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합성튜브의 내부에 분말원료와 기공구조체를 서로 이격되도록 배치시키는 단계;상기 합성튜브의 압력을 기설정된 압력으로 감압하고, 상기 합성튜브에 희석기체를 공급하는 단계;상기 합성튜브에서 분말원료가 배치된 영역을 1400~1500℃까지 가열하여 상기 분말원료의 반응기상종을 생성하는 단계;상기 반응기상종과 반응할 반응기체를 합성튜브로 공급하는 단계; 및상기 희석기체를 이용해 상기 반응기상종과 상기 반응기체를 상기 기공구조체로 운반하여 상기 기공구조체에 나노와이어를 형성하는 단계를 포함하고,상기 분말원료는 알루미늄(Al) 분말 10~90중량부와 산화알루미늄(Al2O3) 분말 10~90중량부의 혼합 분말을 포함하며,상기 합성튜브 내부의 압력은 10torr 미만으로 유지되는 것을 특징으로 하는 나노와이어 합성방법
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제12항에 있어서,상기 기공구조체는 탄소(carbon), 산화알루미늄(Al2O3), 질화규소(Si3N4), 탄화규소(SiC), 물라이트(mullite) 및 지르코니아(zirconia)로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 나노와이어 합성방법
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제12항에 있어서,상기 분말원료는 상기 합성튜브의 입구와 출구 사이에 배치되고, 상기 기공구조체를 상기 분말원료와 상기 출구 사이에 상기 분말원료로부터 이격되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 나노와이어 합성방법
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제15항에 있어서,상기 기공구조체가 배치되는 영역은 상기 분말원료가 배치되는 영역보다 200~300℃ 낮은 것을 특징으로 하는 나노와이어 합성방법
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제15항에 있어서,상기 나노와이어의 형상을 결정하도록 상기 기공구조체가 배치되는 영역의 온도를 기설정된 온도로 유지시키는 것을 특징으로 하는 나노와이어 합성방법
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제17항에 있어서,상기 분말원료가 배치되는 영역이 가열되면, 상기 기공구조체가 배치되는 영역은 상기 분말원료가 배치되는 영역으로부터 열이 전달되어 1200~1500℃까지 가열되도록 설정되는 것을 특징으로 하는 나노와이어 합성방법
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제12항에 있어서,상기 희석기체는 수소(H2), 아르곤(Ar), 헬륨(He)으로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 하나의 기체를 포함하며, 1~500sccm의 유량으로 상기 합성튜브에 공급되는 것을 특징으로 하는 나노와이어 합성방법
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제12항에 있어서,상기 반응기체는 산소를 포함하고, 1~100sccm의 유량으로 상기 합성튜브에 공급되는 것을 특징으로 하는 나노와이어 합성방법
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