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두 개의 마그네트 조립체 사이에 설치되고, 토커코일 및 토커코일패드를 포함하는 진자 조립체를 구비하는 실리콘 진자 조립체 내장형 가속도계에 있어서,상기 진자 조립체는,입력 가속도에 대해 직선 운동이 유지되도록 마그네트 조립체의 구동력 중심과 무게중심을 일치시키기 위한 관통창이 형성된 진자판을 구비한 것을 특징으로 하는 환산계수 선형성을 향상시킨 실리콘 진자 조립체 내장형 가속도계
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제 1 항에 있어서,진자판의 중앙에는, 조립 정밀도의 향상을 위해, 토커코일과 토커코일패드를 접합시킬 때 정렬 기준이 되는 정렬홀이 형성된 것을 특징으로 하는 환산계수 선형성을 향상시킨 실리콘 진자 조립체 내장형 가속도계
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,마그네트 조립체를 구성하는 상/하부 마그네트하우징의 진자 조립체와 대향되는 면에는, 전기적 절연을 위해, 절연링이 설치된 것을 특징으로 하는 환산계수 선형성을 향상시킨 실리콘 진자 조립체 내장형 가속도계
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제 3 항에 있어서,상/하부 마그네트하우징은, "ㄷ"형 단면을 갖는 체결링에 의해 결합되는 것을 특징으로 하는 환산계수 선형성을 향상시킨 실리콘 진자 조립체 내장형 가속도계
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