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중심 영역에 사각 형상의 캐비티 영역이 형성된 기판;
상기 캐비티 영역에 십(十)자 형상의 소정 간격을 두고 위치하는 4개의 사각 형상의 구동 반사경;
상기 캐비티 영역의 각 모서리와 상기 각 모서리에 인접한 각 구동 반사경의 제1모서리를 연결하기 위한 구동 압전 캔틸레버;
상기 구동 반사경의 서로 대향하는 제2모서리 및 제3모서리와 상기 기판의 인접 부위를 각각 연결하기 위한 고정 압전 캔틸레버;
상기 십자 형상의 소정 간격 상에 상기 기판의 일면에 수직한 방향으로 형성되며 소정의 돌출부를 구비하는 고정 반사경 및
상기 돌출부와 결합하여 상기 고정 반사경을 상기 기판에 고정시키도록 상기 기판 상에 형성되는 홀더를 포함하는 코너 큐브형 역반사기
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제1항에 있어서,
상기 구동 압전 캔틸레버는 상기 구동 반사경의 제1모서리에 제1힌지를 통해 연결되고,
상기 고정 압전 캔틸레버는 상기 구동 반사경의 제2모서리 및 제3모서리에 제2힌지 및 제3힌지를 통해 각각 연결되는 것을 특징으로 하는 코너 큐브형 역반사기
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3
제2항에 있어서,
상기 제1힌지, 제2힌지 및 제3힌지는 미앤더(meander) 타입 힌지 또는 스트레이트(straight) 타입 힌지인 것을 특징으로 하는 코너 큐브형 역반사기
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4
제3항에 있어서,
상기 구동 압전 캔틸레버는 각각 개별적으로 구동되는 것을 특징으로 하는 코너 큐브형 역반사기
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5
기판의 제1면 및 제2면 상에 실리콘 질화물 막을 형성하는 단계;
상기 제1면 상에 형성된 실리콘 질화물 막 상에 하부 전극 물질, 압전 물질 및 상부 전극 물질을 순서대로 형성하는 단계;
상기 하부 전극 물질, 압전 물질 및 상부 전극 물질을 식각하여 구동 압전 캔틸레버와 고정 압전 캔틸레버를 형성하는 단계;
상기 제1면 상에 형성된 실리콘 질화물 막 상에 구동 반사경의 반사율을 증가시키기 위한 금속 박막을 형성하는 단계;
상기 기판의 소정 중심 영역에 4 개의 사각 형상의 구동 반사경이 십자 형상의 소정 간격을 두고 형성될 수 있도록 상기 제2면을 건식 식각하는 단계;
상기 기판의 제1면 상에 홀더를 형성하는 단계;
상기 건식 식각된 중심 영역의 제2면에서 식각하여 캐비티를 형성하여 상기 구동 반사경, 상기 구동 압전 캔틸레버 및 고정 압전 캔틸레버를 릴리스시키는 단계를 포함하는 코너 큐브형 역반사기의 구동 반사경 구조체의 제조 방법
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제5항에 있어서,
상기 건식 식각된 중심 영역을 식각하여 캐비티를 형성하여 상기 구동 반사경, 상기 구동 압전 캔틸레버 및 고정 압전 캔틸레버를 릴리스시키는 단계는,
상기 중심 영역을 습식 식각 또는 건식 식각하여 캐비티를 형성하는 것을 특징으로 하는 코너 큐브형 역반사기의 구동 반사경 구조체의 제조 방법
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7
제6항에 있어서,
상기 건식 식각된 중심 영역을 식각하여 캐비티를 형성하여 상기 구동 반사경, 상기 구동 압전 캔틸레버 및 고정 압전 캔틸레버를 릴리스시키는 단계는,
상기 중심 영역을 습식 식각하여 캐비티를 형성하는 경우, KOH 방식 또는 TMAH 방식을 이용하여 습식 식각하는 것을 특징으로 하는 코너 큐브형 역반사기의 구동 반사경 구조체의 제조 방법
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8
제7항에 있어서,
상기 건식 식각된 중심 영역을 식각하여 캐비티를 형성하여 상기 구동 반사경, 상기 구동 압전 캔틸레버 및 고정 압전 캔틸레버를 릴리스시키는 단계는,
상기 중심 영역을 건식 식각하여 캐비티를 형성하는 경우, DRIE 방식을 이용하여 건식 식각하는 것을 특징으로 하는 코너 큐브형 역반사기의 구동 반사경 구조체의 제조 방법
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9
제8항에 있어서,
상기 기판의 제1면 및 제2면 상에 실리콘 질화물 막을 형성하는 단계는,
저압 화학 기상 증착법에 의해 저응력 질화물 막을 형성하는 것을 특징으로 하는 코너 큐브형 역반사기의 구동 반사경 구조체의 제조 방법
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10
제9항에 있어서,
상기 제1면 상에 형성된 실리콘 질화물 막 상에 하부 전극 물질, 압전 물질, 상부 전극 물질을 순서대로 형성하는 단계는,
티타늄/백금 또는 백금을 스퍼터링하여 하부 전극 물질 또는 상부 전극 물질을 형성하는 것을 특징으로 하는 코너 큐브형 역반사기의 구동 반사경 구조체의 제조 방법
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11
제10항에 있어서,
상기 제1면 상에 형성된 실리콘 질화물 막 상에 하부 전극 물질, 압전 물질, 상부 전극 물질을 순서대로 형성하는 단계는,
납-지르코늄-티타늄 복합 산화물 박막을 졸-겔 방식으로 증착하여 형성하는 것을 특징으로 하는 코너 큐브형 역반사기의 구동 반사경 구조체의 제조 방법
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제11항에 있어서,
상기 제1면 상에 형성된 실리콘 질화물 막 상에 구동 반사경의 반사율을 증가시키기 위한 금속 박막을 형성하는 단계는,
금, 백금, 알루미늄 중 어느 하나를 리프트-오프 방식으로 증착하는 것을 특징으로 하는 코너 큐브형 역반사기의 구동 반사경 구조체의 제조 방법
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13
제12항에 있어서,
상기 기판의 제1면 상에 홀더를 형성하는 단계는,
Su-8 물질 또는 CAR44 물질을 이용하여 홀더를 형성하는 것을 특징으로 하는 코너 큐브형 역반사기의 구동 반사경 구조체의 제조 방법
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14
기판의 제1면 상에 SOI 층을 형성하는 단계;
상기 형성된 SOI 층 상에 하부 전극 물질, 압전 물질 및 상부 전극 물질을 순서대로 형성하는 단계;
상기 하부 전극 물질, 압전 물질 및 상부 전극 물질을 식각하여 구동 압전 캔틸레버와 고정 압전 캔틸레버를 형성하는 단계;
상기 제1면 상에 형성된 SOI 층 상에 구동 반사경의 반사율을 증가시키기 위한 금속 박막을 형성하는 단계;
상기 기판의 소정 중심 영역에 4 개의 사각 형상의 구동 반사경이 십자 형상의 소정 간격을 두고 형성될 수 있도록 상기 기판의 제2면을 건식 식각하는 단계;
상기 SOI 층 상에 홀더를 형성하는 단계;
상기 건식 식각된 중심 영역의 제2면에서 식각하여 캐비티를 형성하는 단계 및
상기 구동 반사경, 상기 구동 압전 캔틸레버와 고정 압전 캔틸레버를 릴리스시키는 단계를 포함하는 코너 큐브형 역반사기의 구동 반사경 구조체의 제조 방법
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15
제14항에 있어서,
상기 건식 식각된 중심 영역을 식각하여 캐비티를 형성하여 상기 구동 반사경, 상기 구동 압전 캔틸레버 및 고정 압전 캔틸레버를 릴리스시키는 단계는,
상기 중심 영역을 습식 식각 또는 건식 식각하여 캐비티를 형성하는 것을 특징으로 하는 코너 큐브형 역반사기의 구동 반사경 구조체의 제조 방법
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16
제15항에 있어서,
상기 건식 식각된 중심 영역을 식각하여 캐비티를 형성하여 상기 구동 반사경, 상기 구동 압전 캔틸레버 및 고정 압전 캔틸레버를 릴리스시키는 단계는,
상기 중심 영역을 습식 식각하여 캐비티를 형성하는 경우, KOH 방식 또는 TMAH 방식을 이용하여 습식 식각하는 것을 특징으로 하는 코너 큐브형 역반사기의 구동 반사경 구조체의 제조 방법
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17
제16항에 있어서,
상기 건식 식각된 중심 영역을 식각하여 캐비티를 형성하여 상기 구동 반사경, 상기 구동 압전 캔틸레버 및 고정 압전 캔틸레버를 릴리스시키는 단계는,
상기 중심 영역을 건식 식각하여 캐비티를 형성하는 경우, DRIE 방식을 이용하여 건식 식각하는 것을 특징으로 하는 코너 큐브형 역반사기의 구동 반사경 구조체의 제조 방법
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18
제17항에 있어서,
상기 기판의 제1면 상에 SOI 층을 형성하는 단계는,
화학 기계적 연마 공정으로 SOI 층을 형성하는 것을 특징으로 하는 코너 큐브형 역반사기의 구동 반사경 구조체의 제조 방법
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제18항에 있어서,
상기 형성된 SOI 층 상에 하부 전극 물질, 압전 물질 및 상부 전극 물질을 순서대로 형성하는 단계는,
티타늄/백금 또는 백금을 스퍼터링하여 하부 전극 물질 또는 상부 전극 물질을 형성하는 것을 특징으로 하는 코너 큐브형 역반사기의 구동 반사경 구조체의 제조 방법
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제19항에 있어서,
상기 형성된 SOI 층 상에 하부 전극 물질, 압전 물질 및 상부 전극 물질을 순서대로 형성하는 단계는,
납-지르코늄-티타늄 복합 산화물 박막을 졸-겔 방식으로 증착하여 형성하는 것을 특징으로 하는 코너 큐브형 역반사기의 구동 반사경 구조체의 제조 방법
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제20항에 있어서,
상기 제1면 상에 형성된 SOI 층 상에 구동 반사경의 반사율을 증가시키기 위한 금속 박막을 형성하는 단계는,
금, 백금, 알루미늄 중 어느 하나를 리프트-오프 방식으로 증착하는 것을 특징으로 하는 코너 큐브형 역반사기의 구동 반사경 구조체의 제조 방법
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제21항에 있어서,
상기 SOI 층 상에 홀더를 형성하는 단계는,
Su-8 물질 또는 CAR44 물질을 이용하여 홀더를 형성하는 것을 특징으로 하는 코너 큐브형 역반사기의 구동 반사경 구조체의 제조 방법
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