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처리대상물을 수용하여 그 대상물의 표면에 오염된 화학 작용제 또는 생물학 작용제를 처리하기 위한 처리챔버(10); 상기 처리챔버(10)의 입구(11)와 출구(12) 사이에 유체가 순환될 수 있도록 폐회로 형태로 연결 설치된 제1 유체공급라인(L1)과 제2 유체공급라인(L2); 상기 제1유체공급라인을 통해 상기 처리챔버(10) 내부로 제1 유체로서 산화성 과산화물 증기를 운반체인 공기와 함께 순환 공급하도록 제1유체공급라인에 설치된 과산화물증기공급기; 상기 제2 유체공급라인(L2)에 설치되어 제2 유체로서 공기 플라즈마를 과산화물증기공급기 후단측을 통해 상기 처리챔버(10)로 공급하도록 상기 처리챔버(10)의 출구(12)로부터 배출되는, 과산화물 증기, 수증기, 및 공기로 이루어진 공기 혼합물 배출량의 일정 부분을 플라즈마화하여 플라즈마 활성종과 활성라디칼을 포함하는 공기 플라즈마를 발생시키는 대기압 저온 공기 플라즈마 반응기(70); 을 포함하며, 상기 제2 유체공급라인(L2)은 상기 처리챔버(10)의 출구(12)측의 제1 유체공급라인(L1)으로부터 분기되어 상기 과산화물증기공급기 후단에 연결 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 화학 작용제 또는 생물학 작용제의 처리장치
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제1항에 있어서,상기 처리챔버(10) 내에 상기 산화성 과산화물 증기의 pH를 조절하기 위한 질소함유 염기성 가스를 공급하는 질소함유 염기성 가스공급원(50)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 작용제 또는 생물학 작용제의 처리장치
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제3항에 있어서,상기 공기 혼합물은 질소함유 염기성 가스를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 작용제 또는 생물학 작용제의 처리장치
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제1항에 있어서,상기 과산화물증기공급기는 산화성 과산화물 수용액을 공급하는 과산화물수용액공급원(30)과 과산화물수용액공급원(30)에 연결되어 산화성 과산화물 수용액을 가열하여 기화시키는 기화기(40)를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 작용제 또는 생물학 작용제의 처리장치
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제3항에 있어서,상기 질소함유 염기성 가스공급원(50)은 상기 과산화물증기공급기와 상기 처리챔버(10) 사이에 설치된 유체혼합기(60)에 연결되거나 처리챔버(10)에 직접 연결되어 있고,상기 질소함유 염기성 가스 공급원(50)과 상기 유체혼합기(60) 사이의 경로에는 질소함유 염기성 가스의 유량을 조절하기 위한 유량계가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 화학 작용제 또는 생물학 작용제의 처리장치
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제5항에 있어서,상기 과산화물수용액공급원(30)과 기화기(40) 사이의 경로에는, 산화성 과산화물 수용액의 유량을 조절하기 위한 유량계가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 화학 작용제 또는 생물학 작용제의 처리장치
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제1항에 있어서,상기 제2 유체공급라인(L2)에는, 운반기체인 공기만 순환하여 처리챔버 내부의 상대습도를 조절하는 제습기(80)가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 화학 작용제 또는 생물학 작용제의 처리장치
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제1항에 있어서,상기 대기압 저온 공기 플라즈마 반응기(70)의 전단과 상기 과산화물증기공급기의 전단에는 공기 또는 공기 혼합물을 송풍하기 위한 송풍기(100)가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 화학 작용제 또는 생물학 작용제의 처리장치
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제1항에 있어서,상기 대기압 저온 공기 플라즈마 반응기(70)는 유전체장벽 방전을 일으키는 두 개의 전극이 있으며 이 중 적어도 하나에는 유전물질이 코팅되어 있거나 두 전극 사이에 흡착제 또는 촉매물질이 충전되어 있는 것을 특징으로 하는 화학 작용제 또는 생물학 작용제의 처리장치
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제10항에 있어서,상기 대기압 저온 공기 플라즈마 반응기(70)는 두 개의 평판형 전극으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 화학 작용제 또는 생물학 작용제의 처리장치
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제10항에 있어서,상기 대기압 저온 공기 플라즈마 반응기(70)는 동축형 외부전극과 심재형의 내부 전극으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 화학 작용제 또는 생물학 작용제의 처리장치
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제10항에 있어서, 상기 두 전극 사이에 충전되는 촉매물질의 형태는 촉매물질을 코팅한 일체형의 세라믹 허니컴이거나 구슬형, 펠릿형 또는 과립형 집합체 중 하나인 것을 특징으로 하는 화학 작용제 또는 생물학 작용제의 처리장치
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제13항에 있어서,상기 촉매물질은 금속산화물에 Pt, Pd, Rh, Ru 등의 귀금속이 담지된 것, 금속산화물에 CrOx, CuOx 등의 전이금속 산화물이 담지된 것, 제올라이트 13X 등의 분자체, 또는 TiO2, ZrO2, MgO 등의 반도체 중에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 화학 작용제 또는 생물학 작용제의 처리장치
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제1항에 있어서,상기 화학 작용제 또는 생물학 작용제는 전쟁용 화학 가스나 농약으로 사용가능한 유기인계 화합물, 황 또는 질소 함유 화합물, 시안계 화합물, 염소나 불소 함유 화합물, 또는 생물무기로 사용될 수 있는 병원성 박테리아나 바이러스 및 독소 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 작용제 또는 생물학 작용제의 처리장치
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제1항, 제3항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서,상기 과산화물은 과산화 수소인 것을 특징으로 하는 화학 작용제 또는 생물학 작용제의 처리장치
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제3항, 제4항 또는 제6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 질소함유 염기성 가스는 암모니아인 것을 특징으로 하는 화학 작용제 또는 생물학 작용제의 처리장치
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(a) 처리챔버 내에 화학 작용제 또는 생물학 작용제로 오염된 처리대상물을 넣고 시스템을 밀폐시킨 후에, 운반기체인 공기만을 순환시켜 처리챔버 내부의 상대습도를 조절하는 안정화 단계;(b) 상기 안정화 단계(a) 종료 후, 과산화물수용액을 기화시킨 산화성 과산화물 증기를 처리챔버 내부로 순환 공급함으로써 과산화물 증기 일부가 처리대상물의 표면 및 상기 처리챔버 내부 표면에서 응축이 되도록 하여 제독 또는 살균하는 처리 단계; 및(c) 상기 처리 단계(b) 종료 후, 처리챔버의 출구로부터 배출되는 과산화물 증기, 수증기 및 공기로 이루어지는 공기 혼합물 배출량의 일정부분을 대기압 저온 공기 플라즈마 반응기를 통해 플라즈마화하여 플라즈마 활성종과 활성라디칼을 포함하는 공기 플라즈마에 의하여 상기 처리대상물의 표면 및 상기 처리챔버 내부를 추가로 처리함과 함께 상기 처리챔버 내에 잔류하는 과산화물을 포함한 유독성 물질을 무독성 물질로 분해 처리하는 후처리 단계;를 포함하며,상기 처리 단계(b)는 상기 대기압 저온 공기 플라즈마 반응기를 작동하여 발생되는 플라즈마 활성종과 활성라디칼을 상기 과산화물 증기와 함께 상기 처리챔버로 공급하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 작용제 또는 생물학 작용제의 처리방법
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제19항에 있어서,상기 처리 단계(b)는 상기 처리챔버에 질소함유 염기성 가스를 공급하여 처리챔버에 공급되는 상기 과산화물 증기의 pH를 조절하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 작용제 또는 생물학 작용제의 처리방법
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제19항에 있어서,상기 처리 단계(b)에서 응축이 된 후에는 과산화물 증기의 공급을 중지하고 운반기체인 공기만 순환시키는 것을 특징으로 하는 화학 작용제 또는 생물학 작용제의 처리방법
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제19항에 있어서,상기 과산화물 증기와 상기 공기 혼합물을 상기 처리챔버로 공급하기 직전에 상기 과산화물 증기와 상기 공기 혼합물의 온도를 55～65℃의 범위로 조절하는 것을 특징으로 하는 화학 작용제 또는 생물학 작용제의 처리방법
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제19항, 제21항 내지 제23항 중 어느 한 항에 있어서,상기 과산화물은 과산화수소인 것을 특징으로 하는 화학 작용제 또는 생물학 작용제의 처리방법
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제21항에 있어서,상기 질소함유 염기성 가스는 암모니아인 것을 특징으로 하는 화학 작용제 또는 생물학 작용제의 처리방법
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제19항에 있어서,상기 화학 작용제 또는 생물학 작용제는 전쟁용 화학 가스나 농약으로 사용가능한 유기인계 화합물, 황 또는 질소 함유 화합물, 시안계 화합물, 염소나 불소 함유 화합물, 또는 생물무기로 사용될 수 있는 병원성 박테리아나 바이러스 및 독소 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 작용제 또는 생물학 작용제의 처리방법
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