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삼산화몰리브덴(MoO3), 질화규소(Si3N4) 및 질화붕소(BN)를 볼밀링하여 복합분말을 생성하는 복합분말 생성 단계;상기 복합분말을 수소 분위기에서 가열하여 상기 삼산화몰리브덴을 몰리브덴(Mo)으로 환원시키는 환원 단계; 및상기 삼산화몰리브덴이 상기 몰리브덴으로 환원된 복합분말을 계속적으로 승온시키고 가열하여 몰리브덴-규소-붕소의 금속간 화합물(Mo5SiB2) 상을 형성하는 화합물상 생성 단계;을 포함하는 것을 특징으로 하는 몰리브덴-규소-붕소 합금분말의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 볼밀링은 상기 복합분말의 평균 입자크기가 1㎛ 이하로 형성되도록 고에너지 볼밀링을 사용하는 것을 특징으로 하는 몰리브덴-규소-붕소 합금분말의 제조 방법
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제 2 항에 있어서,상기 고에너지 볼밀링은 상기 복합분말에 이산화몰리브덴(MoO2) 및 이산화규소(SiO2) 중 적어도 하나가 형성되기 전에 종료되는 것을 특징으로 하는 몰리브덴-규소-붕소 합금분말의 제조 방법
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제 2 항에 있어서,상기 고에너지 볼밀링은 상기 복합분말의 산화를 방지하도록 아르곤(Ar) 분위기에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 몰리브덴-규소-붕소 합금분말의 제조방법
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제 2 항에 있어서,상기 고에너지 볼밀링은 20 내지 30시간 동안 계속적인 공정으로 실시되는 것을 특징으로 하는 몰리브덴-규소-붕소 합금분말의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 환원 단계는,상기 복합분말에 열충격이 가해지는 것을 방지하도록 점진적으로 승온시키는 단계; 및상기 복합분말을 600 내지 1100℃에서 60 내지 120분간 가열하여 상기 삼산화몰리브덴의 환원반응을 유도하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 몰리브덴-규소-붕소 합금분말의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 화합물상 생성 단계는,상기 삼산화몰리브덴이 상기 몰리브덴으로 환원된 복합분말을 계속적으로 승온시키는 단계; 및상기 금속간 화합물이 형성되도록 1100 내지 1300℃에서 1시간 내지 6시간 동안 가열하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 몰리브덴-규소-붕소 합금분말의 제조방법
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