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변형 가능한 다수개의 박막;상기 다수개의 박막이 나열되어 각각의 박막길이방향 양단이 고정된 박막지지프레임;상기 다수개의 박막 아래 수직하게 배치된 다수개의 지지보;상기 지지보의 하단이 고정되어지고, 상하 이동 가능한 지지프레임;을 포함하며,상기 박막이 상기 지지보와 접촉하도록 변형됨에 따라, 측정하고자 하는 기체의 흡수스펙트럼과 동일한 반사광 회절 스펙트럼을 유도할 수 있는 상기 박막의 깊이 프로파일을 형성하는 것을 특징으로 하는 구동형 마이크로 그레이팅에 있어서,다수개의 지지프레임이 적층되어 상기 박막지지프레임 하단에 위치된 것을 특징으로 하는 구동형 마이크로 그레이팅
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제1항에 있어서,적층된 상기 다수개의 지지프레임에 고정된 상기 지지보의 높이는 형성하고자 하는 상기 박막의 깊이 프로파일에 따라 결정된 것을 특징으로 하는 구동형 마이크로 그레이팅
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제1항에 있어서,상기 박막과 상기 지지보 사이에 정전기력을 부가할 수 있는 전원제어부가 구비된 것을 특징으로 하는 구동형 마이크로 그레이팅
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제4항에 있어서,상기 전원제어부는상기 박막과 상기 박막지지프레임의 상단부에 형성된 금속층과,상기 지지프레임 및 상기 지지보의 표면에 형성된 전도성 금속층을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 구동형 마이크로 그레이팅
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제1항에 있어서,상기 지지프레임의 상하 이동 높이를 제어하는 높이 제어부가 구비된 것을 특징으로 하는 구동형 마이크로 그레이팅
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제1항에 있어서,상기 박막지지프레임은 사각틀로써, 상기 박막의 상면부가 상기 박막지지프레임의 상면부와 수평하도록 그 내측에 고정된 것을 특징으로 하는 구동형 마이크로 그레이팅
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제7항에 있어서, 상기 지지프레임은 상기 박막과 수직 격자를 이루는 보강바가 그 내부에 구비된 것을 특징으로 하는 구동형 마이크로 그레이팅
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제7항에 있어서,상기 지지보가 상기 박막의 길이방향 양측에 수직하게 위치되도록 상기 지지프레임에 대칭으로 장착된 것을 특징으로 하는 구동형 마이크로 그레이팅
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제7항에 있어서,보강바에 상기 지지보가 장착된 것을 특징으로 하는 구동형 마이크로 그레이팅
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특정 기체의 스펙트럼을 분석하기 위해서 청구항 제1항, 제3항 내지 제10항 중 어느 한 항의 구동형 마이크로 그레이팅이 구비된 적외선 상관 분광기
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