하며, 상기 상부전극(10)과 하부전극(20)을 정렬하는 단계는, PCB 기판(1), 상부전극(10) 및 하부전극(20)에 각각 정렬용 구멍을 형성하여, PCB 기판(1)과 하부전극(10)의 각 정렬용 구멍에 정렬용 지그(60)를 가조립하고 나서, 상부전극(10)의 상면이 하부전극(20)의 상면에 대향하도록 상부전극(10)을 뒤집어서 상부전극(10)의 정렬용 구멍을 정렬용 지그(60)에 끼워넣으면서 하부전극(20)의 상면에 정렬하는 것을 특징으로 하는 미세 압력센서의 제조방법
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제4항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 센서감응물질은 폴리디메틸실록산에 탄소나노튜브를 혼합하여 된 전기활성고분자 복합체이며 상기 접착제는 양면테이프인 것을 특징으로 하는 미세 압력센서의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.