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전자기력 가속장치에 설치되고, 복수의 레일의 연장방향을 따라 선형운동하며 시간에 따라 변하는 자기장을 형성하는 자기장 형성유닛; 및상기 복수의 레일 사이에 배치되어 전압을 측정하도록 이루어지는 프로브(probe)와 연결되며, 시간에 따라 변하는 자기장 내에서 상기 프로브에 의해 측정된 전압을 이용하여 상기 프로브의 위치를 교정하도록 형성되는 위치 교정유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 정렬장치
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제1항에 있어서,상기 자기장 형성유닛은,상기 복수의 레일의 연장방향을 따라 연장되는 트랙을 구비하는 베이스;상기 트랙을 따라 이동 가능하게 설치되는 이동부재; 및상기 이동부재에 장착되어, 상기 이동부재의 선형운동에 따라 시간에 따라 변하는 자기장을 형성하는 자성체를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 정렬장치
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제2항에 있어서,상기 이동부재는 상기 트랙을 따라 등속도로 이동하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 정렬장치
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제1항에 있어서,상기 프로브는 루프 형태로 형성되어, 상기 복수의 레일의 연장방향과 교차하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 프로브 정렬장치
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제4항에 있어서,상기 프로브는 복수 개로 구비되어, 상기 복수의 레일 내의 특정 구간에 기설정된 간격을 두고 이격되게 배치되는 것을 특징으로 하는 프로브 정렬장치
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제1항에 있어서,상기 위치 교정유닛은,상기 프로브가 장착되며, 회전 가능하게 형성되는 회전부재;상기 프로브의 틸팅 각도를 조절할 수 있도록, 상기 회전부재를 특정 회전 각도만큼 회전시키도록 형성되는 스텝모터(step motor); 및상기 프로브에서 측정된 전압을 이용하여 상기 스텝모터를 구동하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 정렬장치
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제6항에 있어서,상기 프로브는 상기 회전부재가 특정 각도로 회전될 때마다 틸팅되어 전압을 측정하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 정렬장치
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제7항에 있어서,상기 프로브에는 전압계가 연결되며,상기 제어부는 상기 전압계와 연결되어 상기 프로브에서 측정되는 전압값을 획득하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 정렬장치
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제7항에 있어서,상기 제어부는 상기 스텝모터를 구동하여 상기 프로브에서 측정된 특정 전압값을 갖는 위치로 상기 회전부재를 회전시켜, 상기 프로브를 정렬하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 정렬장치
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제9항에 있어서,상기 특정 전압값은 상기 프로브가 특정 각도로 틸팅되었을 때마다 측정된 전압의 최대값들 중 최고값인 것을 특징으로 하는 프로브 정렬장치
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