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이중 고폭비를 갖는 마이크로 구조물의 제조장치

  • 기술번호 : KST2015154929
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 각종 센서에 사용되는 높은 고폭비를 갖는 모사(毛絲)형태의 감응소자 등에 사용할 수 있도록 높은 고폭비를 갖는 부분과 낮은 고폭비를 갖는 부분이 일체로 형성된 단일형상의 마이크로 구조물을 제조하기 위한 이중 고폭비를 갖는 마이크로 구조물의 제조장치에 관한 것으로서, 진공환경하에서 몰드의 요철형상을 소재에 전사(轉寫)하여 마이크로미터(㎛) 내지 나노미터(nm) 단위의 미세구조물을 성형하는 마이크로 구조물 제조장치에 있어서, 프레임(1)에 고정 설치되는 프레스다이(press die, 4)와; 프레임에 승강 가능하게 설치되어 프레스다이의 상측에서 상하로 왕복 이동하는 몰드이송부(2)와; 프레스다이 및 몰드이송부에 내장된 가열 및 냉각유닛(8)과; 프레스다이에 장착되고 그 표면에 고폭비(aspect ratio)가 작은 원반형상의 오목형상부를 갖는 고정측 몰드(6)와; 몰드이송부에 장착되고 그 표면에 고폭비가 큰 기둥형상의 오목형상부를 갖는 가동측 몰드(5);를 포함하고, 몰드이송부에 의해 가동측 몰드가 상기 고정측 몰드와 접촉될 때 고정측 몰드의 오목형상부와 가동측 몰드의 오목형상부의 결합에 의해 주위로부터 폐쇄되는 하나의 공동(空洞, 9)을 형성하여, 고폭비가 작은 부분과 고폭비가 큰 부분이 일체로 이루어진 단일 형상의 마이크로 구조물을 형성하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 각 몰드의 접촉면끼리의 맞닿음과 이에 의한 칼날작용에 의해 마이크로미터(㎛) 내지 나노미터(nm) 단위크기의 단일형상 마이크로 구조물을 얻을 수 있다. 마이크로 구조물, 핫엠보스, 몰드 시스템, 핫프레스, 감응소자, 지지구조물, 센서, 고폭비
Int. CL B81C 1/00 (2006.01) B29C 33/00 (2006.01) B81B 7/00 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020090000648 (2009.01.06)
출원인 국방과학연구소
등록번호/일자 10-1068844-0000 (2011.09.23)
공개번호/일자 10-2010-0081418 (2010.07.15) 문서열기
공고번호/일자 (20110929) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.01.06)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 국방과학연구소 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 권태헌 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 이현섭 대한민국 경상북도 포항시 남구
3 조치영 대한민국 경상남도 진해시
4 조요한 대한민국 경상남도 진해시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인원전 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 풍림빌딩 *층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 국방과학연구소 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.01.06 수리 (Accepted) 1-1-2009-0004705-87
2 [공지예외적용대상(신규성, 출원시의 특례)증명서류]서류제출서
[Document Verifying Exclusion from Being Publically Known (Novelty, Special Provisions for Application)] Submission of Document
2009.01.07 수리 (Accepted) 1-1-2009-5000650-10
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.12.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0592525-16
4 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.02.23 수리 (Accepted) 1-1-2011-5005233-04
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.03.24 수리 (Accepted) 1-1-2011-5008579-00
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.04.25 수리 (Accepted) 1-1-2011-0306116-58
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.05.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0387165-17
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.05.24 수리 (Accepted) 1-1-2011-0387168-43
9 등록결정서
Decision to grant
2011.09.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0534831-68
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2013-0033275-90
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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진공환경하에서 몰드의 요철형상을 소재에 전사(轉寫)하여 마이크로미터(㎛) 내지 나노미터(nm) 단위의 미세구조물을 성형하는 마이크로 구조물 제조장치에 있어서, 프레임(1)에 고정 설치되는 프레스다이(press die, 4)와; 상기 프레임(1)에 승강 가능하게 설치되어 상기 프레스다이(4)의 상측에서 상하로 왕복 이동하는 몰드이송부(2)와; 상기 프레스다이(4) 및 몰드이송부(2)에 내장된 가열 및 냉각유닛(8)과; 상기 프레스다이(4)에 장착되고 그 표면에 고폭비(aspect ratio)가 작은 원반형상의 오목형상부를 갖는 고정측 몰드(6)와; 상기 몰드이송부(2)에 장착되고 그 표면에 고폭비가 큰 기둥형상의 오목형상부를 갖는 가동측 몰드(5);를 포함하고, 상기 몰드이송부(2)에 의해 상기 가동측 몰드(5)가 상기 고정측 몰드(6)와 접촉될 때 상기 고정측 몰드(6)의 오목형상부와 상기 가동측 몰드(5)의 오목형상부의 결합에 의해 주위로부터 폐쇄되는 하나의 공동(空洞, 9)을 형성하여, 고폭비가 작은 부분과 고폭비가 큰 부분이 일체로 이루어진 단일 형상의 마이크로 구조물을 형성하는 것을 특징으로 하는 이중 고폭비를 갖는 마이크로 구조물의 제조장치
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제1항에 있어서, 상기 고정측 몰드(6) 및 상기 가동측 몰드(5) 중 어느 하나의 몰드의 접촉면과 만나는 나머지 몰드의 오목형상부의 에지(edge)를 따라 그 몰드의 면으로부터 예리하게 돌출된 에지부가 형성되는 것을 특징으로 하는 이중 고폭비를 갖는 마이크로 구조물의 제조장치
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