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탄탈륨의 이론 밀도 대비 99% 이상의 상대 밀도를 나타내고,라이너의 전체 영역에서 평균 30㎛ 이하의 결정립도를 가지며,200ppm 이하의 산소 농도를 가지고,랜덤 배향의 결정 방위를 갖는 것을 특징으로 하는 탄탈륨 분말 소결체 라이너
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제1항에 있어서,상기 탄탈륨 분말 소결체 라이너는 두께 방향의 면에 대하여 측정된 (110), (211), (200) 면의 극점도 강도가 모두 1
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제1항에 있어서,상기 탄탈륨 분말 소결체 라이너는 두께 방향의 면에 대하여 측정된 (110), (211), (200) 면의 X선 회절(2θ) 피크의 상대적 강도가 (110) 003e# (211) 003e# (200)인 것을 특징으로 하는 탄탈륨 분말 소결체 라이너
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제3항에 있어서,상기 (110)면의 X선 회절 피크의 상대적 강도 1을 기준으로, 상기 (211)면은 0
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탄탈륨 분말을 냉간 등압 성형하여 분말 성형체를 형성하는 단계; 및형성된 분말 성형체를 열간 등압 성형하는 단계를 포함하고,상기 탄탈륨 분말은, 순도 99
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탄탈륨 분말을 냉간 등압 성형하여 분말 성형체를 형성하는 단계; 및형성된 분말 성형체를 열간 등압 성형하는 단계를 포함하고,상기 분말 성형체를 형성하는 단계는, 탄탈륨의 이론 밀도 대비 60 ~ 70%의 상대 밀도를 갖는 분말 성형체를 형성하도록 상기 탄탈륨 분말을 500 ~ 3000 bar의 압력에서 1 ~ 30분 동안 냉간 등압 성형하는 것을 특징으로 하는 탄탈륨 분말 소결체 라이너의 제조방법
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탄탈륨 분말을 냉간 등압 성형하여 분말 성형체를 형성하는 단계; 및형성된 분말 성형체를 열간 등압 성형하는 단계를 포함하고,상기 열간 등압 성형하는 단계는, 탄탈륨의 이론 밀도 대비 99% 이상의 상대 밀도를 갖는 분말 소결체를 형성하도록 불활성 기체 분위기, 1000 ~ 2000bar의 압력 및 1400 ~ 1400℃의 온도에서 60 ~ 240분 동안 열간 등압 성형을 실시하는 것을 특징으로 하는 탄탈륨 분말 소결체 라이너의 제조방법
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제5항, 제7항 또는 제9항에 있어서,상기 열간 등압 성형하는 단계 전에, 상기 분말 성형체에 함유된 습기와 불순물을 제거하도록 탈가스 공정을 수행하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탄탈륨 분말 소결체 라이너의 제조방법
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제5항, 제7항 또는 제9항에 있어서,상기 열간 등압 성형하는 단계 이후에, 상기 열간 등압 성형에 의해 형성된 분말 소결체를 라이너의 전체 영역에서 0
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