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리가 공정을 이용한 고폭비 마이크로구조물 제작용 분리 마이크로몰드 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015154926
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 리가 공정을 이용한 고폭비 마이크로구조물 제작용 분리 마이크로몰드 및 그 제조방법에 관한 것으로, 고폭비 마이크로구조물 형상의 홀이 수직 방향으로 분리되도록 형성된 제1몰드 및 제2몰드로 이루어지고, 상기 제1몰드와 제2몰드의 결합에 의하여 상기 홀이 완성되는 분리 마이크로몰드를 제조함으로써, 고폭비의 단일 마이크로구조물을 제작할 수 있고 제작단계에서의 마이크로구조물의 손상 방지 및 플라스틱 초소형 대량 성형기술에의 적용시 발생하는 이형 문제를 해결할 수 있는 리가 공정을 이용한 고폭비 마이크로구조물 제작용 분리 마이크로몰드 및 그 제조방법에 관한 것이다. 리가 공정, 마이크로몰드, 고폭비, 마이크로구조물
Int. CL B81C 1/00 (2006.01) B29C 33/00 (2006.01) B81B 7/00 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020090000647 (2009.01.06)
출원인 국방과학연구소
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2010-0081417 (2010.07.15) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.01.06)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 국방과학연구소 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 권태헌 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 이봉기 대한민국 울산광역시 중구
3 이현섭 대한민국 경상북도 포항시 남구
4 조치영 대한민국 경상남도 진해시
5 조요한 대한민국 경상남도 진해시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인원전 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 풍림빌딩 *층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.01.06 수리 (Accepted) 1-1-2009-0004704-31
2 [공지예외적용대상(신규성, 출원시의 특례)증명서류]서류제출서
[Document Verifying Exclusion from Being Publically Known (Novelty, Special Provisions for Application)] Submission of Document
2009.01.07 수리 (Accepted) 1-1-2009-5000651-55
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.12.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0592516-05
4 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.02.23 수리 (Accepted) 1-1-2011-5005232-58
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.03.24 수리 (Accepted) 1-1-2011-5008578-54
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.04.25 수리 (Accepted) 1-1-2011-0306114-67
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.05.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0387148-30
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.05.24 수리 (Accepted) 1-1-2011-0387149-86
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2011.11.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0678089-28
10 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2011.12.21 수리 (Accepted) 7-1-2011-0049804-30
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2013-0033275-90
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
고폭비 마이크로구조물 형상의 홀(104)이 수직 방향으로 분리되도록 형성된 제1몰드(102) 및 제2몰드(103)로 이루어지고, 상기 제1몰드(102)와 제2몰드(103)의 결합에 의하여 상기 홀(104)이 완성되도록 한 것을 특징으로 하는 고폭비 마이크로구조물 제작용 마이크로 몰드
2 2
제1항에 있어서, 상기 제1몰드(102)와 제2몰드(103)의 결합면 중 어느 일측에는 양각정렬구조(105)가 구비되고 다른 일측에는 상기 양각정렬구조(105)에 대응되는 음각정렬구조(106)가 구비된 것을 특징으로 하는 고폭비 마이크로구조물 제작용 마이크로 몰드
3 3
고폭비 마이크로구조물 형상의 홀(210)을 구비한 분리 마이크로몰드(208)를 제조하는 방법에 있어서, 상기 홀(210)에 대응하는 부분이 제외된 X선 투과부(202)가 분리구조로 형성된 X선 마스크(201)를 준비하는 단계와; 상기 X선 마스크(201)를 X선 감광재(204) 위에 정렬하는 단계와; 현상에 의해 상기 X선 투과부(202) 형상에 대응하는 X선 감광재 부분이 용해되도록 상기 X선 마스크(201)에 X선을 노광하는 단계와; 용해된 X선 감광재 부분(206)에 니켈 또는 니켈 합금을 충전하여 경화시키는 단계와; 용해되지 않은 X선 감광재 부분(207)을 모두 제거하여 니켈 또는 니켈 합금으로 이루어진 마이크로몰드(208)를 완성하는 몰드 취출 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 리가 공정을 이용한 고폭비 마이크로구조물 제작용 분리 마이크로몰드 제조방법
4 4
제3항에 있어서, 상기 X선 투과부(202)는, 분리된 두 개의 반원 형상(209)으로 형성되고, 이들 각각은 상기 홀(210)의 절반 형상이 음각구조로 형성된 것을 특징으로 하는 리가 공정을 이용한 고폭비 마이크로구조물 제작용 분리 마이크로몰드 제조방법
5 5
제4항에 있어서, 상기 반원 형상(209)의 한쪽에는 마이크로 몰드(208)의 정렬을 위한 양각정렬구조(211)가 구비되고, 상기 반원 형상(209)의 다른 한쪽에는 상기 양각정렬구조(211)에 대응하는 음각정렬구조(212)가 구비된 것을 특징으로 하는 리가 공정을 이용한 고폭비 마이크로구조물 제작용 분리 마이크로몰드 제조방법
6 6
제3항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 충전단계는 니켈 또는 니켈 합금을 전기도금하여 충전하는 것을 특징으로 하는 리가 공정을 이용한 고폭비 마이크로구조물 제작용 분리 마이크로몰드 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.