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개방부가 형성된 챔버 내에 가열 또는 온도 측정의 대상물이 수납 및 유지되도록 상기 개방부를 덮는 형태로 설치되며 상기 개방부보다 큰 면적의 유리 박막; 및상기 유리 박막에서 상기 개방부의 대향면 상에 형성되며 양단은 적어도 상기 챔버에 덮혀지는 부분까지 연장되어 외부 회로에 연결되는 인쇄 코일;을 포함하고,상기 유리 박막은 상기 인쇄코일이 형성된 면의 반대쪽 면을 CMP(Chemical Mechanical Polishing) 공정에 의해 원하는 두께까지 연마한 것을 특징으로 하는 마이크로 코일
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평평한 일면에 개방부가 형성된 챔버층 내에 가열 또는 온도 측정의 대상물이 수납 및 유지되도록 상기 개방부를 덮는 형태로 설치되며 상기 개방부보다 큰 면적을 갖는 평면 형태의 유리 박막; 및상기 유리 박막에서 상기 개방부의 대향면 상에 형성되며 양단은 적어도 상기 챔버층에 덮혀지는 부분까지 연장되어 외부 회로에 연결되는 인쇄 코일;을 포함하고,상기 유리 박막은 상기 인쇄코일이 형성된 면의 반대쪽 면을 CMP(Chemical Mechanical Polishing) 공정에 의해 원하는 두께까지 연마한 것을 특징으로 하는 마이크로 코일
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 외부 회로는,상기 대상물이 가열의 대상물이면 전열 회로이고,상기 대상물이 온도 측정의 대상물이면 온도 측정 회로인 것을 특징으로 하는 마이크로 코일
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 대상물은 로켓 추진제이고,상기 외부 회로는 점화 회로인 것을 특징으로 하는 마이크로 코일
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삭제
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챔버층의 평평한 일면에 형성된 개방부보다 큰 면적을 갖는 판형의 감광 유리 웨이퍼에서 상기 개방부의 대향면 상에 PR(photoresist)층을 도포하는 단계;인쇄 코일의 형상이 패터닝된 마스크를 사용하여 상기 PR층을 노광하는 단계;상기 PR층에서 노광된 영역을 식각하기 위해 상기 감광 유리 웨이퍼를 현상액에서 현상하는 단계;상기 현상된 감광 유리 웨이퍼 상에 상기 인쇄 코일의 재료가 되는 제1 금속을 상기 PR층의 두께 이하로 적층시키는 스퍼터링 단계; 상기 스퍼터링된 감광 유리 웨이퍼에서 PR층을 박리하는 리프트 오프(lift off) 단계; 및상기 감광 유리 웨이퍼에서 상기 인쇄코일이 형성된 면의 반대쪽 면을 CMP 공정에 의해 원하는 두께까지 연마하는 단계;를 포함하는 마이크로 코일 제조 방법
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제 6 항에 있어서,상기 노광 단계는 365nm 파장의 UV(ultraviolet)로 노광하는 것을 특징으로 하는 마이크로 코일 제조 방법
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제 6 항에 있어서,상기 스퍼터링 단계는 접착력 증대를 위한 제2 금속으로 얇은 제2 금속층을 형성한 후 상기 제2 금속층 상에 제1 금속을 증착하여 제1 금속층을 형성하는 것을 특징으로 하는 마이크로 코일 제조 방법
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제 8 항에 있어서,상기 제2 금속층과 상기 제1 금속층이 함께 형성하는 이중 금속층의 두께는 상기 PR의 두께 이하인 것을 특징으로 하는 마이크로 코일 제조 방법
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제 6 항에 있어서,상기 리프트 오프 단계에서 이루어지는 PR층의 박리는 상기 스퍼터링된 감광 유리 웨이퍼을 아세톤 용액에 담금으로써 수행되는 것을 특징으로 하는 마이크로 코일 제조 방법
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제 6 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 리프트 오프 단계 이후에,상기 PR층이 박리된 감광 유리 웨이퍼에서 상기 인쇄 코일이 형성된 면을 상기 챔버층의 평평한 일면을 향하도록 하여 상기 감광 유리 웨이퍼와 상기 챔버층을 접착하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 코일 제조 방법
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제 11 항에 있어서,상기 접착 단계는,상기 접착에 사용되는 UV 경화제가 상기 개방부로 유입되는 것을 방지하기 위해 상기 챔버층에서 상기 개방부를 마스크하는 단계;상기 챔버층에서 상기 개방부가 형성된 평평한 면에 UV 경화제를 도포하는 단계;상기 마스크를 분리하는 단계;상기 마스크가 분리된 챔버층의 개방부가 형성된 평평한 면에 인쇄 코일이 형성된 면이 접하도록 상기 PR층이 박리된 감광 유리 웨이퍼와 상기 챔버층을 정렬하는 단계; 및상기 UV 경화제가 경화되도록 UV를 노광하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 코일 제조 방법
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제 12 항에 있어서,상기 UV 경화제가 경화되도록 노광되어지는 UV는 365nm 파장인 것을 특징으로 하는 마이크로 코일 제조 방법
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제 12 항에 있어서,상기 챔버층은 파이렉스(Pyrex), 감광 유리 및 실리콘 중 하나의 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 코일 제조 방법
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제 11 항에 있어서,상기 접착 단계는,상기 PR층이 박리된 감광 유리 웨이퍼에서 상기 인쇄 코일이 형성된 면 전체에 UV 경화제를 도포하는 단계;상기 챔버층의 개방부가 형성된 평평한 면에 인쇄 코일이 형성된 면이 접하도록 상기 PR층이 박리된 감광 유리 웨이퍼와 상기 챔버층을 정렬하는 단계;상기 UV 경화제가 경화되도록 UV를 노광하는 단계;상기 PR층이 박리된 감광 유리 웨이퍼에서 상기 개방부에 대응하는 부분에 도포되어 경화된 UV 경화제를 아세톤 용액으로 제거하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 코일 제조 방법
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제 11 항에 있어서,상기 챔버층에 로켓 추진제가 수납되는 것을 특징으로 하는 마이크로 코일 제조 방법
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