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입력되는 펄스 신호를 전달하는 펄스 전송선(150)이 내측에 형성되어 일단 내측에 형성되는 부하(160)에 연결되는 챔버 몸통(170); 및상기 챔버 몸통(170)의 챔버 외벽(171)에 형성되며, 상기 펄스 신호를 멤돌아가게 만드는 유도형 홈(110)이 형성되고, 상기 유도형 홈(110)의 하단에 양단간 전기적인 접촉이 일어나지 않도록 절연재(120)가 설치되며, 상기 유도형 홈(110)을 따라 돌아가는 펄스 신호의 전위차를 측정하기 위한 리드선(130)이 설치되고, 상기 리드선(130)과 상기 펄스신호의 전기적인 접촉을 막기 위한 측정용 구멍(140)이 형성되는 챔버 플랜지(101); 를 포함하는 것을 특징으로 하는 유도 갈래형 초고주파 펄스 신호 전류 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 유도형 홈(110)은 고리 형상으로서 측정하고자 하는 펄스 신호의 주파수 및 세기에 대응하여 크기가 정해지는 것을 특징으로 하는 유도 갈래형 초고주파 펄스 신호 전류 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 절연재(120)는 절연필름 형태이며, 펄스 신호가 상기 유도형 홈내부로 돌아가도록 하는 것을 특징으로 하는 유도 갈래형 초고주파 펄스 신호 전류 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 유도형 홈(110)은 상기 챔버 플랜지(101)의 원주방향으로 형성되며, 상기 유도형 홈(110)의 형상은 직사각형 단면인 것을 특징으로 하는 유도 갈래형 초고주파 펄스신호 전류 측정장치
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제 1 항에 있어서,상기 절연재(120)는 상기 챔버 외벽(171)을 타고 흐르는 펄스 신호에 대하여 상기 챔버 플랜지(101)의 접합면(102)을 절연하는 것을 특징으로 하는 유도 갈래형 초고주파 펄스신호 전류 측정장치
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제 1 항에 있어서,상기 유도형 홈(110)의 바깥쪽에는 통전성을 향상시키기 위한 전도성 가스킷이 삽입 설치되고, 상기 유도형 홈(110)의 안쪽에는 펄스 전류가 상기 챔버 플랜지를 통과하지 않도록 상기 절연재(120)가 설치되는 것을 특징으로 하는 유도 갈래형 초고주파 펄스신호 전류 측정장치
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제 1 항에 있어서,상기 리드선(130)을 통한 유도형 홈(110) 전후의 펄스신호 전위차는 다음 수학식 (여기서, V = 멤돌아가는 펄스 신호의 전압차, i = 펄스 전류, L = 유도형 홈으로 인한 인덕턴스 성분 = , μ0I = 공기의 유전율, l = 유도형 홈의 길이 ro , ri = 유도형 홈의 내경(ri)및 외경(ro), )에 의해 산출되는 것을 특징으로 하는 유도 갈래형 초고주파 펄스신호 전류 측정장치
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