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신호 취득 회로(Read-Out Integrated Circuit: ROIC)를 갖는 실리콘 기판;상기 실리콘 기판 위에 형성되어 적외선을 반사하는 반사판;상기 반사판 위에 형성되는 적어도 한 개 이상의 금속 지지 기둥;상기 금속 지지 기둥에 연결되어 열적으로 고립된 구조를 제공하는 제 1 지지층;상기 제 1지지층 위에 형성되어 입사되는 적외선의 흡수율을 향상시키는 흡수층;상기 흡수층 위에 형성되며, 상기 흡수층에 의해 흡수된 적외선에 의하여 온도 변화가 발생하면 저항이 변화되는 온도 감응형 저항체;상기 금속 지지 기둥과 저항체 사이에 형성되어 상기 신호취득회로와 온도 감응형 저항체를 전기적 신호로 연결하는 연결다리; 및상기 온도 감응형 저항체와 연결다리를 보호하는 제 2지지층;을 포함하되,상기 온도 감응형 저항체는 비저항 측정 후 비저항이 달라도 저항을 일정하게 유지할 수 있도록 미리 준비된 다수의 레이아웃 중 하나의 선택을 통해 패턴이 조절되고,상기 연결다리는 비저항 측정후 비저항이 달라도 저항을 일정하게 유지할 수 있도록 미리 준비된 다수의 레이아웃 중 하나의 선택을 통해 패턴이 조절되고,상기 패턴은 저가의 RF(Radio Frequency) 스퍼터 방식을 이용하여 증착되는 것을 특징으로 하는 공정 간 저항 균일도를 향상시킨 볼로미터 적외선 센서
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제 1항에 있어서,상기 반사판은, 알루미늄(Al), 질화 티타늄(TiN), 티타늄(Ti), 니켈-크롬(NiCr), Ti합금, 금(Au) 중 적어도 어느 하나를 포함하는 금속성 혹은 전도성 세라믹 물질인 것을 특징으로 하는 공정 간 저항 균일도를 향상시킨 볼로미터 적외선 센서
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제 1 항에 있어서,상기 금속 지지 기둥은,알루미늄(Al), 텅스텐(W), 질화 티타늄(TiN), 티타늄(Ti), 니켈-크롬(NiCr), Ti합금, 금(Au) 중 적어도 어느 하나를 포함하는 금속 혹은 전도성 세라믹 물질인 것을 특징으로 하는 공정 간 저항 균일도를 향상시킨 볼로미터 적외선 센서
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제 1 항에 있어서,상기 흡수층은,질화 티타늄(TiN), 티타늄(Ti), 니켈-크롬(NiCr), Ti합금 중 적어도 어느 하나를 포함하는 금속성 혹은 전도성 세라믹 물질인 것을 특징으로 하는 공정 간 저항 균일도를 향상시킨 볼로미터 적외선 센서
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 지지층은,실리콘 산화물 혹은 실리콘 질화물인 것을 특징으로 하는 공정 간 저항 균일도를 향상시킨 볼로미터 적외선 센서
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제 1 항에 있어서,상기 온도 감응형 저항체는,비정질 실리콘(amorphous Si), 실리콘-저마늄(SiGe), 산화 바나듐(VOx), 산화 티타늄(TiOx) 중 적어도 어느 하나의 물질인 것을 특징으로 하는 공정 간 저항 균일도를 향상시킨 볼로미터 적외선 센서
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제 1 항에 있어서,상기 연결다리는,질화 티타늄(TiN), 티타늄(Ti), 니켈-크롬(NiCr), Ti합금 중 적어도 어느 하나를 포함하는 금속 혹은 전도성 세라믹 물질인 것을 특징으로 하는 공정 간 저항 균일도를 향상시킨 볼로미터 적외선 센서
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제 1 항에 있어서, 상기 온도 감응형 저항체의 증착 후 측정된 비저항이 미리 설정된 비저항의 기준값보다 낮으면 일정한 저항을 갖도록 하기 위해 상기 패턴 조절은 상기 온도 감응형 저항체의 패턴을 길이 방향으로 길게 하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 공정 간 저항 균일도를 향상시킨 볼로미터 적외선 센서
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제 1 항에 있어서,상기 연결다리와 온도 감응형 저항체의 컨택은 상기 저항체의 유효면적 안에 위치하는 것을 특징으로 하는 공정 간 저항 균일도를 향상시킨 볼로미터 적외선 센서
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제 12 항에 있어서,상기 컨택의 간격은 상기 온도 감응형 저항체 증착 후 측정된 비저항에 따라 일정한 저항을 갖도록 미리 준비된 다수의 레이아웃 중 하나의 선택을 통해 패턴되는 것을 특징으로 하는 공정 간 저항 균일도를 향상시킨 볼로미터 적외선 센서
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제 12 항에 있어서,상기 온도 감응형 저항체의 증착 후 측정된 비저항이 미리 설정된 비저항의 기준값보다 높으면 일정한 저항을 갖도록 하기 위해 상기 연결 다리와 온도 감응형 저항체가 맞닿은 양단의 컨택의 간격은 좁아지는 것을 특징으로 하는 공정 간 저항 균일도를 향상시킨 볼로미터 적외선 센서
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 지지층은 절연 및 단열특성을 가지는 것을 특징으로 하는 공정 간 저항 균일도를 향상시킨 볼로미터 적외선 센서
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제 1 항에 있어서,상기 제 2 지지층은 절연 및 단열특성을 가지는 것을 특징으로 하는 공정 간 저항 균일도를 향상시킨 볼로미터 적외선 센서
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신호 취득 회로(Read-Out Integrated Circuit : ROIC)를 갖는 실리콘 기판 위에 적외선의 반사를 위해 반사판을 형성하는 반사판 형성 단계;상기 반사판 위에 희생층을 증착하기 위한 희생층 증착단계;상기 희생층 위에 증착되어 열적으로 고립된 구조를 제공하는 제 1 지지층을 형성하는 제 1 지지층 형성 단계;상기 제 1 지지층위에 적외선 흡수율을 높여주는 흡수층을 형성하는 흡수층 형성 단계;상기 흡수층 위에 입사되는 적외선을 흡수하여 온도 변화가 발생하면 저항이 변화되는 온도 감응형 저항체의 패턴을 증착하는 온도 감응형 저항체 증착 단계;상기 실리콘 기판과 온도 감응형 저항체 사이에 전기적 신호로 연결하고 상기 온도 감응형 저항체의 비저항에 따라 연결다리의 패턴을 형성하는 연결다리 형성 단계;상기 희생층 위에 형성된 구조를 지탱하기 위하여 연결다리의 어느 일측에 실리콘 기판과 맞닿은 적어도 한 개 이상의 금속 지지 기둥을 형성하는 금속지지 기둥 형성 단계; 상기 연결다리 위에 형성되어 저항체와 연결다리를 보호하는 제 2 지지층을 형성하는 제 2 지지층 형성 단계; 및 상기 희생층을 제거하는 희생층 제거 단계;를 포함하되,상기 온도 감응형 저항체 증착 단계는,상기 온도 감응형 저항체의 비저항을 측정하는 단계; 및상기 측정된 비저항을 이용하여 공정간 증착된 비저항이 달라도 일정한 저항을 유지할 수 있도록 다수의 레이아웃 중 하나의 선택을 통해 온도 감응형 저항체를 형성하는 단계를 더 포함하고,상기 연결다리 형성 단계는,상기 온도 감응형 저항체의 비저항을 측정하는 단계; 및상기 측정된 비저항을 이용하여 공정간 증착된 비저항이 달라도 일정한 저항을 유지할 수 있도록 다수의 레이아웃 중 하나의 선택을 통해 상기 연결다리를 형성하는 단계를 더 포함하며,상기 패턴은 저가의 RF 스퍼터 방식을 이용하여 증착되는 것을 특징으로 하는 볼로미터 적외선 센서의 제작 방법
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제 18 항에 있어서,상기 온도 감응형 저항체의 증착 후 측정된 비저항이 미리 설정된 비저항의 기준값보다 낮으면 일정한 저항을 갖도록 하기 위해 상기 패턴 조절은 상기 온도 감응형 저항체의 패턴을 길이 방향으로 길게 하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 볼로미터 적외선 센서의 제작 방법
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제 18 항에 있어서,상기 온도 감응형 저항체의 증착 후 측정된 비저항이 미리 설정된 비저항의 기준값보다 높으면 일정한 저항을 갖도록 하기 위해 상기 연결 다리와 온도 감응형 저항체가 맞닿은 양단의 컨택 간격은 좁아지는 것을 특징으로 하는 볼로미터 적외선 센서의 제작 방법
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제 18 항에 있어서,상기 제 1 지지층은 절연 및 단열특성을 가지는 것을 특징으로 하는 볼로미터 적외선 센서의 제작 방법
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제 18 항에 있어서,상기 제 2 지지층은 절연 및 단열특성을 가지는 것을 특징으로 하는 볼로미터 적외선 센서의 제작 방법
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