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링과, 상기 링의 중심에 위치하는 앵커 및 상기 링을 상기 앵커에 탄성적으로 지지하는 탄성연결부가 일체형으로 형성된 진동 구조체;
상기 진동 구조체의 주위에 형성되는 복수의 전극; 및
상기 진동 구조체의 최대변위 발생위치에 형성되는 질량결함부를 포함하고,
상기 질량결함부는 상기 링 상에 90도 간격으로 형성된 것을 특징으로 하는 MEMS 링 자이로스코프
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제1항에 있어서,
상기 질량결함부는 상기 링을 관통하는 관통홀 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 MEMS 링 자이로스코프
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제3항에 있어서,
상기 질량결함부는 2~10㎛의 직경을 갖도록 형성된 것을 특징으로 하는 MEMS 링 자이로스코프
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제1항에 있어서,
상기 질량결함부는 상기 최대변위 발생위치에서의 질량의 증가를 수반하는 것을 특징으로 하는 MEMS 링 자이로스코프
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제5항에 있어서,
상기 질량결함부는 실리콘, 금속 또는 금속박막에 의해 구현되는 것을 특징으로 하는 MEMS 링 자이로스코프
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7
진동 구조체의 최대변위를 형성시키고자 하는 부위를 포함하여 전극을 배치시키는 단계; 및
상기 진동 구조체의 최대변위가 발생되는 부위에 질량결함부를 형성시키는 단계를 포함하되,
상기 진동 구조체는,
링과, 상기 링의 중심에 위치하는 앵커 및 상기 링을 상기 앵커에 탄성적으로 지지하는 탄성연결부를 포함하고, 상기 질량결함부는 상기 링 상에 90도 간격으로 형성된 것을 특징으로 하는 MEMS 링 자이로스코프의 진동축 정렬방법
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10
제7항에 있어서,
상기 질량결함부는 상기 링을 관통하는 관통홀 형태로 형성시키는 것을 특징으로 하는 MEMS 링 자이로스코프의 진동축 정렬방법
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11
제7항에 있어서,
상기 질량결함부는 2~10㎛의 직경을 갖도록 형성시키는 것을 특징으로 하는 MEMS 링 자이로스코프의 진동축 정렬방법
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12
제7항에 있어서,
상기 질량결함부는 상기 최대변위 발생위치에서의 질량의 증가를 수반시키는 것을 특징으로 하는 MEMS 링 자이로스코프의 진동축 정렬방법
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13
제12항에 있어서,
상기 질량결함부는 실리콘, 금속 또는 금속박막에 의해 구현시키는 것을 특징으로 하는 MEMS 링 자이로스코프의 진동축 정렬방법
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