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불안정형 레이저 공진기와 광축정렬부 및 광집속장치를 포함하는 레이저 발진 시스템에서의 불안정형 레이저 공진기와 광집속장치의 광축 정렬방법으로서,
a) 상기 광축정렬부에 위치하는 레이저 발광원으로부터 가시광 레이저를 발진시켜 폴딩 미러 → 광속확대기 → 반사미러 → 광집속장치 정렬미러쌍 → 광집속장치를 통과하여 조준위치까지 전송하여 광축을 정렬하는 단계;
b) 상기 레이저 발광원으로부터 상기 조준위치까지 광축이 정렬된 상태에서 광축정렬용 광학부품을 광경로상에 위치시키고, 상기 광속확대기를 거쳐 확대된 레이저빔의 일부를 상기 광축정렬용 광학부품을 통하여 시준기로 입사시켜 시준기를 정렬하는 단계;
c) 상기 광축정렬용 광학부품을 광경로에서 분리시킨 후, 상기 시준기의 자체광을 상기 광축정렬용 광학부품을 통하여 광축 기준미러에 도달시키고, 상기 광축 기준미러로부터의 반사광을 상기 광축정렬용 광학부품을 통하여 다시 시준기로 입사시켜 상기 광축 기준미러를 조정하는 단계;
d) 상기 반사미러를 제거한 후, 상기 레이저 발광원으로부터의 레이저빔을 복수의 폴딩 미러를 이용하여 불안정형 레이저 공진기에 입사시키고, 불안정형 레이저 공진기에 의해 공진하여 출력되는 레이저빔을 공진기 정렬미러쌍으로 조정하여 상기 광집속장치를 통과하여 상기 조준위치까지 도달하도록 하여 광축을 정렬하는 단계;
e) 상기 불안정형 레이저 공진기로부터 상기 조준위치까지의 광경로상에 상기 광축정렬용 광학부품이 없는 상태로 유지하고, 그 상태에서 상기 불안정형 레이저 공진기에서 고출력의 레이저를 발진시켜 조준위치로 레이저 에너지를 전달하는 단계;
f) 다시 광축을 정렬할 때에는, 광경로상에서 상기 광축정렬용 광학부품을 분리시킨 상태에서 상기 시준기의 자체광을 이용하여 상기 광축 기준미러에 시준기를 정렬한 후, 상기 광축정렬용 광학부품을 광경로상에 위치시키고, 상기 반사미러를 광경로상에 재설치하여 시준기에 광축을 정렬하는 단계; 및
g) 상기 단계 f)이후, 상기 불안정형 레이저 공진기로부터 레이저를 발진할 때마다 상기 단계 d)∼f)를 반복적으로 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 발진 시스템에서의 불안정형 레이저 공진기와 광집속장치의 광축 정렬방법
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제1항에 있어서,
상기 단계 a)에서, 광축을 정렬할 때마다 항상 동일한 위치로 광축을 정렬하기 위하여 상기 반사미러와 상기 광집속장치 정렬미러쌍 사이에 레이저빔의 통과를 위한 관통공(aperture)이 각각 형성되어 있는 2개의 플레이트를 상호 소정 간격 이격하여 더 설치하는 것을 특징으로 하는 레이저 발진 시스템에서의 불안정형 레이저 공진기와 광집속장치의 광축 정렬방법
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제1항에 있어서,
상기 단계 b)에서, 상기 광축정렬용 광학부품으로 코너큐브 프리즘(corner cube prism)이 사용되는 것을 특징으로 하는 레이저 발진 시스템에서의 불안정형 레이저 공진기와 광집속장치의 광축 정렬방법
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제3항에 있어서,
상기 시준기의 정렬은 시준기로 입사된 상기 확대된 레이저빔의 일부가 시준기의 망선 중앙에 오도록 함으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 레이저 발진 시스템에서의 불안정형 레이저 공진기와 광집속장치의 광축 정렬방법
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제1항에 있어서,
상기 단계 c)에서, 상기 광축 기준미러의 조정은 상기 광축 기준미러로부터의 반사광이 상기 시준기의 망선 중앙에 오도록 함으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 레이저 발진 시스템에서의 불안정형 레이저 공진기와 광집속장치의 광축 정렬방법
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제5항에 있어서,
상기 광축 기준미러의 미러면은 상기 단계 a)에서의 상기 조준위치까지 정렬된 확대 레이저빔과 동일한 광축정렬의 기준으로 설정되는 것을 특징으로 하는 레이저 발진 시스템에서의 불안정형 레이저 공진기와 광집속장치의 광축 정렬방법
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제1항에 있어서,
상기 단계 d)에서, 광축 정렬상태를 확인하기 위하여, 상기 광축정렬용 광학부품을 광경로상에 위치시키고, 상기 불안정형 레이저 공진기로부터의 출력 레이저빔의 일부를 광축정렬용 광학부품을 거쳐 상기 시준기에 도달시켜, 시준기에서 광축정렬을 확인하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 발진 시스템에서의 불안정형 레이저 공진기와 광집속장치의 광축 정렬방법
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